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大気圧プラズマ装置
ダイジェスト
イントロ
ダクション
（特許第4841177号）科学・
産業機器
Atmospheric-pressure Plasma Cleaners
AP500
恒温・乾燥器/
恒温恒湿器
高温炉・
パージガス
■ 概要
大気圧下に開放されたオープンな空間での処理を実施することができるた
め、燃料電池の材料や医療で利用する材料のような、さまざまな応用分野
が期待されています。
電極部のスリットから噴出してくる平面状の大気圧プラズマを、噴出して
くるプラズマに対して垂直方向のワーク上に、プラズマを90°
曲げて生成さ
せるという独自の技術（特許第4841177号）を有します。この技術により、
電極の下方にあるワークは広い面積でプラズマに接しているため、処理効
率を飛躍的に向上させることが可能です。さまざまなお客様の要望に応え
ることができます。
産業機器
プラズマ装置
恒温培養器
凍結乾燥・
冷却トラップ
滅菌器
純水製造
装置
恒温液槽
恒温水
循環装置
加熱器
濃縮器
減圧・加圧
ポンプ
乳化・撹拌・
振とう器
■ 用途
■仕様
プラズマ中の活性種（ラジカル、イオン、電子等）による作用を応用
する効果により、有機物の除去、酸化物の除去が可能です。
●高分子材料の表面処理
●FPD関連のガラス洗浄
●アッシング処理
●表面洗浄処理（酸化または還元処理）
対象基材のサイズ〜300mm×300mm
電源
高周波電源（低周波電源も可）
電源出力
500W※1
ガス
系統数：2系統（ヘリウム、酸素）※2
流量　ヘリウム：最大10l/min　酸素：最大100ml/min
※1
ユーティリティー電源：単相　AC200V　5A（15A）
（　）内はブレーカ量
本体標準寸法
幅1,300×奥行700×高さ1,400mm
制御方法
PLC、タッチパネル
その他
電極を水冷する設備が必要
※1.電極サイズにより、仕様が変更になります。ご相談ください。
※2.ご要望により、ガスの変更・追加ができます。
プラズマ発生状態
システム構想図
He
He
He
O
装置外観図
H2O
H2O
フィルター
分析・計測・
試験機器
天秤
pH 計
分光・発光・
蛍光装置
固体表面の元
素の化学的結
合が変化する
揮発性物質
の生成
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送液ポンプ
内部観察
装置
固体表面に入射
ラジカル
洗浄器
表面観察
装置
表面処理のメカニズム
プラズマ
造粒
乾燥装置
液体／ガス
クロマトグラフ
物性計測
装置
細胞関連
装置
気化蒸発
遠心
分離機
He
H
冷凍庫・
冷蔵庫
H2O
C H
環境・プロセス
関連装置
有機膜の除去
システム構想図
合成・
前処理装置
金属酸化物の除去
試験機器
L型屈折プラズマ方式
電池・半導体・
LED 関連装置
操作パネル(タッチパネル）
電極ユニット
計測機器
カバーワークス
テージ部開閉式
ガ
ス
ワークステージ
ガ
ス
電極ユニット
（ワーク上約2mm）
研究施設
システム
エンジニアリング
ヒューム
フード
粉体封じ込め
システム
進行方向
（1150）
950（PASS_LINE）
ワーク
ステージ
ワーク
（絶縁物または金属）プラズマ処理面
給排気
システム
L型プラズマ
実験台
保管・カート・
実験台用付属器具
環境制御・
実験施設
600
650
●仕様および外観は改良のため予告なく変更することがありますのでご了承下さい。製品カラーは、撮影・印刷インキの関係で実際の色と異なって見えることがあります。
www.yamato-net.co.jp
0120-405-525
AP500
ヤマト科学
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