セミオートプローバー AP-200 ＜多様な測定に対応＞ｆAレベルの微⼩電流測定ｆFレベルの微⼩容量測定 10ｋV以上、200A以上のハイパワー測定チップレベルでも連続自動測定が可能なチップアライメント機能を搭載 ★微⼩電流、高電圧/高電流、高周波と各種測定に対応。 ★コンパクト設計。 ★オペレーターに分かり易く操作性に優れた制御ソフト。 ★垂直プローブ対応のプローブアライメントや自動アライメントもオプションでラインナップミリ波対応の高周波測定多様な測定に対応当社オリジナルのトライアキシャルプローブ、HVトライアキシャルプローブ、⼤電流プローブを組み合わせることで、測定器スペックに近い分解能での測定を実現できます。優れた制御ソフト制御ソフトはオペレーターが操作に迷わないように工程順にアイコンを並べるなど、操作性に優れています。チップ移動、サブチップ移動なども⾃動で⾏うことが可能です。安全で使いやすくウエハ、チップのロード、アンロードは⼤きな開⼝部で⾏うことができてスムーズです。プローブ取り扱い時はステージが待避するなどオペレーターミスを最小限に抑られる様に考えられています。チップトレイ対応チップアライメント機能（オプション）登録されたトレイ内に置かれた登録済みの個片チップを画像認識にて⾃動的にアライメントする機能です。個片チップを1個1個マニュアルで測定していた作業を⾃動で複数チップを一気に測定することが可能になります。測定器メーカーのシステム/ ソフトウェアに標準対応キーサイト・テクノロジー社 EasyEXPERTソフトウェアケースレーインスツルメンツ社 ACS（測定ソフト） Curren[A] 主なオプション 1.00E-13 8.00E-14 6.00E-14 4.00E-14 2.00E-14 0.00E+00 -2.00E-14 -4.00E-14 -6.00E-14 -8.00E-14 -1.00E-13 -100 -50 トライアキシャルプローブ 0 50 100 高電圧/⼤電流プローブ Voltage[V] ホットチャック/サーモチャック ●他にも多数のオプションがございますのでお問い合せください主な仕様（1）装置外観プローバ本体寸法：Ｗ６２０×Ｄ９００×Ｈ５００ｍｍ（モニタとマウスオペレーションのスペースは除く）架台（オプション）寸法：Ｗ８００×Ｄ１１００×Ｈ４９２ｍｍ質量：約４００ｋｇ（プローバ本体）約７００ｋｇ（オプションの架台を含む）（1）ＸＹ軸（エアサス／スケール搭載機）移動量：２２０（Ｘ）×２５０（Ｙ）ｍｍ制御分解能：０．１ｕｍスケール分解能：０．１ｕｍ再現性精度移動速度：±２um 以内：±５ｕｍ以内：Ｍａｘ．３０ｍｍ／ｓｅｃ（2）Ｚ軸移動量：３０ｍｍ分解能：０．１ｕｍ再現性移動速度：２ｕｍ以内：Ｍａｘ．２５ｍｍ／ｓｅｃ（3）Ｔ軸移動量：±６度分解能：０．０００１度回転速度：Ｍａｘ．１度／ｓｅｃ ●製品の価格、仕様は予告なしに変更される場合があります。株式会社アポロウエーブ www.apollowave.co.jp 〒532-0011 ⼤阪市淀川区⻄中島6-7-8 ⼤昭ビル4F TEL 06-6838-3233 FAX 06-6838-3234 E-MAIL：[email protected]