2006年3月20日
Preliminary 3/20/2006
Mercury 1500V - Vacuum Rated
マーキュリー ™ 1500V ー真空エンコーダ
デジタル出力エンコーダシステム
Digital Output Encoder System
インストレーションマニュアル及び
Installation Manual
リファレンスガイド
Wall
and Reference Guide
Vacuum
Customer
Controller
マニュアルNo.
IM-M1500V Rev
Rev S3
S3
Manual No. IM-M1500V
ドン・ミッチェル
Don Mitchell
創立者、取締役会長、最高技術責任者
Founder, Chairman and Chief Technology Officer
マイクロＥシステムズ
MicroE Systems
マイクロEシステムズは、エンコーダ技術
をかつて達成できなかったレベルにまで
発展させるために創立されました。弊社
の目標は、高密度実装されたOEM装置の
icroE Systems was founded to
設計にも収まる小型サイズを実現し
advance encoder technology to a level never
、コスト重視のアプリケーションに
対応できる低価格で、組み立て担当者が
before achieved. Our objective was to design
ほとんど訓練を受けていなくても取り
encoder systems that would be small enough
付け、セットアップ、アライメントが簡
to fit into densely packed OEM equipment
単にできるエンコーダシステムを設計す
designs, affordable enough for cost-sensitive
ることです。これらの目標が全て
、マーキュリーエンコーダシステムの導
applications and easy enough to enable
入によって実現されていることを、喜ん
installation, setup and alignment by
でここにご報告いたします。
assemblers with little training. We are
pleased to say
that all of these
センサー実寸
Sensor shown
goals have been
actual size
realized with the
introduction of the
Mercury encoder
systems.
M
Table of Contents
目次
システムのイラスト
SYSTEM ILLUSTRATION
PAGE
エンコーダおよびリニアスケール
Encoder with Linear scale
エンコーダおよびロータリースケール
Encoder with Rotary scale
ページ
2
3
INSTALLATION INSTRUCTIONS
取り付け方法
TM
Using SmartPrecision
II Alignment Tool - Linear Scales
SmartPrecision
II アライメントツールの使用−リニアスケール
エンコーダシステムの実装方法
Mounting Encoder System
エンコーダシステムの調整方法
Alignment of Encoder System
4
5
Using SIN/COS Signals - Linear Scales
SIN/COS信号の使用−リニアスケール
Mounting Encoder System
エンコーダシステムの実装方法
エンコーダシステムの調整方法
Alignment of Encoder System
原点の設置
Establishing an Index
6
7
7
SmartPrecision
II アライメントツールの使用−ロータリースケール
Using SmartPrecision
II Alignment Tool - Rotary Scales
Mounting Encoder System
エンコーダシステムの実装方法
エンコーダシステムの調整方法
Alignment of Encoder System
SIN/COS信号の使用−ロータリースケール
Using SIN/COS Signals - Rotary Scales
エンコーダシステムの実装方法
Mounting Encoder System
エンコーダシステムの調整方法
Alignment of Encoder System
原点の設置
Establishing an Index
8
9
10
11
11
リファレンス
REFERENCE SECTION
リニアスケールの取り付け
Installation of Linear Scales
接地方法
Grounding Instructions
推奨電力
Recommendations for Power
ユーザーのインターフェースケーブルの条件
Customer Interface Cable Requirements
出力信号の詳細
Output Signal description
12
13
13
14
15
エンコーダのトラブルシューティング
ENCODER TROUBLESHOOTING
主なトピックス
Selected Topics
スケールの清掃
Cleaning Scales
弊社連絡先
Contact MicroE Systems
16
16
Back Cover
裏表紙
警告
Precautions
Follow standard ESD precautions. Turn power off before connecting the sensor.
1 標準のESDの警告に従いセンサーを取り付ける前に電源をお切りください。
電気ピンに触れるときは静電気防止のため静電ストラップなどを着用してください。
Do not touch the electrical pins without static protection such as a grounded wrist strap.
ガラススケールに触れるときはタルクフリー手袋または指サックを着用してください。
Do not touch the glass scale unless you are wearing talc-free gloves or finger cots.
本インストレーションマニュアルをお読みになり、全ての指示に従ってください。
2 ガラススケールに触れるときはラテックスフリーの手袋をご使用下さい。
Please read this installation manual for full instructions.
Safety Information
安全のために
MicroE
MicroE Systemsのマーキュリーシリーズ反射型エンコーダは、CDRHクラス1レーザーと
Systems Mercury series reflective encoders are classified as CDRH Class I and IEC Class 1M laser products.
IECクラス1Mレーザー製品に分類されます。
• Invisible laser radiation (wavelength: 850 nm). Max power 1.5 mW CW.
: 2.4mW
CW
. 非可視レーザー放射（波長：850 nm） 最大パワー1.5
mW CW
This product conforms to all applicable
standards
under 21 CFR Ch. I 1040.10.
. •この製品は適応標準規格21
CFR Ch.
I 1040.10に準拠します。
CDRH Class I level of laser radiation is not considered to be hazardous.
. •CDRHクラス1レーザー放射は危険がないものとみなされています。
CAUTION - The use of optical instruments with this product will increase eye hazard.
