DFG8830

Fully Automatic Grinder
DFG8830
硬脆材料薄化研削の新たなステージを開拓
硬脆材料の研削加工に対応
サファイアやSiCなど硬脆材料の研削加工を実現するグラインダです。高剛性・高出
力スピンドルを搭載し大口径研削ホイールに対応することで、加工負荷の高い硬脆
材料の全自動研削を実現します。
4軸5チャックテーブル構造
スピンドル軸を4軸構造とし、5チャックテーブル/1ターンテーブル方式を採用するこ
とで、様々な研削アプリケーションを実現します。4つの軸に最適な研削ホイールを
選択したことによる生産性重視アプリケーションや、より低ダメージで高品質な仕上
げをターゲットとしたアプリケーションなど、多様な加工ニーズに対応いたします。
支持基板付きワークの加工
ガラスやセラミックスなどの支持基板（サブストレート）に保持されたワークを
研削します。φ5～8インチの支持基板サイズに対応し、トータル3.5 mmの厚
みまで投入可能です。
省フットプリント
スピンドル軸や搬送部レイアウトの最適化により、コンパクトサイズを追求し
ました。4軸5チャックテーブルながら設置面積3.5 ㎡と省フットプリントを実現
しています。
イージーオペレーション
タッチパネルとGUI (Graphical User Interface）の搭載で、加工状況などをビ
ジュアル表示することができ、アイコン化されたボタンをタッチするだけの快
適な操作性を提供します。また、同時に4つのカセットを搭載可能とし、オペ
レータのカセット交換頻度を削減するなど、装置オペレーションの負担を低
減します。
操作画面
Fully Automatic Grinder
DFG8830
ワークフローシステム
①ロボットピックがカセットからワークを引き出し、
ポジションテーブルでセンタリング後、
②搬送アームでチャックテーブルへ→③～⑥研削→
⑦搬送アームがワークをチャックテーブルからスピンナテーブルへ→
⑧洗浄→乾燥→
⑨ロボットピックがワークをカセットに格納
DFG8830 仕様
inch
inch
kW
研削可能ウェーハ径
搬送可能ワーク径
研削方式
スピンドル使用スピンドル
軸数
定格出力
回転数
Z軸ストローク
Z軸切込送り速度
Z軸早送り速度
Z軸最小指令単位
Z軸最小分解能
ハイト
測定範囲
ゲージ
分解能
繰り返し精度
ウェーハチャックテーブル型式
チャック方式
チャック
テーブル回転数
チャックテーブル数
使用砥石
ウェーハ
搬送部・
洗浄部
バキュー
ム
min -1[rpm]
mm
mm/s
mm/s
μm
μm
μm
μm
μm
min -1[rpm]
-
チャックテーブル洗浄
-
ダイヤモンドホイール
カセットストレッジ数
カセット部フロー
スピンナユニット
排気速度
到達圧力
電動機
mm
kPa
kW
加工精度（専用チャックテーブル使用時、φ6"ウェーハ研削時）
ウェーハ内の厚さバラツキ
ウェーハ間の厚さバラツキ
諸元
電圧
消費電力
加工時
ウォーミングアップ時
最大電力
エアー供給圧力装置用
エアー流量
装置用
水源圧力
研削・洗浄
スピンドル冷却水用
バキュームユニット用
水源流量
研削・洗浄
スピンドル冷却水用
バキュームユニット用
ダクト排気量
装置寸法（W × D × H）
装置質量
バキュームユニットが標準で付属されます
μm
μm
V
Max. ø6"（ ø4"/ø5"/ø6"）
Max. ø8"（ ø5"/ø6"/ø8）
ウェーハ回転によるインフィード方式
高周波モータ組込みエアースピンドル
4
6.3
1,000 - 4,000
177
0.0001 - 0.08
50
0.1
0.1
0 - 3,500
0.1
±1.0
ポーラスチャックテーブル
バキュームチャック
0 - 750
5
水、エアー吹き上げ並びに
レベリングストーン及び二流体洗浄
ø300
4
セームフロー及びオープンフロー
水洗浄および乾燥
20/28 m3/h　50/60 Hｚ
-90 （給水水温15℃、供給水流量1 L/min時）
1.5
3.0 以下
±3.0 以下
三相AC200 V ±10 %　50/60 Hz
上記以外では、トランスが必要です
kW
kW
kVA
MPa
L/min(ANR)
MPa
MPa
MPa
L/min
L/min
6.0 （参考値）
3.5 （参考値）
26
0.5 - 0.8　変動幅 ±0.03 MPa
最大 720、加工時平均 375
0.3 - 0.4
0.2 - 0.3
0.05 - 0.45
25以上
8以上
L/min
30 ℃以下 2.0、25 ℃以下 1.5、22 ℃以下 1.0
m 3/min
mm
kg
3
4 m /min ｘ 1カ所
1,400 ｘ 2,500 ｘ 2,000
約6,000
■ご使用条件
• 大気圧露点-15 ℃以下、残留油分0.1 ppm、濾過度0.01
μm/99.5 ％以上のクリーンな空気を使用してください。
• 機械設備位置の室温は設定値（20 ℃〜25 ℃）に対し、変動
幅±1 ℃以内に管理してください。
• 切削水は室温＋2 ℃（変動幅±1 ℃以内）、冷却水は室温と
同じ（変動幅±1 ℃以内）に管理された水を使用してください。
• その他、衝撃及び有感振動などの外部振動を避けてくださ
い。また、ファン、換気口、高熱発生装置、オイルミスト発生
部等の近くに設置しないでください。
• 本装置は、水を使用します。万一の漏水に備え、床面の防
水処理および、排水処理がされた場所に設置してください。
※ 本仕様は、改良のためお断りなく変更させていただくことが
ありますので、ご確認の上、ご発注ください。
※ 圧力は全てゲージ圧で表記しています。
※ 本機に関するアプリケーション等は弊社営業までお問い合
せください。
143-8580 東京都大田区大森北 2-13-11
Phone:03-4590-1000（営業代表） Fax:03-4590-1001 www.disco.co.jp
2013.12

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