カタログ

形
D6F-□N2/-02L2
MEMSフローセンサ
CSM_D6F-_N2_-02L2_DS_J_2_2
小型・高性能で微流量を計測
• ±3F.S.の高精度。
• 温度、圧力に影響されず流量計測可能。
RoHS適合
3ページの
「正しくお使いください」をご覧ください。
種類
（納期・価格についてはお取引き商社にお問い合わせください。）
●本体
適用流体
都市ガス
（13A）
LPガス
流量範囲
形式
0∼1L/min
形D6F-01N2-000
0∼2L/min
形D6F-02N2-000
0∼5L/min
形D6F-05N2-000
0∼2L/min
形D6F-02L2-000
出力電圧特性
接続
形D6F-01N2-000
5.0
5.0
出力電圧
︵Ｖ︶
出力電圧
︵Ｖ︶
6.0
4.0
4.0
3.0
3.0
ピンNo.
2.0
2.0
1.0
1.0
0.0
0.0
0.2
0.4
0.6
0.8
1.0
0.0
0.0
1.0
流量
（L/min）
2.0
3.0
4.0
5.0
コネクタ
出力電圧
︵Ｖ︶
5.0
出力電圧
︵Ｖ︶
6.0
5.0
4.0
3.0
2.0
1.0
4.0
3.0
2.0
1.0
0.8
1.2
1.6
2.0
D6F □-N2／ 0-2L2
本製品に接続するコネクタは以下を使用してください。
ハウジング
51021（日本モレックス（株）製）
ターミナル
50079（日本モレックス（株）製）
電線
AWG#28∼26
形D6F-02N2-000
6.0
0.4
1：Vcc
2：Vout
3：GND
53398（日本モレックス（株）製）
流量
（L/min）
形D6F-02L2-000
0.0
0.0
形D6F-01N2-000
形D6F-02N2-000
形D6F-05N2-000
形D6F-02L2-000
形D6F-05N2-000
6.0
0.0
0.0
2：Vout
0.4
流量
（L/min）
0.8
1.2
1.6
2.0
1：Vcc
3：GND
流量
（L/min）
形D6F-01N2-000
流量
L/min（Normal）
0
0.2
0.4
0.6
0.8
1.0
出力電圧
V
1.00
±0.12
1.90
±0.12
2.81
±0.12
3.64
±0.12
4.37
±0.12
5.00
±0.12
拡大図
形D6F-02N2-000
流量
L/min（Normal）
0
0.4
0.8
1.2
1.6
2.0
出力電圧
V
1.00
±0.12
2.19
±0.12
3.18
±0.12
3.96
±0.12
4.55
±0.12
5.00
±0.12
形D6F-05N2-000
流量
L/min（Normal）
0
1.0
2.0
3.0
4.0
5.0
出力電圧
V
1.00
±0.12
2.91
±0.12
3.92
±0.12
4.47
±0.12
4.79
±0.12
5.00
±0.12
形D6F-02L2-000
流量
L/min（Normal）
0
0.4
0.8
1.2
1.6
2.0
出力電圧
V
1.00
±0.30
3.02
±0.08
3.95
±0.08
4.47
±0.08
4.79
±0.08
5.00
±0.12
測定条件：電源電圧 DC12±0.1V、周囲温度 25±5℃、周囲湿度 35∼75％RH
お問い合わせ
0120-919-066または直通電話 055-982-5015
（通話料がかかります。）
1
D6F-□N2/-02L2
MEMSフローセンサ
定格／性能
形式
流量範囲＊1
形D6F-01N2-000
形D6F-02N2-000
形D6F-05N2-000
形D6F-02L2-000
0∼1L/min
0∼2L/min
0∼5L/min
0∼2L/min
適用流体＊2
都市ガス（13A）
継ぎ手形状
LPガス
Rc 1/4 ねじ
端子仕様
3端子コネクタ
電源電圧（使用電圧範囲）
DC10.8∼26.4V
消費電流
無負荷、Vcc＝DC12∼24V、25℃において、15mA以下
出力信号
DC1∼5V（非リニア出力、負荷抵抗10kΩ）
精度
±3％F.S.
（25℃特性）
±2％F.S.∼±7.5%F.S.
（25℃特性）
±0.2％F.S.
±0.3％F.S.
再現性＊3
最高出力電圧
DC5.7V（負荷抵抗10kΩ）
最低出力電圧
DC0V（負荷抵抗10kΩ）
絶対最大定格電源電圧
DC26.4V
絶対最大定格出力電圧
DC6V
ケース材質
アルミ合金
保護構造
IEC規格 IP40
耐圧
200kPa
圧力損失＊3
0.017kPa
0.033kPa
動作周囲温度
0.10kPa
0.14kPa
−10∼＋60℃（ただし、氷結・結露しないこと）
動作周囲湿度
35∼85％RH（ただし、氷結・結露しないこと）
保存周囲温度
−40∼＋80℃（ただし、氷結・結露しないこと）
保存周囲湿度
35∼85％RH
（ただし、氷結・結露しないこと）
周囲温度の影響
−10∼＋60℃では、
25℃特性の±4％F.S.
−10∼＋60℃では、25℃特性の±3％F.S.
