総合評価提案書（サンプル）

【1 事業の内容及び実施方法】
1.１. 事業内容（実施方法を含む）
1．1．1 粒界構造確認（EBSD測定）
記述内容
1/2
 事業内容（実施方法を含む）について具体的に記述する。
 事業内容（実施方法を含む）
1.
弊社は１９７９年に分析・試験業務を分離して総合試験研究会社として発足しました。以降長年にわたり蓄積した豊富な技
術とノウハウおよび最新鋭の設備を駆使し、材料や構造物などの分析、試験、測定、解析から試作、製造、さらには薄膜
ターゲット材料の製造、半導体検査装置の設計・製作など、課題解決型のサービスを行っております。
2.
実施方法
1) EBSD測定面の調製
研磨法による測定面調製を行うため以下の①～④に示す工程を実施します。
① 精密切断機を使用してEBSD試験片をEBSD測定できるサイズに切断。
② 湿式研磨（エメリー紙＃500⇒#1000⇒#2400）
③ バフ仕上げ（ダイヤモンド６μｍ⇒１μｍ）：鏡面仕上げ。
④ OPS（コロイダルシリカ）仕上げ又は、電解研磨仕上げ。
補足：④は表面の加工歪を除去するために必要。
端面部実施の場合はOPS仕上げ。試料中央部測定の場合は電解研磨仕上げ。
2) EBSD分析および粒界性格解析
① 1)で調製した測定面を有する試料をFE-SEMに装荷してEBSD分析を行う。
測定装置名称
・FE-SEM
：日本電子製 JSM-6500F、フィリップス社製 XL-30SFEG
・EBSPシステム：TSL社製 OIM Ver.4.0、OIM Ver.5.2
炉内構造部材開発（粒界構造確認（EBSD測定））提案書雛型（7-3）
【1 事業の内容及び実施方法】
1.１. 事業内容（実施方法を含む）
1．1．1 粒界構造確認（EBSD測定）
記述内容
2/2
 事業内容（実施方法を含む）について具体的に記述する。
 事業内容（実施方法を含む）
② 分析面を1mm×1mm□、測定ステップを2μmにして測定を行う。
・総測定点数：25万点
結晶粒径が上記ステップ数で不適の場合は、ステップ数と測定範囲、視野を再検討する。
③ OIM解析ソフトを使用し、対応粒界分布図および全粒界長さにおける対応粒界長を計算し、全粒界長さに対する対応粒界長
の割合を求める。
炉内構造部材開発（粒界構造確認（EBSD測定））提案書雛型（7-3）

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