64-3200シリーズ

64-3200シリーズ
圧力調整弁 - 減圧弁
D64321837XJP2
仕様
本カタログに記載されていない材質や特注品については、TESCOM製品販売
店までお問い合わせください。
操作パラメータ
ANSI/ASME B31.3を基準とする
最大入口圧力
1.03、6.89、10.3 MPa / 150、1000、1500 psig
出口圧力範囲
0.21、0.41、0.69、1.03、1.38 MPa / 30、60、100、150、200 psig
設計耐圧圧力
最大出口圧力の150%
インボードリークレート
<1 x 10 -9 Pa-m3/sec He
使用温度
Teflon®シート: -40°F～160°F / -40°C～71°C
PCTFEシート: -40°F～140°F / -40°C～60°C
Vespel®シート: -40°F～350°F / -40°C～177°C
流量係数
Cv = 1.2
元圧変動特性
0.69 MPaごとに0.03 / 100 psigごとに5
TESCOM 64-3200シリーズ超高純度/高流量ダイア
フラム連結型減圧レギュレーターは、10 Raマイク
ロインチ / 0.25マイクロメートルの表面処理が施さ
れ、Hastelloy®トリムを選択できます。最大流量は
31.8 SCFM / 900 SLPMで、入口圧力は1.03、6.89、
10.3 MPa / 150、1000、1500 psig、出口圧力は
1.38 MPa / 200 psigです。
流体接触部の材質
ボディ
316Lステンレス電解研磨または
316L VARステンレス電解研磨
ダイアフラム
Hastelloy®
シート固定具
316ステンレス
ポペット
316ステンレスまたはHastelloy®
バルブシート
Teflon®、Vespel®、PCTFE
バルブスプリング
316ステンレス
残りの部品
316ステンレス
用途
• 大流量特殊ガス供給システム(BSGS)
• 1/2"ユースポイント
• 工具接続部
• ガスキャビネット
特長と利点
• 高流量特殊ガス供給用の設計
その他
内部表面処理
10 Raマイクロインチ / 0.25マイクロメートル
接続
接液部の雌型または雄型VCR®
スタッブ管
高純度内部接続(H.P.I.C.)
(内部スタイルはVCR®、VCR®雄型スイベルに対応)
洗浄仕様
内
部電解研磨モデルは、エレクトロニクス用脱イオン水で洗浄さ
れ、ES 500粒子認定付き
内部容積
1/2"継手 / 32 cc
重量
3.5 lbs / 1.6 kg
• Hastelloy®トリムオプションを選択可能
• ポジティブシャットオフシール、連結ダイアフラム
• メタルダイアフラムが本体をシールし、優れたリー
ク完全性を実現
• 取り込み型ボンネット
Teflon®およびVespel®は、E.I. du Pont de Nemours and Companyの登録商標
です。
Hastelloy®はHaynes International, Inc.の登録商標です。
VCR®はCajon Co.の登録商標です。
www.tescom.com
64-3200シリーズ減圧弁図面
Ø2.27
[58]
増
出口
入口
減
最大出口PSIG
面間寸法
1/8-27NPTF
NPTF
1/8-27
(位置調整可能)
(POSITIONABLE)
FIGURE
A (NO GAUGES)
図A (ゲージなし)
出口側ゲージ
入口側ゲージ
増
6.6
[168]
入口
出口
最大出口PSIG
減
面間寸法
FIGURE
B (2 GAUGES)
図B
(ゲージ2基)
出口側ゲージ
増
1.0
[25]
入口
出口
最大出口PSIG
減
Ø2.59
[66]
Ø2.7
[69]
面間寸法
図C
(ゲージ1基)
FIGURE
C (1 GAUGE)
出口側ゲージ
増
入口
出口
(2X) Ø.28
[7]
取付情報
MOUNTING
INFORMATION
2X
2X1/4-20 UNC
.30完全ねじ部
1/4-20 UNC
減
.30 FULL THD
出口側ゲージ
面間寸法
FIGURE
D (2 OUT GAUGES)
図D (出口側ゲージ2基)
すべての寸法は参照用の公称数値です。括弧内が
メートル法[mm]に換算した数値を表します。
2
1.38
[35]
64-3200シリーズ減圧弁流量曲線図
流量曲線図の使い方に関する詳細は、TESCOMカタログまたはwww.tescom.comに掲載されている
『流量曲線と計算説明書』
(debul2007xjp2)をご覧ください。
OUTLET
PRESSURE
- psig [bar]
出口圧力
- MPa [psig]
1.10
[160]
64-3263KRL30
64-3263KRL30
0.97
[140]
64-3263KRL20
64-3263KRL20
P1= =0.69
100MPa
psig[100
[6.9 psig]
bar]
11P1
P1= =4.14
600MPa
psig[600
[41.4psig]
bar]
22P1
33P1
MPa
[1000
P1= =6.89
1000
psig
[69.0psig]
bar]
0.83
[120]
64-3262TRL30
64-3262TRL30
0.14
[20]
0
1
64-3261TRL30
64-3261TRL30
1
64-3260TRL30
64-3260TRL30