. •危険−本製品を光学機器とともに使用すると、目に対する危険性が高まります。
. •光学機器（顕微鏡、虫眼鏡、拡大鏡など）を使用して直視しないでください。
DO NOT VIEW DIRECTLY WITH OPTICAL INSTRUMENTS
. クラス1Mレーザー製品
(MICROSCOPES, EYE LOUPES OR MAGNIFIERS)
CLASS
1M LASER
PRODUCT
. •IEC
60825-1
(2001)
• IEC 60825-1 (2001)
Page 1
マーキュリー
1500VEncoder
エンコーダシステム
Mercury 1500V
System
with Linear scale
リニアスケール
システム図
System View
Shown with linear scale
リニアスケール
真空隔壁
Vacuum wall
標準の15ピンD-subコネクタ
15 pin standard D-sub connector
センサー
Sensor
リニアガラススケール
Linear glass scale
（この図ではリニアスライドに実装さ
(shown mounted on a linear slide)
れています）
SmartPrecisionアライメントツール
1500-V
SmartPrecision Alignment ToolSSAT
SSAT1500-V
拡大図
Expanded View
光学センサー取り付け突き当て
Optional sensor benching pins
ピン（3）
(3)
Mounting screws & flat washers (2
センサー取り付けネジ＆平
ワッシャ（ネジ1本に付き要2枚）
needed per screw)
センサー取り付けネジ穴（2）
Sensor mounting holes (2)
Atmospheric cable
大気ケーブル
一般的なユーザー支給の
Typical user-supplied
センサー取り付けブラケット
sensor mounting bracket
真空隔壁
Vacuum wall
二重シールドケーブル
Double shielded cable
ブラケット取り付けネジ穴（2）
Bracket mounting holes (2)
スケール基準点：
Scale reference datum;
この図では突き当てピンを使用
example shown with benching
Page 2
エンドピン
End locator pin
pins
マーキュリー
1500VEncoder
エンコーダシステム
Mercury 1500V
System
with Rotary scale
ロータリエンコーダ
システム図
System View
ロータリースケール
Shown with rotary scale
sensor
センサー
Vacuum wall
真空隔壁
標準の15ピンD-subコネクタ
15 pin standard D-sub connector
ロータリガラススケール
Rotary glass scale
SmartPrecisionアライメントツール
1500-V
SmartPrecision Alignment ToolSSAT
SSAT1500-V
Expanded View
拡大図
Vacuum compatable cable
真空対応ケーブル
センサー取り付けネジ＆平
Mounting screws & flat
ワッシャー（ネジ1本に付き要2枚）
washers (2 needed per screw)
真空隔壁
Vacuum wall
大気ケーブル
Atmospheric cable
二重シールドケーブル
Double shielded cable
フィードスルー
Flying leads
表面反射型ロータリースケール
Top reflective rotary scale
Page 3
取り付け方法
Installation Instructions
リニアエンコーダ−アライメントツールの使用−実装方法
Linear Encoders - Using Alignment Tool - Mounting
1
スケールをベースに取り付けます。終端または中心の
Attach the scale to the base slide. Reference the preferred
どちらの原点を使用するかで基準面が変わりますので
datum on the interface drawing for either end or center
インターフェース図面をご確認ください。
index orientation.
実装方法に従ってスケールをベースに接着してくださ
い。詳細については12ページを参照してください。
Depending on the mounting method, attach the scale
to the slide with adhesive. Refer to pg. 12 for details.
スケールのグレーティング面がセンサーに向いている
ことを確認してください。破損の恐れがありますので
Be sure the grating surface of the scale faces the sensor.
、これらの表面が接触していないことを確認してくだ
Insure that there is no contact between these surfaces or
さい。
damage may result.
2
インターフェース図面に記載されている適切な基準
Install the sensor on your mounting surface
面を参照して、センサーを取り付け面に取り付け
referencing the appropriate datum surface as
ます。取り付けネジ1本につき2枚のワッシャーを
使用してください。
shown on the interface drawing. Use 2 washers
per mounting screw.
センサーの位置決めの際、突き当てピンは
システムの機械的許容値が十分確保されている場
合にご使用ください。許容値については
Benching pins may be used to locate the sensor
データシートをご覧ください。突き当てピンを使
if the system mechanical tolerances are adequate.
用しない場合は、取り付けネジを緩めて
See data sheet for alignment tolerances, or keep
センサーのアライメントを行ってください。
mounting screws loose for sensor alignment if
benching pins are not used.
3
SmartPrecision II アライメントツールを接続す
Be sure the source power is off before
る前に、電源がオフになっていることを確認して
ください。
connecting the SmartPrecisionTM II Alignment Tool.
M1500VをSmartPrecision
II SmartPrecision II
Connect the M1500V to the
アライメントツールに接続してください（上記
Alignment Tool. (The M1500V-AC Atmospheric
のイラストに記載されているM1500V-AC大気
ケーブルはオプションです。顧客支給品の
Cable shown in the illustration above is optional.
ケーブルをご利用になれます）。
A customer-supplied cable may be used.)
Page 4
To Power電源へ
Supply
4
コンピュータインターフェースア
Connect the Alignment Tool to the
ダプターにアライメントツールを
Computer Interface Adapter. Turn on
接続し、電源を入れてください。
the power.
M1500Vエンコーダへ
To M1500V encoder
取り付け方法
Installation Instructions
Linear Encoders - Using Alignment Tool - Alignment
リニアエンコーダ−アライメントツールの使用−調整方法
5
センサーを正しく調整するためスケールに対してセンサーの位置を少し調整
Proper sensor alignment may require minor adjustments to the sensor position with
する必要がある場合があります。これは下図のようにSmartPrecision
respect to the scale. This can be performed easily using the SmartPrecision Alignment
アライメントツールを使用することにより簡単に実施することができます。
Tool as illustrated below.
