カーボン抽出レプリカ法による析出物のTEM観察

No.AMM-1702
Technical Report
No.
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カーボン抽出レプリカ法による析出物の㼀㻱㻹観察㻌
試料断面
㻝㻚カーボン抽出レプリカ法とは？㻌㻌
㻌カーボン抽出レプリカ法は、鋼中に存在する微細な析
出物や介在物を母相から抽出する試料作製法です。得
られたレプリカ膜をTEM観察すると、金属組織に対応し
た析出物の分布や形態を知ることができます。
㻌また、本作製法によるレプリカ膜は母相の情報をもた
ないため、析出物そのものの元素分析や電子回折像に
より、定性・定量分析や同定解析を行うことができます。
（１）研磨
析出物
（2）腐食
㻞㻚試料作製手順㻌㻌㻌㻌
（３）カーボン蒸着
（１）埋込試料を研磨する。
（２）母材成分に適した腐食液で腐食を行う。
（３）腐食面へカーボンを蒸着する。
（４）析出物を溶かさずに母材のみを溶出させる
㻌㻌剥離液へ浸漬させる。
（５）剥離、浮遊してきたレプリカ膜を洗浄する。
（６）グリッド上に採取する。
（４）剥離液へ浸漬
レプリカ膜
（５）剥離
（６）採取
カーボン抽出レプリカ法による試料作製手順
㻟㻚㻌９％㻯㼞鋼時効材溶接熱影響部の析出物調査㻌㻌㻌㻌
[counts]
Cr
Fe
Mo
[keV]
析出物の元素分析
(111)
(220)
(111)
析出物の電子回折像
5μm
粒界、粒内の析出物は (Cr,Fe)23C6 と同定
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