10
[283]
2
64-3262TRL30
64-3262TRL30
1
5
[142]
3
64-3262KRL20
64-3262KRL20
0.41
[60]
0.28
[40]
2
64-3262KRL30
64-3262KRL30
0.69
[100]
0.55
[80]
3
20
[566]
25
[708]
64-3261KRL20
64-3261KRL20
3
2
64-3260KRL30
64-3260KRL30
1
15
[425]
64-3261KRL30
64-3261KRL30
3
2
64-3260KRL20
64-3260KRL20
30
[850]
35
[991]
40
[1133]
FLOW RATE
- SCFM
Nitrogen
流量
- SCFM [SLPM]
[SLPM]窒素
3
64-3200シリーズ減圧弁機種選定表
本製品向けのリペアキット、
アクセサリ、特注仕様につきましては、TESCOM製品販売店までお問い合わせ下さい。
部品番号の選択例:
64-32
6
3
K
基本
シリー
ズ
ボディの材質/表面処理
出口圧力範囲
シート材質
64-32 4 – 316Lステンレス電
解研磨:10 Ra1
6 – 316L VARステンレ
ス電解研磨:10 Ra2
0 – 0.21 MPa
30 psig
1. ASTM B 912に準拠
2. SEMI F19、HPグレー
ドに準拠
RL
出入口ポート
K – PCTFE (6.89 T1 – 1"管端
または
T6 – 3/8"管端
10.3 MPa /
1 – 0.41 MPa
T7 – 3/4"管端
1000または T8 – 1/2"管端
60 psig
1500 psig入口 RA – 1/4"雄型固定
2 – 0.69 MPa
側のみ)
RB – 3/4"雄型スイベル
100 psig
eflon®
RC – 3/4"雌型スイベル
3 – 1.03 MPa T – T
(1.03 MPa /
RG – 1/4"雄型スイベル
150 psig
150 psig入口
(高流量)
(6.89ま
側のみ)
RH – 1/4"雌型スイベル
たは
®
(高流量)
10.3 MPa / V – Vespel
(6.89または RK – 1/2"雄型スイベル
1000
10.3 MPa /
RL – 1/2"雌型スイベル
または
1000または RU – 入口ポート:1/4"
1500 psig
1500 psig入
雄型固定、出口ポ
入口側の
口側のみ)
ート:1/4"雌型ス
み)
イベル
4 – 1.38 MPa
入口ポート:1/4"雌
RV – 200 psig
型スイベル、出口
(6.89ま
ポート:1/4"雄型ス
たは
イベル
10.3 MPa /
RY – 入口ポート:1/4"雌
1000
型(高流量)、出口ポ
または
ート:1/4"雄型固定
1500 psig
RZ – 入口ポート:1/2"雌
入口側の
型スイベル、出口
み)
ポート:1/2"雄型ス
イベル
SA – 1/4"雄型固定
SK – 1/2"雄型スイベル
1
'A' ± .06"
5.75"
3.70"
5.75"
3.70"
3.70"
6.30"
6.30"
4.27"
4.27"
5.59"
5.59"
3.70"
最大入口圧力
316ステンレストリム
1 – 10.3 MPa
1500 psig
2 – 6.89 MPa
1000 psig
3 – 1.03 MPa
150 psig
Hastelloy トリム
®
4 – 10.3 MPa
1500 psig
5 – 6.89 MPa
1000 psig
6 – 1.03 MPa
150 psig
5.59"
4.27"
5.59"
4.08"
5.21"
0
ゲージポート
0 – なし
1 – 1/4" H.P.I.C.
2 – 1/4" H.P.I.C.
3 – 1/4" H.P.I.C.
4 – 1/4"雄型ス
イベル
5 – 1/4"雄型ス
イベル
6 – 1/4"雄型ス
イベル
7 – 1/4"雌型ス
イベル 8 – 1/4"雌型ス
イベル
9 – 1/4"雌型ス
イベル
N – 1/4"スタッ
ブ管
P – 1/4"スタッ
ブ管
R – 1/4"スタッ
ブ管
S – 1/4"雄型
固定
T – 1/4"雄型
固定
U – 1
/4"雄型
固定
ゲージポート
数(図)
0 (図A)
1 (図C)
2 (図B)
2 (図D)
2 (図D)
1 (図 C)
2 (図 B)
2 (図 D)
1 (図 C)
2 (図 B)
2 (図 B)
1 (図 C)
2 (図 D)
2 (図 B)
1 (図 C)
2 (図 D)
警告！「TESCOMの安全性、設置および運用に関する諸注意」を読んで完全に理解するまで、本製品を選択、設置、使用または保守点検しないでく
ださい。
D64321837XJP2 © 2015 Emerson Process Management Regulator Technologies, Inc. All rights reserved. 2015年11月
Tescom、Emerson Process Management、およびEmerson Process Managementの意匠は、Emerson Process Managementグループに属
するいずれかの会社のマークです。その他のマークはすべて各所有者に帰属します。
www.tescom.com
4

Download Report