赤、黄色、緑のLEDはセンサーの調整状態で変化します。緑のLEDが点灯する
までセンサーを取り付け面上でゆっくりスライドさせます。調整が最適にな
The red, yellow, or green LED will light depending on sensor alignment. Slowly
ると緑のLEDが高輝度点灯します。
move the sensor by allowing it to slide on the mounting surface until the green
LED, is illuminated. Optimal alignment will be displayed as a “Bright Green” LED.
センサーを調整する場
To align the sensor, move
合は、Yまたはθz方向
it in the Y or θz direcに動かしてください。
tions.
重要：原点通過時に緑のLEDが点滅することを確認してください
IMPORTANT: Confirm that the green LED blinks when passing over the index.
。点滅しない場合は、センサーをY方向に再調整し、上記の手順を繰
If not, readjust the sensor in the Y direction and repeat the above procedure.
り返します。調整が完了したらセンサー取り付けネジを増し締めして
ください。
When alignment is completed, tighten the sensor mounting screws.
SmartPrecisionア
SmartPrecision
ライメントツール
Alignment Tool
電源
Power/
／キャリブレ
Calibration
ーション
電源
Power/
／キャリブレ
Calibration
ーション
電源
Power/
／キャリブレ
ーション
Calibration
SmartPrecision
Alignment Tool
SSAT1000
SmartPrecision
Alignment Tool
SSAT1000
不適正な
Improper
アライメント
Alignment LED
赤のLEDが点灯
不完全な
Improved
アライメント
Alignment LED
黄色のLEDが点灯
Red
Yellow
15 pin D
connector
to sensor
15 pin D
connector
to sensor
6
適正な
アライメント
Proper
緑のLEDが点灯
Alignment LED
Green
最適な
Optimal
アライメント
Alignment LED
高輝度な緑の
LEDが点灯
Bright Green
SmartPrecision
Alignment Tool
SSAT1000
15 pin D
connector
to sensor
センサーを通過するようスケールをスライドさせて
Confirm green over the full range of motion by sliding
、動作する全ての領域で緑のLEDが点灯していること
を確認してください。全ての領域で緑のLEDが点灯し
the scale past the sensor. The “green” LED must
ていなければなりません。点灯しない場合は
remain on over the entire range. If not aligned over the
、センサー取り付けネジを緩め5番に戻って再調整し
てください。
entire range of motion, loosen the sensor mounting
screws and repeat step 5.
Page 5
取り付け方法
Installation Instructions
Linear Encoders - Using Sin/Cos Signals - Mounting
リニアエンコーダ−SIN/COS信号の使用−実装方法
1
スケールをベースに取り付けます。終端ま
Attach the scale to the base slide. Reference the
たは中心のどちらの原点を使用するかで基準
preferred datum on the interface drawing for
面が変わりますのでインターフェース図面
をご確認ください。
either end or center index orientation.
実装方法に従ってスケールをベースに接着
Depending on the mounting method, attach the
してください。詳細については12ページを
scale to the slide with adhesive. Refer to
参照してください。
pg. 12 for details.
スケールのグレーティング面がセンサーに
向いていることを確認してください。破損
Be sure the grating surface of the scale faces the
の恐れがありますので、これらの表面が
sensor. Insure that there is no contact between
接触していないことを確認してください。
these surfaces or damage may result.
3
2
インターフェース図面に記載されている適切な基
Install the sensor on your mounting surface
準面を参照して、センサーを取り付け面に取り
referencing the appropriate datum surface as
付けます。取り付けネジ1本につき2枚の
ワッシャーを使用してください。
shown on the interface drawing. Use 2 washers
per mounting screw.
センサーの位置決めの際、突き当てピンは
システムの機械的許容値が十分確保されている
Benching pins may be used to locate the sensor
場合にご使用ください。許容値については
if the system mechanical tolerances are adequate.
データシートをご覧ください。突き当てピンを
使用しない場合は、取り付けネジを緩めて
See data sheet for alignment tolerances, or keep
センサーのアライメントを行ってください。
mounting screws loose for sensor alignment if
benching pins are not used.
Page 6
センサーを接続する前に、電源が
Be sure power is off before
オフになっていることを確認して
connecting the sensor.
ください。
Connect the M1500V to your
インターフェース図面に記載され
ているワイヤー色／信号の割り当
interface electronics using
てでM1500Vをユーザーの
the wire color/signal
インターフェースエレクトロニク
assigments described on the
スに接続してください。
interface drawing.
コネクタネジを締めます。
Tighten the connector screws.
システムの電源を入れてください。
Power up the system.
取り付け方法
Installation Instructions
Linear Encoders - Using Sin/Cos Signals - Alignment
リニアエンコーダ−SIN/COS信号の使用−実装方法
4
メイントラックの調整
MAIN TRACK ALIGNMENT
If benching dimensions cannot be provided, proper
突き当てピンによるセンサーの位置決めが不可能な場合
、センサーを正しく調整するためスケールに対して
sensor alignment may require minor adjustments
センサーの位置を少し調整する必要がある場合があります
to the sensor position with respect to the scale.
。これはM1500Vからのサイン信号を最大にすることで実
施できます。
This can be performed by maximizing the sine
signal from the M1500V.
オシロスコープを使用し、センサーをスケールにわたり
動かしながらサインあるいはコサイン信号をモニターしま
Using an oscilloscope, monitor the sine or cosine signal (refer to
す（ピン番号についてはインターフェース図面をご参照く
the interface drawing for
pinouts) while±25%になるように
moving the sensor over
ださい）。0.8ボルト
peak-to-peak
センサーを調整します。アライメントが完了したら
the scale. Align the sensor until 0.8 volts peak-to-peak +/- 25%
センサー取り付けネジを締めてください（最大トルク0.37
is obtained. When alignment is completed, tighten the sensor
Nm[3.3inch-lbs.]）。
センサーを調整する場合は
To align the sensor, move
、Yまたはθz方向に動かし
it in the Y or θz directions.
