DLC（Diamond Like Carbon）の物理評価 X線反射率分析法（XRR) DLCの膜構造評価 測定装置：XRR (X-ray Reflectometry) 分析サンプル：DLC薄膜 評価概要： DLCの膜構造評価にあたって、膜厚、膜密度、表面粗さを調べることが重要です。今回DLC薄 膜をXRR測定することにより、非破壊でのサンプル間比較が可能となりました。XRRの測定結果の解析に おいて、様々な膜構造を考慮に入れることで、より正確なデータを提供させて頂くことができるようになりま した。下記に成膜条件の異なるサンプルを測定した結果、膜厚と密度の違いを見出すことができました。 XRR分析結果のまとめ 1 1 Cal. Exp. 0.1 0.01 Reflectivity 0.01 Reflectivity Cal. Exp. 0.1 1E-3 1E-4 1E-3 1E-4 1E-5 1E-5 1E-6 0.0 0.5 1.0 1.5 2.0 2.5 3.0 1E-6 0.0 0.5 1.0 1.5 2.0 2.5 2 (deg.) 2 (deg.) 図1、条件Aの測定結果とフィッティング結果 図2、条件Bの測定結果とフィッティング結果 XRR解析結果のまとめ 膜厚(nm) 膜密度(g/cm3) 条件A 27.1 1.87 条件B 23.2 2.15 パッケージお見積もり DLC結晶構造、組成、硬度評価を一括評価 評価内容：RAMAN 3.9万円 RBS-ERDA 12.8万円 ナノインデンテーション 3.6万円 XRR 7.5万円 お問合わせ ２１万８千円 株式会社イオンテクノセンター 技術営業部 TEL:072-859-6601 FAX:072-859-5770 E-mail:[email protected] 3.0
© Copyright 2024 ExpyDoc
