マイクロエレクトロニクス用 DFA PFLT006JPh ■ 流量−圧力損失特性（水、20℃） 初期圧力損失（kPa） AN01E ANDE A050 FDE FTE FRE UFDE UFTE UFRE A015 A030 NIEY マイクロエレクトロニクス用 DFA NAEY 小型カプセルフィルター 初期圧力損失（kPa） AN15E A010 初期圧力損失（kPa） ANME 初期圧力損失（kPa） 初期圧力損失（kPa） 初期圧力損失（kPa） 初期圧力損失（kPa） 初期圧力損失（kPa） DFA6402、DFA2 V001E UG5E UG003E V002E UG001E UG005E 本カタログに記載されているデータは特定条件下で得られた代表値です。本カタログに記載された情報により得られる結果並びに本製品の安全性に付いては保証するものではありません。 本製品をご使用になる前に、本製品が使用目的に対して適正かつ安全であることをご確認ください。なお、本カタログに記載されている内容は予告無しに変更される場合がございます。 UG100E 05/2015改訂増刷10V D FA マイクロエレクトロニクス 用 ■ ポールDFAフィルターは、低流量や小スケール のバッチプロセス用として、 便利で使いやすく、経済的なカプセルフィル ターです。 ■ 一般工業用途に幅広く対応できるように、豊富なメディア材質と継手を 用意しています。 小型カプセルフィルター ■ フィルターメディアとカプセルが一体構造になっているため、 シール 性に フォトレジスト、現 像 液 、純 水 、 およびブローガスのろ過 特長 優れています。 DFA１ ■豊富なメディア材質 DFA3201, 4201, 5301, 6402 （PTFE、 ナイロン-6,6、親水性PVDF、高密度ポリエチレン、ポリプロピレン） ■豊富な継手ラインアップ （スウェージロックタイプ、ピラースーパー、NPTネジ、ホース継手） ■コンパクトなオールプラスチック一体構造 ■全品出荷前完全性試験、 気密試験実施済み（エレクトロニクス・グレード） ＊ ＊国産品の場合 利点 ■処理量やろ過精度に合わせたろ過システムの構築が可能 ■エアー抜き、 ドレン抜きが容易 ■少ないろ過残液 ■ 一般仕様 材 質 メディア その他の 部品 ろ過精度（μm） 最高使用温度 最高使用圧力 液体 （38℃） 気体 ※写真のチューブは付属品に含まれていません。 エンフロン ウルチポアN66 ウルチプリーツ・P-ナイロン フロロダイン PTFE（疎水性） ナイロン 6 ,6 （親水性） ナイロン 6 ,6 （親水性） PVDF（親水性） PTFE（疎水性） ポリプロピレン ポリエステル ポリプロピレン 高密度ポリエチレン ポリプロピレン ポリプロピレン 高密度ポリエチレン ポリプロピレン 0 .1 , 0 .2 0 .0 5 , 0 .1 , 0 .2 0.05, 0.1, 0.2, 0.45 10nm, 20nm, 40nm, 0.15 PE- クリーン HDCⅡ プロファイル・スター 高密度ポリエチレン ポリプロピレン ポリプロピレン ポリプロピレン ポリプロピレン 高密度ポリエチレン ポリプロピレン 5nm ※1 , 10nm, 30nm, 0.05, 1.0 0.6, 1.2, 2.5, 4.5, 6.0, 10.0, 20.0, 40.0, 70.0 0 .8 , 1 .0 , 1 .5 , 3 .0 , 5 .0 38 ℃ 38 ℃ 38 ℃ 38 ℃ 38 ℃ 38 ℃ 38 ℃ 38 ℃ 0 .4 9 MPaG 0 .4 9 MPaG 0 .4 9 MPaG 0 .4 9 MPaG 0 .4 9 MPaG 0 .4 9 MPaG 0 .4 9 MPaG 0 .4 9 MPaG 0 .3 4 MPaG 0 .3 4 MPaG 0 .3 4 MPaG 0 .3 4 MPaG 0 .3 4 MPaG 0 .3 4 MPaG 0 .3 4 MPaG 0 .3 4 MPaG 耐差圧（38℃） 0 .3 4 MPa 0 .3 4 MPa 0 .3 4 MPa 0 .3 4 MPa 0 .3 4 MPa 0 .3 4 MPa 0 .3 4 MPa 0 .3 4 MPa 主な用途 ベントエアー プロセスガス 有機溶剤 フォ トレジスト 現像液 純水 フォ トレジスト 現像液 純水 超純水 水溶性薬品 フォ トレジスト 有機溶剤 各種薬液 フォ トレジスト 有機溶剤 各種薬液 酸、 アルカリ 純水 溶剤 懸濁液 高粘度流体 コーティング液 梱包単位 6個 6個 6個 6個 6個 6個 6個 6個 PFS0 1 8 PFS0 5 7 PFS0 1 6 PFS0 3 1 PFSH0 1 8 PFS0 4 4 PFS8 1 1 PFS9 0 5 PFS0 4 9 PFS6 0 5 関連カタログ ※流体適合性については、担当営業にお問い合わせください。 （注）DFAはポール社の登録商標です。 （商標番号2710417号） 1 0 .1 , 0 .2 ペンフロン ※写真の出入口のナット、チューブは付属品に含まれていません。 ※1 5nmはDFA1、DFA2、DFA6402のみ 2 マイクロエレクトロニクス用 DFA マイクロエレクトロニクス用 DFA ■ DFA1、2シリーズ 製品型式：DFA ① 1 2 ① 形状コード 継手コード 6個 ② エンフロン＊3 コード FDE FTE FRE ろ過精度 0.05 0.1 0.2 ウルチポアN66 コード NIEY NAEY ② メディアの種類とグレードコード ＊1 製品型式：DFA ③ 継手コード＊5 ③ 少流量用 中流量用 梱包単位 ■ DFA3201、4201、5301、6402シリーズ ろ過精度 0.1 0.2 DFA 1 DFA 1 DFA 1 DFA 1 DFA 1 DFA 1 DFA 1 DFA 1 DFA 2 DFA 2 DFA 2 DFA 2 DFA 2 DFA 2 DFA 2 DFA 2 DFA 2 SW4 4 SW8 4 M FW6 4 M NP6 4 NP6 4 M NP6 4 MR ＊4 NP8 4 M NP8 4 MR ＊4 FL6 FL6 4 F6 N4 FW1 2 4 M NP6 4 NP8 4 M NP1 2 4 M NP1 2 4 MR ＊4 SW8 4 ウルチプリーツ・ P-ナイロン フロロダイン コード AN01E ANME ANDE AN15E ろ過精度 10nm 20nm 40nm 0.15 コード ろ過精度 サイズ 1 /4 ″ 8mm 6mm 3 /8 ″ 6mm 6mm 8mm 8mm 3 /8 ″ 3 /8 ″ 3 /8 ″ 12mm 3 /8 ″ 8mm 12mm 12mm 1 /2 ″ 出入口 形 状 スウェージロック＊6タイプ スウェージロック＊6タイプ フロウエル2 0（シリーズ ） ピラー＊7 スーパータイプ ピラー＊7 スーパータイプ ピラー＊7 スーパータイプ ピラー＊7 スーパータイプ ピラー＊7 スーパータイプ フレアスタイル フレアスタイル フレアスタイル フロウエル2 0（シリーズ ） ピラー＊7 スーパータイプ ピラー＊7 スーパータイプ ピラー＊7 スーパータイプ ピラー＊7 スーパータイプ スウェージロック＊6 ペンフロン＊3 コード PE-クリーン＊3 ろ過精度 コード ろ過精度 0 .0 5 0 .1 0 .2 UG5E UG001E UG003E UG005E UG100E 5 nm 1 0 nm 3 0 nm 0 .0 5 1 .0 ＊8 V001EY V002EY 0 .1 0 .2 ＊１ エレクトロニクスグレードの製品型式の末尾にはEまたはEYが記されています。 ＊２ HDCⅡおよびプロファイル・スターにはフラッシングオプション（F）があります。 ＊３ オプションとして、初期抽出物量の低減処理を施したSグレードも供給可能です。 ＊４ Rオプションは、リピート製品用として、出入口のスリーブ、ナットの非装着にした製品です。 UFDE UFTE UFRE サイズ 1 /4 ″ 4mm 4mm 4mm 4mm 4mm 4mm 4mm なし 1 /4 ″ 1 /4 ″ 4mm 1 /4 ″ 4mm 4mm 4mm 1 /4 ″ ベント、 ドレン 形 状 スウェージロック＊6タイプ スウェージロック＊6タイプ フロウエル2 0（シリーズ ） ピラー＊7 スーパータイプ ピラー＊7 スーパータイプ ピラー＊7 スーパータイプ ピラー＊7 スーパータイプ ピラー＊7 スーパータイプ なし フレアスタイル NPT フロウエル2 0（シリーズ ） ピラー＊7 スーパータイプ ピラー＊7 スーパータイプ ピラー＊7 スーパータイプ ピラー＊7 スーパータイプ スウェージロック＊6 HDCⅡ＊2 コード J 006□ J 012□ J 025□ J 045□ J 060□ J 100□ J 200□ J 400□ J 700□ ろ過精度 0 .6 1 .2 2 .5 4 .5 6 .0 1 0 .0 2 0 .0 4 0 .0 7 0 .0 プロファイル・ スター＊2 コード ろ過精度 A008□ A010□ A015□ A030□ A050□ 0 .8 1 .0 1 .5 3 .0 