てください。
mounting screws (0.37Nm [3.3 inch-lbs.] maximum torque).
1.7V
1.7 V offset
オフセット
（公称値）
(nominal)
5
0.8 Vpp
原点トラックの調整
INDEX TRACK ALIGNMENT
The M1500V must be aligned for both the main and index tracks.
M1500Vはメイントラックおよび原点トラックの両
方が正しく調整されていなければなりません。正し
When properly aligned, the sensor will produce an index window as
く調整されると、センサーは原点マーク通過時に原
the sensor passes over the index mark. The index window is
点ウィンドウ信号を発生させます。原
approximately one fringe wide (20µm). To verify proper index track
点ウィンドウ信号の幅はおよそ光学目盛1つ分
alignment, use a digital oscilloscope triggered on the index window.
（20μm）です。原点トラックが適切に調整されて
Refer to the interface drawing for the index window pinout.
いるかを確認するには、デジタルオシロスコープの
原点ウィンドウ信号のトリガーを使用します。原
Confirm proper alignment of the main track over the full range of
点ウィンドウ信号のピン番号については
motion. If not aligned over the entire range of motion, loosen the
インターフェース図面をご覧ください。
sensor mounting screws and repeat steps 4 and 5.
Page 7
取り付け方法
Installation
Instructions
Rotary Encoders - Using Alignment Tool - Mounting
ロータリーエンコーダ−アライメントツールの使用−実装方法
1
ハブ／スケールアセンブ
Attach your hub/scale
リをロータリー機器に
assembly to the rotary
取り付けます
device. Refer to the
。インターフェース図面
を参照してください
interface drawing. The
。スケールの反射面が
reflective surface of the
センサーに向いているこ
scale must face the sensor.
とをご確認ください。
3
SmartPrecision
II アライメントツールを接続
Be sure the source
power is off
する前に、電源がオフになっていることを確認
before
connecting
the
SmartPrecision
してください。（上記のイラストに記載され
ているM1500V-AC大気ケーブルは
Alignment Tool. (The M1500V-AC
オプションです。顧客支給品のケーブルをご
Atmospheric Cable shown above is
利用になれます）。
optional. A customer-supplied cable
M1500VをSmartPrecision II
may be used.)
アライメントツールに接続してください。
2
Page 8
Connect the M1500V encoder to the
SmartPrecision Alignment Tool.
インターフェース図面に記載されている適切
Install the sensor on your mounting surface
な基準面を参照して、センサーを取り付け面に
referencing the appropriate datum surface as
取り付けます。取り付けネジ1本につき2枚の
ワッシャーを使用してください。
shown on the interface drawing. Use 2 washers
per mounting screw.
センサーの位置決めの際、突き当てピンは
システムの機械的許容値が十分確保されてい
Benching pins may be used to locate the sensor
る場合にご使用ください。許容値については
if the system mechanical tolerances are adequate.
データシートをご覧ください。突き当て
See data sheet for alignment tolerances, or keep
ピンを使用しない場合は、取り付けネジを
緩めてセンサーのアライメントを行ってくだ
mounting screws loose for sensor alignment if
さい。
benching pins are not used.
To Power電源へ
Supply
4
コンピュータインターフェース
Connect the Alignment Tool to the
アダプターに
Computer Interface Adapter. Turn on
アライメントツールを接続し
、電源を入れてください。
the power.
M1500Vエンコーダへ
To M1500V encoder
取り付け方法
Installation Instructions
ロータリーエンコーダ−アライメントツールの使用−調整方法
Rotary Encoders - Using Alignment Tool - Alignment
5
センサーを正しく調整するためスケールに対してセンサーの位置を少し調整
Proper sensor alignment may require minor adjustments to the sensor position with
する必要がある場合があります。これは下図のようにSmartPrecision
respect to the scale. This can be performed easily using the SmartPrecision Alignment
アライメントツールを使用することにより簡単に実施することができます。
Tool as illustrated below.
赤、黄色、緑のLEDはセンサーの調整状態で変化します。緑のLEDが点灯す
るまでセンサーを取り付け面上でゆっくりスライドさせます。調整が最適に
The red, yellow, or green LED will light depending on sensor alignment. Slowly
なると緑のLEDが高輝度点灯します。
move the sensor by allowing it to slide on the mounting surface until the green
LED, is illuminated. Optimal alignment will be displayed as a “Bright Green” LED.
重要：原点通過時に緑のLEDが点滅することを確認してください
。点滅しない場合は、センサーをY方向に再調整し、上記の手順を繰
IMPORTANT: Confirm that the green LED blinks when passing over
り返します。調整が完了したらセンサー取り付けネジを増し締めして
the
index. If not, readjust the sensor in the Y direction and repeat the above
ください。
センサーを調整する場合は
To align the sensor, move it
、Yまたはθz方向に動かし
in the Y or θ directions.
てください。z
procedure. When alignment is completed, tighten the sensor mounting screws.
