No.HRM-1701 Technical Report No.㻴㻾㻹㻙㻝㻣㻜㻝㻌 ⁆⁗⁕⁚⁛⁕⁓⁞‒⁄⁗‒ 低真空ＳＥＭ（走査型電子顕微鏡）による絶縁物の観察㻌 １．概要㻌 㻌 走査型電子顕微鏡（㻿㼏㼍㼚㼚㼕㼚㼓㻌㻱㼘㼑㼏㼠㼞㼛㼚㻌㻹㼕㼏㼞㼛㼟㼏㼛㼜㼑㻌略称：㻿㻱㻹㻌）を用いて非導電性試料（絶縁物）を観察する 場合、通常は前処理として㻭㼡や㻼㼠㻘㻯等の導電性物質㻌を蒸着し、高真空（㻝万分の㻝㻌㻼㼍）状態で観察します。 蒸着により変質させたくない試料や高真空により変形する試料、水・油など揮発成分を含む試料には、試料 室内を㻝㻜㻌㻼㼍～㻝㻜㻜㻌㻼㼍程度に制御することにより前処理が不要となる低真空㻿㻱㻹による観察が有効です。㻌 ２．低真空ＳＥＭ装置の特徴㻌 ・㻌 導電性物質蒸着前処理の省略や真空引き時間の短縮により、試料変質を抑えた迅速な分析が可能㻌 ・㻌 低真空㻿㻱㻹観察後の試料をフーリエ変換赤外分光分析や微小部㼄線回折測定で調査を行う事も可能㻌 ・㻌 水分、油分などの揮発成分を含んでいても、少量であればそのまま観察が可能※1㻌 㻌㻌 ・㻌 実体顕微鏡では難しい、凹凸の大きい物体の写真撮影が可能㻌 ・㻌 エネルギー分散型㼄線分析機能㻌 㻔㻱㼚㼑㼞㼓㼥㻌㻰㼕㼟㼜㼑㼞㼟㼕㼢㼑㻌㼤㻙㼞㼍㼥㻌㻿㼜㼑㼏㼠㼞㼛㼙㼑㼠㼑㼞㻌 略称：㻱㻰㻿㻌㻕㻌 により、㻌 㻌 㻌微小領域のホウ素からウランに至る元素の存在把握・元素マッピング分析が可能※２㻌 㻌 㻌 㻌 ※１㻌 脱脂・切断等加工が必要になる場合があります。㻌 㻌 㻌 㻌 ※２㻌 成分によっては同定が困難な場合があります。㻌 ３．装置仕様㻌㻌 型式：㻌 日本電子㈱製㻌 㻶㻿㻹㻙㻢㻜㻝㻜㻸㻭㻌 㻔低真空モード）㻌 最大加速電圧㻌 試料サイズ㻌 観察倍率㻌 㻶㻿㻹㻙㻵㼀㻟㻜㻜㻌 㻔低真空モード㻕㻌 㻞㻜ｋ㼂㻌 㻣㼏㼙㻌 ｘ㻌㻌㻟㻚㻡㼏㼙㻌 厚み㻌㻠㼏㼙以下㻌㻌 㻥㻌㼏㼙㻌 ｘ㻌㻌㻥㻌㼏㼙㻌 厚み㻌㻡㼏㼙以下㻌 㻝㻜倍㻌～㻌㻝㻜㻘㻜㻜㻜倍㻌 㻌 （対象物により制約があります）㻌 試料室 操作部 㻶㻿㻹㻙㻢㻜㻝㻜㻸㻭㻌 外観㻌 ４．測定事例㻌㻌 㻌 㻌 電子基板の不具合（導通不良）調査事例 㻼㼎㻌 㻔鉛㻕㻌 筋 状 変 色 部 位 㻿㼚㻌 㻔錫㻕㻌 写真１．筋状変色が見られた電子基板表面 写真２．ＳＥＭで拡大観察 写真３．変色部を元素マッピング分析 筋状変色が見られた部分㻌 㻨写真１㻪㻌を、無処理でそのまま拡大観察すると付着物が見られます。㻨写真２㻪㻌 元素マッピング分析を行った結果、付着物から、㻿㼚が多く検出されました。㻨写真３㻪㻌 㻌⇒ハンダ中の㻿㼚が結露（水分）によって選択腐食され流れて、導通不良に至ったと推測されます。㻌 お問合せはこちら
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