5 .0 ④ 継手コード 3201 4201 5301 6402 サイズ 3 /8 ″ 1 /4 ″ 6mm 3 /8 ″ ④ 形状・継手コード 出入口 形 状 ホース口 NPTオス ＊5 スウェージロック タイプ ＊5 スウェージロック タイプ サイズ 1 /8 ″ 1 /8 ″ 4mm 1 /4 ″ ⑤ メディアの種類とグレードコード＊1 梱包単位 ベント、ドレン 形 状 NPTオス NPTオス ＊5 スウェージロック タイプ ＊5 スウェージロック タイプ 6個 ⑤ エンフロン＊3 コード FDE FTE FRE FXE ＊１ ＊２ ＊３ ＊４ ＊５ ＊６ ろ過精度 0.05 0.1 0.2 0.45 ウルチポアN66 ウルチプリーツ・ P-ナイロン コード NIEY NAEY ろ過精度 0.1 0.2 コード AN01E ANME ANDE AN15E ろ過精度 10nm 20nm 40nm 0.15 フロロダイン コード V001EY V002EY ろ過精度 0.1 0.2 ペンフロン コード UFDE UFTE UFRE ろ過精度 0.05 0.1 0.2 PE-クリーン コード UG5 ＊6 UG001E UG003E UG005E UG100E HDCⅡ＊2＊4 プロファイル・ スター＊2 ろ過精度 コード ろ過精度 コード ろ過精度 5nm 10nm 30nm 0.05 1.0 J 006□ J 012□ J 025□ J 045□ J 060□ J 100□ J 200□ J 400□ J 700□ 0.6 1.2 2.5 4.5 6.0 10.0 20.0 40.0 70.0 A008□ A010□ A015□ A030□ A050□ 0.8 1.0 1.5 3.0 5.0 エレクトロニクスグレードの製品型式の末尾にはEまたはEYが記されています。 HDCⅡおよびプロファイル・スターにはフラッシングオプション（F）があります。 オプションとして、初期抽出物量の低減処理を施したSグレードも供給可能です。 4201J012、4201J025、DFA3201は□部にPと表示される場合がありますが性能は全く変りません。 スウェージロック社の商標 PE-クリーン5nmは、DFA1、DFA2、DFA6402シリーズにラインナップされています。 （注）表に記載されている各コードの組み合わせによる全製品型式についての標準化はしておりません。 ご希望の製品型式が注文可能なものかどうか、必ずご確認ください。 ＊５ 標準継手ラインアップ以外にもオプションが設定されています。 ＊６ スウェージロック社の商標 ＊７ 日本ピラー社の商標 ＊８ PE-クリーン5nmは、DFA1、DFA2、DFA6402シリーズにラインナップされています。 （注）表に記載されている各コードの組み合わせによる全製品型式についての標準化はしておりません。ご希望の製品型式が注文可能なものかどうか、必ずご確認ください。 ■ 外形図 DFA1□SW44/84M DFA1□FW64M DFA1□NP64M /84M DFA1□NP64 DFA2□SW84 DFA2□FW124M DFA2□NP124M DFA2□＊FL6/64 ■ 外形図 DFA3201 DFA4201 DFA5301 DFA6402 ＊ベント/ドレンなし 3 4 マイクロエレクトロニクス用 DFA マイクロエレクトロニクス用 DFA ■ 流量−圧力損失特性（水、20℃） ■ 流量−圧力損失特性（水、20℃） 初期圧力損失（kPa） 初期圧力損失（kPa） DFA1□SW44 FDE FTE FRE 初期圧力損失（kPa） DFA4201 DFA1□SW44 初期圧力損失（kPa） DFA4201 FDE FTE FRE V001E V002E 初期圧力損失（kPa） 初期圧力損失（kPa） 初期圧力損失（kPa） 初期圧力損失（kPa） FXE V001E V002E ANDE AN15E ANDE AN15E UFDE UFTE UFDE UFTE UFRE UFRE NIEY UG5E NAEY UG005E UG003E UG001E 初期圧力損失（kPa） NAEY 初期圧力損失（kPa） NIEY 初期圧力損失（kPa） 初期圧力損失（kPa） AN01E 初期圧力損失（kPa） AN01E ANME 初期圧力損失（kPa） 初期圧力損失（kPa） 初期圧力損失（kPa） ANME UG003E UG005E UG001E UG100E UG100E 5 6
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