SmartPrecisionアラ
SmartPrecision
イメントツール
Alignment Tool
電源
Power/
／キャリブレ
Calibration
ーション
電源
Power/
／キャリブ
Calibration
レーション
SmartPrecision
Alignment Tool
SSAT1000
不適正な
Improper
アライメント
Alignment LED
赤のLEDが点灯
SmartPrecision
Alignment Tool
SSAT1000
不完全な
Improved
アライメント
Alignment LED
黄色のLEDが点灯
Red
Yellow
15 pin D
connector
to sensor
6
電源
Power/
／キャリブレ
Calibration
ーション
15 pin D
connector
to sensor
適正な
アライメント
Proper
緑のLEDが点灯
Alignment LED
Green
最適なアライメント
Optimal
高輝度な緑のLEDが
Alignment LED
点灯
Bright Green
SmartPrecision
Alignment Tool
SSAT1000
15 pin D
connector
to sensor
6Confirm
センサーを通過するよう
green over the full range of
スケールをスライドさせて、動作す
motion by sliding the scale past the
る全ての領域で緑のLEDが点灯して
いることを確認してください。全て
sensor. The “green” LED must
の領域で緑のLEDが点灯していなけ
remain on over the entire range. If
ればなりません。点灯しない場合は
not aligned over the entire range of
、センサー取り付けネジを緩め5番に
戻って再調整してください。
motion, loosen the sensor mounting
screws and repeat step 5.
Page 9
取り付け方法
Installation Instructions
Rotary Encoders - Using Sin/Cos Signals - Mounting
ロータリーエンコーダ−SIN/COS信号の使用−実装方法
1
ハブ／スケールアセンブリを
Attach your hub/scale
ロータリー機器に取り付けま
す。インターフェース図面を
assembly to the rotary
参照してください
device. Refer to the
。スケールの反射面が
センサーに向いていることを
interface drawing. The
ご確認ください。
reflective surface of the
scale must face the sensor.
3
2
インターフェース図面に記載されている適切
Install the sensor on your mounting surface
な基準面を参照して、センサーを取り付け面に
referencing the appropriate datum surface as
取り付けます。取り付けネジ1本につき2枚の
shown on the interface drawing. Use 2 washers
ワッシャーを使用してください。
per mounting screw.
センサーの位置決めの際、突き当てピンは
システムの機械的許容値が十分確保されてい
Benching pins may be used to locate the sensor
る場合にご使用ください。許容値については
if the system mechanical tolerances are adequate.
データシートをご覧ください。突き当て
ピンを使用しない場合は、取り付けネジを
See data sheet for alignment tolerances, or keep
緩めてセンサーのアライメントを行ってくだ
mounting screws loose for sensor alignment if
さい。
benching pins are not used.
Page 10
センサーを接続する前に、電源が
Be sure power is off before
オフになっていることを確認してく
connecting the sensor.
ださい。
Connect the M1500V to your
インターフェース図面に記載されて
いるワイヤー色／信号の割り当てで
interface electronics using
M1500Vをユーザーの
the wire color/signal
インターフェースエレクトロニクス
に接続してください。
assignments described on the
interface drawing.
コネクタネジを締めます。
Tighten the connector screws.
システムの電源を入れてください。
Power up the system.
取り付け方法
Installation Instructions
Rotary Encoders - Using Sin/Cos Signals - Alignment
ロータリーエンコーダ−SIN/COS信号の使用−調整方法
`
4
メイントラックの調整
MAIN TRACK ALIGNMENT
突き当てピンによるセンサーの位置決めが不可能な場合
If benching dimensions cannot be provided, proper sensor
、センサーを正しく調整するためスケールに対してセンサーの
alignment may require minor adjustments to the sensor
位置を少し調整する必要がある場合があります。これは
M1500Vからのサイン信号を最大にすることで実施できます。
position with respect to the scale. This can be performed by
maximizing the sine signal from the M1500V.
オシロスコープを使用し、センサーをスケールにわたり動かし
ながらサインあるいはコサイン信号をモニターします（ピン番
Using an oscilloscope, monitor the sine or cosine signal (refer
号についてはインターフェース図面をご参照ください
）。0.8ボルト
to the interfacepeak-to-peak
drawing for±25%になるようにセンサーを調整
pinouts) while moving the sensor
します。アライメントが完了したらセンサー取り付けネジを締
over the scale. Align the sensorNm[3.3inch-lbs.]）。
until 0.8 volts peak-to-peak
めてください（最大トルク0.37
+/- 25% is obtained. When alignment is completed, tighten
the sensor mounting screws (0.37Nm [3.3 inch-lbs.] maximum
torque).
1.7V オフセット
1.7 V offset
（公称値）
(nominal)
5
センサーを調整する場合は
To align the sensor, move it
、Yまたはθz方向に動かして
in the Y or θz directions.
ください。
0.8 Vpp
原点トラックの調整
INDEX TRACK ALIGNMENT
M1500Vはメイントラックおよび原
The M1500V must be aligned for both the main
点トラックの両方が正しく調整されていなけ
and index tracks. When properly aligned, the
ればなりません。正しく調整されると
sensor will produce an index window as the
、センサーは原点マーク通過時に原
点ウィンドウ信号を発生させます。原
sensor passes over the index mark. The index
点ウィンドウ信号の幅はおよそ光学目盛1つ
window is approximately one fringe wide
分（20μm）です。原点トラックが適切に
(20µm). To verify proper index track alignment,
調整されているかを確認するには
、デジタルオシロスコープの原
use a digital oscilloscope triggered on the index
点ウィンドウ信号のトリガーを使用します
window. Refer to the interface drawing for the
。原点ウィンドウ信号のピン番号については
index window pinout.
インターフェース図面をご覧ください。
Confirm proper alignment of the main track over
the full range of motion. If not aligned over the
entire range of motion, loosen the sensor
mounting screws and repeat steps 4 and 5.
Page 11
取り付け上のリファレンスガイド
Installation Reference Guide
スケールの場所を決める
Positioning the Scale
注意：取り付け作業を始める前に、タルクフリー手袋または指サックを着用してください。
Note: Before beginning mounting procedure, use talc-free gloves or finger cots to handle the scales.
