CLF Series Low Frequency Power Supply

CLF Series
Low Frequency
Power Supply
プラズマ真空装置および誘導加熱装置に高
信頼性を発揮します。
機能
特長
CLF シリーズ LF 電源は 5kW までの機種を備えてい
・デリバーパワー(進行波電力−反射波電力)に
ます。ハーフラックサイズの機種では 20kHz∼
50kHz の周波数の中で任意の周波数を選択できま
す。またフルラックサイズの機種では 20kHz∼
450kHz の周波数の中で任意の固定周波数もしく
は±15%までの可変範囲を持った周波数チューニ
ングタイプを選択できます。
て制御します。
・保護回路により過電圧、過電流から内部のア
ンプを守ります。
・フルラックモデルでは高速の周波数オートチ
ューニング動作が可能です。
・ CLF5000 は CE マーク, SEMI F47 に適合
余裕ある出力電力設計により、多くのアプリケー
ションにおいても変動するリアクティブ負荷に
対して機械動作をするオートタイプのマッチン
グネットワーク無しに電力を供給可能です。
オプション
・ AC 電源入力電圧レンジの特注
・マスター・スレーブ動作
・周波数チューニング
アプリーケーション
CLF シリーズは半導体製造プロセスにおける RF
プラズマ用としてデザインされています。
エッチ，ＲＩＥ，ＩＣＰ，RF スパッタ，ＣＶＤ，
ＰＶＤ，誘導加熱システム等に優れた性能を発揮
します。
General CLF Power Supply Specifications
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周波数安定性
対電源電圧変動特性
出力測定精度
RF 電力アナログモニター信号
スプリアス
高調波
ノイズ、リップル
±1%
1%以内(電源電圧変動±10%において)
2% 以内
0-10 VDC
-30dB 以下
-20dB 以下
±1%以内
ハーフラックモデル仕様
出力電力
周波数
ライン電圧
ライン電流
標準出力コネクタ
冷却
サイズ
重量
CLF 500 Half Rack
500W
20-50kHz の中の固定周波数
単相 100-130VAC(115V)
単相 187-239VAC(208V)
50/60Hz
単相 115V の場合 7A
単相 208V の場合 4A
N型
強制空冷
178mm(H) X 203mm(W) X 406mm(D)
9.1kg
CLF 1000 Half Rack
1000W
20-50kHz の中の固定周波数
単相 100-130VAC(115V)
単相 187-239VAC(208V)
50/60Hz
単相 115V の場合 12.5A
単相 208V の場合 7A
N型
強制空冷
178mm(H) X 483mm(W) X 610mm(D)
9.1kg
フルラックモデル仕様
出力電力
周波数
ライン電圧
ライン電流
標準出力コネクタ
冷却
サイズ
重
量
CLF 500 Full Rack
CLF 1000 Full Rack
500W
1000W
20-450kHz の中の固定 20-450kHz の中の固定
周波数
周波数
単相 115/208/230VAC
単相 115/208/230VAC
50/60Hz
50/60Hz
単相 115V の場合 8A
単相 115V の場合 15A
単相 208V の場合 5A
単相 208V の場合 9A
N 型, C 型
N 型, C 型
強制空冷
強制空冷
133mm(H) X 483mm(W) X 133mm(H) X 483mm(W) X
413mm(D)
413mm(D)
23kg
32kg
CLF 5000 Full Rack
5000W
20-450kHz の中の固定周波数
三相 185-230VAC(208V)
50/60Hz
25A
LC 型, 7/16 型
水冷 7.6 ㍑/分
267mm(H) X 483mm(W) X
610mm(D)
91kg

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