絶縁抵抗
センサ外壁とリード端子間20MΩ以上（DC500V絶縁抵抗）
耐電圧
センサ外壁とリード端子間 AC500V 50/60Hz 1分間（リーク電流 1mA以下）
質量
35.3g
＊1. ただし、0℃、1気圧での体積流量を意味する。
＊2. ダスト，オイルミストを含まない乾燥・清浄気体であること。
＊3. 参考値（代表値）
D6F □-N2／ 0-2L2
外形寸法（単位：mm）
形D6F-01N2-000
形D6F-02N2-000
形D6F-05N2-000
形D6F-02L2-000
2-M3深さ5以上
16.2
取りつけ穴加工寸法
16.2±0.05
2-φ3.5
37
62±0.5
3.7
37±0.05
6
21.6±0.5
10
3-17
10
リード線（付属品）形D6F-CABLE1
200±35
100±15
22.1±0.5
茶色線
黒色線
8.85
2. Vout
管用テーパねじ
2-Rc1/4
2
1. Vcc
0.35
最新の商品情報・便利な情報は
青色線
www.fa.omron.co.jp/
3. GND
D6F-□N2/-02L2
MEMSフローセンサ
正しくお使いください
警告
●使用環境について
・輸送機器の制御（走行停止用途など）
下記の環境では使用しないでください。
・加熱機器からの輻射熱を直接受けるところ
・水、油のかかるところ
・直接日光があたるところ
・温度変化の激しいところ
・氷結、結露の恐れのあるところ
・振動、衝撃の影響が大きいところ
・航空・宇宙機器
●ノイズ対策について
・原子力機器など
ノイズにより正しい計測ができない場合があります。使用にあ
たり以下の配慮を行ってください。
・強い高周波を発生する機器（高周波ウェルダ、高周波ミシン
など）やサージを発生する機器から、できるだけ離して設置
してください。
・ノイズを発生している周辺機器（特に、モータ、トランス、
ソレノイド、マグネットコイルなどのインダクタンス成分を
持つもの）には、サージアブソーバやノイズフィルタ等のノ
イズ対策を実施してください。
（配管やダクトを別にする、シールド線を使用するなどの方
法も効果があります。）
D6F は一般機器での使用を前提に製造されています。特に下記の
ような安全性が要求される用途に使用する場合は、フェールセー
フ設計・冗長設計および定期点検の実施など、システム・機器全体
の安全に配慮していただいた上で使用してください。
・人体保護を目的とした安全装置
D6F の働きが直接人命にかかわる用途には使用しないでくださ
い。
注意
センサの設置は、設備の電源を OFF にした状態で行ってくださ
い。電源がONの状態で作業を行うと、感電や誤動作などの原因
となります。
使用上の注意
●流体と配管取り付け、センサ設置について
〈共通〉
（1）流体は清浄なものを使用してください。ダスト・ミストによ
り特性変化や故障の原因になる場合がありますので、配管上
流側にフィルタ、ミストセパレータを設置してください。
（形D6F-W□A1、形D6F-V、形D6F-P、形D6F-PHを除く）
●電源について
・コネクタ接続端子に直接はんだ付けすると故障の原因になる
ため適用のコネクタを使用してください。
・端子名称および極性を確認して正しく配線してください。誤
配線すると内部の部品の故障の原因となります。
・市販のスイッチングレギュレータを使用の際には、FG（フレー
ムグランド端子）およびG（グランド端子）を接地してください。
（2）適応流体以外の可燃性ガス（水素など）
、腐食性ガス（塩素、
RoHS指令について
硫黄、酸、アルカリなど）は故障の原因となりますのでご使
用にならないでください。
電子部品含む）には、梱包にRoHSマークを表示しています。
（4）配管内への異物の混入は故障の原因となるため、梱包袋か
※ 仕入先様の事情により、RoHS対応済み部品としていたものが、RoHS非対
応品と判明した場合などやむなく削除することがあります。
ら取り出した後は配管内に異物が入らないようにしてくだ
●RoHS適合判定基準
さい。
（5）配管の取り付けは、本体に表示された矢印の方向に流体が
流れるようにしてください。誤配管の状態では正しい計測が
できません。
（6）配管の取りつけ方向は、水平を推奨します。
水平にならない
場合は±1％F.S.以上の誤差の原因となる可能性があります。
RoHS指令6物質の適合判定は次の基準を用いています。
（RoHS指令適用除外項目は除く）
・鉛
： 1000ppm以下
・水銀
： 1000ppm以下
・六価クロム： 1000ppm以下
・カドミウム： 100ppm以下
・ PBB
： 1000ppm以下
・ PBDE
： 1000ppm以下
（形D6F-03A3を除く）
（7）センサの設置は、平面に行ってください。正しく取り付け
られていない場合、故障の原因や正しい計測ができない場合
があります。
（8）センサの設置後は、必ず動作確認を実施してください。
（9）センサを落下させたり、カバーなどを分解しないでください。
〈形D6F-01N2/02N2/05N2/02L2〉
（1）配管の取り付けには、
管用テーパねじ Rc1/4ねじを使用し、
締め付けトルクは 5N・m 以下としてください。
これを超えて
締め付けを行うと割れが発生する恐れがあり、
漏れの原因と
なるため注意してください。
（2）センサの設置には、M3 なべねじを使用し、締め付けトルク
は0.59N・m以下としてください。
お問い合わせ
0120-919-066または直通電話 055-982-5015
（通話料がかかります。）
3
D6F □-N2／ 0-2L2
RoHS 規制 6 物質の使用を廃止した製品（工程内および基板搭載
（3）適用流体以外の流体については性能保証範囲外となります。

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