スケールのシステムへの「突き当て」とは、突き当てピンを使用したスケールの調整を意味します。ピンの場所は、該当するインターフェース図面に記載されています
。図のように突き当てピン2本をスケールの長い面に、1本を終端に配置することを推奨します。インターフェース図面に記載されている基準面Aを使用してピンを合わせ
"Benching" the scale to the system means aligning the scale by means of benching pins. Pin locations are described on the appropriate interface drawing.
ます。
Two benching pins are recommended on the long side of the scale and one at the end as shown . This is marked datum A on the interface drawing.
1
2 prevent mechanical interference with the sensor or sensor mount.
突き当てピンの高さ（Z方向）がセンサーやセンサーの
Be sure the benching pins do not extend too high in the Z direction to
マウントに当たらない高さであることを確認してください。
Position the benching pins in from either end. 20% of the overall
スケール全長の両端から20%の所に突き当てピンを配置する
ことを推奨します。
scale length is the recommended location from the edge.
0.2L
0.6L
L
0.2L
エンド突
End
き当て
Benching
ピン
Pin
MicroE Systems
突き当てピン
Benching pins
スケールを取り付ける
Mounting the Scale
MicroE
MicroESystemsのリニアスケールは取り付け面上に取り付けてください。以下に2通りの取り付け方法を記載します：
Systems' linear scales should be affixed to the mounting surface. Two different approaches are described below:
エポキシおよびRTVによる固定（最も正確に固定できます）
Epoxy and RTV Mounting (Recommended for best accuracy)
1 clean and dry.
取り付け面に汚れがなく乾燥して
Make sure the mounting surface is
いることを確認してください。
End Benching
Pin
エンド突き当てピン
Mounting clamp
片方の角にの
Hard epoxy
みハードエポ
at one corner,
キシを塗布
this end only.
scale clamps may be used to secure the
3 Optionally,
scale while the adhesive cures. Avoid damage to
オプションのクランプを用いると硬化時のずれを
防止できます。このとき表面を傷つけないように
注意してください。
接着剤付き
Scale clamp
with adhesive
スケールクランプ
the top surface.
L
Mounting clamp
MicroE Systems
オプションの
Side view showing
スケールクランプお
optional scale clamps
よびスケールの取り
付け側面図。
and scale. Space
長さ150mmを超える
clamps every 75mm
スケールの場合は
75mm間隔で
on scales over 150
クランプを設置
mm in length.
Mounting clamp
突き当てピン
Benching
pins
2 Align the scale by placing the edges against the benching pins.
スケールのエッジを突き当てピンに当て、スケールを調整し
ます。
スケールのエッジ外側
RTV around entire
全体にRTVを塗布
outside edge of scale.
a hard epoxy, such as Tra-Con’s Tra-Bond 2116, to the end of the scale at the end benching pin. Apply 100% Silicone RTV adhesive
4 Apply
around the edges of the scale. This method allows thermal expansion from the benched end of the scale. After adhesive curing, remove
4 エンド突き当てピンにあるスケールのエッジに、Tra-ConのTra-Bond2116などのハードエポキシを塗布してください。スケールの
エッジの周辺にはシリコン100%のRTVを使用してください。この方法はスケール終端の熱膨張による破損を防ぐ上で有効です。接着剤
の硬化後、スケール取り付けクランプを取り外してください。クランプを取り付けておく場合は、センサーあるいは
センサーマウントと干渉しないように注意してください。
the
scale mounting clamps or, if permanently installing clamps, make sure they do not interfere with the sensor or sensor mount.
Two Sided Adhesive Tape Mounting
両面接着テープによる固定
1
取り付け面に汚れがなく乾燥していることを確認してく
Make sure the mounting surface is clean and dry. Peel the
ださい。カバー紙をはがしスケールを固定場所の上に置き
ます。
cover paper off and place the scale above the final location.
エンド突き当て
End Benching
ピン
Pin
片方の角にのみ
Hard epoxy at
ハードエポキシ
を塗布
one corner,
this end only.
3
ゆっくりとスケールを固定場所表面に置いてください。このとき
Gently place the scale on the mounting surface. Positioning adjustments
スケールを完全に貼り付けていない状態で微調整ができます。固定場所
can be made until the scale is firmly pressed down. After final positioning,
が決まりましたらスケールを押して動かないようにします。
push down on the top of the scale to secure it.
L
MicroE Systems
Benching pins
突き当てピン
2 Align the scale by placing the edges against the benching pins.
スケールのエッジを突き当てピンに当て、スケールを調整し
ます。
Page 12
取り付け上のリファレンス
Installation Reference
マーキュリー
1500Vエンコーダシステムの接地方法
Grounding Instructions
for Mercury 1500V Encoder Systems
接続方法はユーザーの真空隔壁からのフィードスルーの状況によりいくつかの方法が考えられます。下図は以下の条件の
Correct grounding can be implemented in several ways depending on how the customer implements the connections through the vacu場合に適しています：
um chamber wall. The diagram below is suitable where:
・ 外部ケーブルシールドが真空チャンバーから絶縁されている。
outer cable shields are electrically isolated from each other at the vacuum chamber wall.
・•The
センサーが接地されている面との良好な電気接点で取り付けられている（注記：ベアリングなどで電気的回路の遮断がないこと）。
•The sensor is mounted with good electrical contact to a well-grounded surface. (Note that an electrical path through
bearings will not result in a well-grounded sensor.)
コネクタピン
電源供給
電気伝導性、機械的コネクション
Electrically conductive mechani（製造時にMicroE Systemsで接続済
cal connection (as supplied by
み）
通常は接地しない
Do not ground shroud.
