News Release 2015年4月6日独自のハイブリッドレーザ技術により高出力ながら100psの短パルスを実現「ピコ秒パルスレーザー光源」を発売予定リコーインダストリアルソリューションズ株式会社（社長執行役員：中田克典）は、独自のハイブリッドレーザー技術により高出力ながら100psの短パルスを実現した「ピコ秒パルスレーザー光源」を今夏に発売します。波長1.06μm、平均出力最大18W、MOPA（Master Oscillation Power Amplifier）構成を採用し、光ファイバー増幅器をベースとした独自のハイブリッドレーザー技術によって、高品位なビーム特性と高い安定性を実現しました。高出力ながら、最短パルス幅100psの短パルスレーザーは加工対象物への熱ダメージを最小限に抑えます。また、パルス幅・出力など用途に合わせた最適チューニングを提供します。製品名ピコ秒パルスレーザー光源発売日今夏発売予定リコーインダストリアルソリューションズ株式会社お問い合わせ先 TEL：045-477-1700 1 ＜新製品ピコ秒パルスレーザー光源アプリケーション＞・薄膜除去加工 ITO、Agナノワイヤなどの透明導電膜、Ag引出電極、薄膜太陽電池のa-Si膜などのパターニング・微細加工ガラス、サファイヤなどの穴開け、スクライビングポリイミド、プリプレグなどの穴開け、切断、トリミング・マーキング樹脂、半導体デバイスへの微細マーキング＜新製品ピコ秒パルスレーザー光源の主な仕様＞製品名ピコ秒パルスレーザー光源レーザー波長 1.06μm 平均出力最大18W パルス幅 100ps （100ps～1nsにてカスタマイズ可）繰返し周波数 4MHz ビーム品質 M~2＜1.3 ,ランダム偏光出力ビーム径 φ1mm ビーム拡がり角 1mrad以下冷却方式水冷：20～25℃ 寸法（W×D×H）パルスエンジン部：480×501×299mm ロッドアンプ部：220×445×150.4mm ※ 製品の外観、仕様は、予告なく変更になる場合があります 2