MicroE Systems).
真空隔壁
注記：特別なアプリケーションの場合は接地方法が変わる場合もあります。アプリケーションのサポートにつ
Note: specific applications may require a different grounding scheme. Contact MicroE Systems for applications support.
いてはMicroE Systemsにお問い合わせください。
シールド方法
Shielding Instructions
ユーザーにて取り付けるフィードスルーのコネクタは、EMI（Electro
Frequency
Customer-installed connectors at the vacuum chamber wall must electricallyMagnetic
shield theInterference）、RFI（Radio
signal wires from Electro Magnetic
Interference,
Interference）、ESD（Electro
Static
Discharge）からの信号線を電気的に遮断するものを用いてください。コネクタのシールドは
Radio Frequency Interference and
Electro
Static Discharge. The connectors' shielding must completely surround the wires with no gaps,
ギャップなしで配線を完全に囲むように設置してください。このとき、フィードスルーとともに供給されるケーブル終端の外
including intimate electrical contact 360 degrees around the outer cable shields at the ends of the cables supplied with flying leads.
部ケーブルシールドの周囲360度を電気的に密接に接触させてください。SmartPrecisionエレクトロニクスモジュールに付属の
ケーブルの内部シールドは、外部シールドと絶縁されていなければなりません。
The inner shield of the cable that is attached to the SmartPrecision electronics module must be electrically isolated from the outer
shield.
重要な注記：
Important Note
MicroE
MicroESystemsは、マーキュリー
Systems recommends testing1500Vエンコーダをフィードスルーに配線し終わってからモーションサブシステムの
the motion subsystem after the Mercury 1500V encoders are installed using your vacuum throughテストを実施することを推奨いたします。テストではアプリケーション要件に従い、モーションシステムにEMI、RFI、ESDに
wall connectors. The testing should prove that the motion system has sufficient immunity to Electro Magnetic Interference, Radio
対する十分な耐性があることを検証してください。
Frequency Interference and Electro Static Discharge according to the application requirements.
Recommendations for Power
推奨電力
マーキュリーエンコーダは最低4.75Vの電力を継続的に必要とします。回路の設計および延長ケーブルの使用にあたり、距離
や公差による公称供給電圧からの電圧損失を考慮し、いかなる動作環境でも常に4.75V以上の電力がマーキュリーエンコーダ
Mercury encoders require a minimum of 4.75V DC continuously. When designing circuits and extension cables to use Mercury encoders, be sure
に供給されるよう注意してください。入力電圧は5.25Vを超えてはなりません。
to account for voltage loss over distance and tolerances from the nominal supply voltage so that at least 4.75V DC is available to the Mercury
encoder under all operating conditions. The input voltage should not exceed 5.25V DC.
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ユーザーのインターフェースケーブルの条件
Customer Interface Cable Requirements
マーキュリーシリーズエンコーダ用ユーザー側インターフェースケーブルは、下記の条件を満たしている必要があります：
Customer cables that interface to Mercury series encoders must have the following characteristics:
・ 信号線はツイストペアであること
pair signal wiring.
・• Twisted
インピーダンス特性が100-120Ωであること
•
Characteristic
impedance of 100-120 ohms.
・ エンコーダの最小電圧を確保できる太さであること。例：長さ2mのケーブルでは24AWGを用いてください。24
AWGで
4ツイストペアの場合、推奨ケーブルはBelden
9831、8104、9844、あるいは他メーカー同等品です。
• Sufficient wire gauge to meet the minimum voltage
requirement at the encoder, for example 24AWG gauge wire for a 2m length cable.
・ Examples
シングルシールドケーブルで90%以上のアプリケーションでお使いいただけます。高ノイズアプリケーションの場合は
of acceptable cables with 24 AWG gauge wire and 4 twisted pairs are Belden 9831, 8104, and 9844 or other
、ダブルシールドケーブルが必要になることがあります。
manufacturer's equivalents.
• Single shield cable with a minimum of 90% coverage. Note that a double shielded cable may be required in high-noise applications.
信号結線：
Signal Wiring:
それぞれの差動信号は、以下の対応するツイストペア線に接続してください。
Each differential signal should be connected to a corresponding twisted pair as follows:
Mercury 1500V
信号
Signal
A+
AB+
BIndex+
Index+5V
GND
ツイストペア
Twisted Pair
Pair 1
Pair 2
Pair 3
Pair 4
シールドの終端方法
Shield Termination:
ユーザー側のケーブルは完全にシールドされるよう、360度コネクタシェルに接触していなければなりません
The customer's cable shield should be in 360° contact with the connector shroud and the connector shell to provide complete shielding. The
。コネクタシェルは導電性表面の金属製でなければなりません。推奨金属シェルはマーキュリー
connector shell should be metal with conductive surfaces. Suggested metal connector shells for use with Mercury 3500, 3000, 3000Si,
3500、3000、3000Si、2000エンコーダの場合はAMP 748676-1または同等品、マーキュリー 1000、1500Vエンコーダの場合は
and 2000
encoders: AMP 748676-1 or equivalent; for Mercury 1000 and 1500V encoders: AMP 745172-3, -2, or -1 where the dash number is
AMP
745172-3、-2、または-1（ダッシュ番号はユーザー側のケーブル外形による）です。シールドは下図のように終端されて
いなければなりません。
dependent on the customer's outside cable diameter. The shield should be terminated as illustrated in the following diagram.
7.5｛.30｝
ジャケット
この部分ではアルミニウム
、ポリエステルシールドを露出させないでくだ
さい。より合わせないように注意してくださ
い。
アルミニウム ポリエステルシールド
編み線シールド
28.7{1.13}
シールドをジャケットに折り返します。ダブルシールドケーブルの例。寸法は参考として使用。
Fold braided shield back over jacket. Example shows double-shielded cable. Dimensions shown
are for illustration only.
Page 14
Output
Signal Description
出力信号の詳細
サイン＋／コサイン＋
SINE+/COSINE+
アナログ信号の公称peak-to-peak振幅は0.8Vです。出力信号は1kΩのインピーダンスを持っています。この信号は
Analog signal with nominal peak to peak amplitude of 0.8V. The output signal has a source impedance of 1KΩ. This signal is only used to
オシロスコープを使用したセンサーの調整時にのみ用い、コントロールシステムのフィードバックには適していません。
align the sensor using an oscilloscope and is not suitable for feedback in a control system.
1.2
0.8V pp ±25%
0.8V pp ±25%
シングルエンド
single ended
0.6
1.7Vオフセット
1.7 V offset
（公称値）
(nominal)
0
-0.6
-1.2
Output Signal Description
出力信号の詳細
A+/A-
デジタル90°位相差信号。RS-422互換電圧出力
Digital
Quadrature output. Signal is a RS-422 compatible square
B＋/B−に90°の位相差があります。下の図をご覧ください。
B+/B-
デジタル90°位相差信号。RS-422互換電圧出力
Digital
Quadrature output. Signal is a RS-422 compatible square
A＋/A−に90°の位相差があります。下の図をご覧ください。
wave.
Pulses are 90° out of phase with B+/B- outputs. Please see below.
wave.
Pulses are 90° out of phase with A+/A- outputs. Please see below.
原点ウィンドウ
Index Window
原点ウィンドウはグレーティングの目盛り1つ分の幅を規定します。
The Index Window defines one particular fringe on the grating.
8逓倍エンコーダからの出力
Output from 8X encoder shown
A+
B+
Index+
A＋、B＋、原点ウィンドウ＋
A+, B+ and Index Window+
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トラブルシューティング
Troubleshooting
問題
Problem
電源／キャリブレーション表示が点灯しない。
The Power/Calibration indicator will not come on.
Solution
解決方法
・
M1500Vの15ピンDコネクタが確実に接続されているかご確認ください。
• Make
sure the M1500V 15-pin D connector is fully seated and connected.
・ ＋5ボルトがM1500Vの15ピンDコネクタの12ピンに供給されているか、および13ピンがグラウンドに接続されているかご確認ください。
• Confirm that +5 Volts DC is being applied to pin 12 on the M1500V 15-pin D connector and that pin 13 is connected to ground.
問題
Problem
SmartPrecisionアライメントツールの「Signal」LEDが赤または黄色以上に点灯しない。あるいは緑の表示がスケールの全領域にわたり
Can't get the SmartPrecision Alignment Tool "Signal" LEDs better than red or yellow; or the green, “ green” indicator doesn't
点灯していない。
stay illuminated over the full length of the scale.
解決方法
Solution
・
センサーがスケールに合わせて調整されているか、および取り付けネジを増し締めしたかご確認ください。取り付け穴（ある場合は
• Verify
that the sensor has been aligned to the scale and that the mounting screws are tight. Check the dimensions for the mechanical
クランプ）の機械的寸法を確認し、センサーがスケールに対して正しい位置に取り付けられていることを確認してください。該当する
mounting
holes (and clamps if any) to make sure that the sensor is correctly located over the scale. Refer to the appropriate interface drawing.
インターフェース図面を参照してください。
・
スケールがしっかりと固定され、固定された位置からずれたり動いたりしないか確認してください。
• Check
that the scale is firmly mounted and can't jiggle or move in other than the intended direction.
・ スケールの全長または円周上に汚れや傷がないかご確認ください。推奨する「スケールの清掃」手順に従ってください。
• Make sure that the scale is clean over its entire length or circumference. Use the recommended Cleaning Scales procedure.
Cleaning Scales
スケールの清掃
一般的な埃の取り除き方
General Particle Removal
窒素、クリーンエアまたは同等の気体を吹き付けてく
Blow off the contamination with nitrogen, clean air,
ださい。
or a similar gas.
Contamination Removal
しみや汚れの清浄方法
リントフリーのクリーンルーム用ワイプまたは
Use a lint-free cleanroom wipe or
綿棒にイソフロピルアルコールまたはアセトンを
cotton swab dampened with isopropyl
染み込ませて拭き取ってください。清浄時は
alcohol or acetone only to wipe the
スケールのエッジ（ふち）を持ってください。また
、スケールをゴシゴシこすらないでください。
surface clean. Handle the scale by the
edges. Do not scrub the scale.
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マイクロE・インターナショナル・インクへの連絡先
Contact MicroE Systems
マイクロE社製品をお買い上げいただきありがとうございます。
ご不明な点がございましたら、下記までご連絡ください。
マーキュリーエンコーダのインストレーションマニュアル、
データシート、インターフェース図面はwww.microesys.co.jp
よりダウンロードできます。
Thank you for purchasing a MicroE product. You should expect
the highest level of quality and support from MicroE. If you
have any questions or want to download the Mercury Encoder
Installation Manual, Data Sheet or Interface Drawing, browse
www.microesys.com and click on the Mercury Encoder
Products button, then the Standard Encoder Products Tab.
You’ll find everything you need right there.
マイクロE・インターナショナル・インク 日本支社
World Headquarters: 8 Erie Drive • Natick • MA 01760
〒105-0011 東京都港区芝公園2-4-1 秀和芝パークビル6階
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TEL：03-5425-7736 FAX：03-5425-7737
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