64-2600シリーズ

64-2600シリーズ
圧力調整弁 - 減圧弁
D64261732XJP2
仕様
本カタログに記載されていない材質や特注品については、TESCOM製品販売
店までお問い合わせください。
操作パラメータ
ANSI/ASME B31.3を基準とする
最大入口圧力
4.14または24.1 MPa / 600または3500 psig
出口圧力範囲
0-0.21、0-0.41、0-0.69、0-1.03および1.72 MPa
0-30、0-60、0-100、0-150および250 psig
設計耐圧圧力
最大出口圧力の150%
インボードリークレート
1 x 10 -9 Pa-m3/sec He
使用温度
PTCFEシート: -40°F～140°F / -40°C～60°C
Teflon®シート: -40°F～160°F / -40°C～71°C
Vespel®シート: -40°F～350°F / -40°C～177°C
流量係数
Cv = 0.06 (24.1 MPa / 3500 psigモデル)
Cv = 0.15 (4.14 MPa / 600 psigモデル)
TESCOM 64-2600シリーズ高純度減圧弁は、
費用対効果
に優れ、
10 Raの表面処理を施したステンレス組成で、
エレクトロニクス用洗浄が施されています。
入口圧力は
4.14または24.1 MPa / 600または3500 psig、
出口圧力は
最大1.72 MPa / 250 psigです。
元圧変動特性
Cv = 0.06: 0.69 MPaごとに4.8 kPa / 100 psigごとに0.7
流体接触部の材質
ボディ
316Lステンレス電解研磨または
316L VARステンレス電解研磨
用途
ダイアフラム
316LステンレスまたはHastelloy®*
• 1/4"ユースポイント
シート
PCTFEまたはTeflon® (Vespel®は24.1 MPa / 3500 psigモデルのみのオプション)
スプリング
316ステンレスまたはEligiloy®
ステム、
シート固定具、バルブガイド
316ステンレスまたはHastelloy®*
• ガスキャビネット
• 半導体製造
• バルブマニホールドボックス
• 研究実験
特長と利点
• 優れた数値で性能と清浄度を最適化
その他
• 10 Raマイクロインチ / 0.25マイクロメートルの内
部表面処理により、粒子の生成と取り込みを最小限
に抑えられる
内部表面処理
10 Raマイクロインチ / 0.25マイクロメートル
接続
接液部の雌型または雄型VCR®
スタッブ管
高純度内部接続(H.P.I.C.)
(内部スタイルはVCR®、VCR®雄型スイベルに対応)
• 完全な本体メタルダイアフラムシールにより、
リー
ク完全性を強化
洗浄仕様
内部電解研磨モデルは、エレクトロニクス用脱イオン水で洗浄さ
れ、ES 500粒子認定付き
内部容積
1/4"継手 / 5.75 cc
• フローストリームにバイアススプリングまたは摩擦
停止装置なし
• 調整式ストッパーが出口圧力を制限
• 調整可能なポート付きボンネットリングを選択可能
重量
2 lbs / 0.9 kg
Teflon®およびVespel®は、E.I. du Pont de Nemours and Companyの登録
商標です。
Hastelloy®はHaynes International, Inc.の登録商標です。
Elgiloy®はElgiloy Corpの登録商標です。
VCR®はCajon Co.の登録商標です。
またはASTM B 574に準拠したそれに相当する材質
* Hastelloy®、
www.tescom.com
1
64-2600シリーズ減圧弁図面
出口
増
入口
図A (ゲージなし)
減
面間寸法
「A」
出口側ゲージ
出口ゲージ
出口
入口ゲージ
入口側ゲージ
増
入口
図B (ゲージ2基)
減
面間寸法
「A」
出口ゲージ
出口側ゲージ
出口
入口
増
図C (ゲージ1基)
減
面間寸法
「A」
M5 2X
.28完全ねじ部
出口ゲージ
取付情報
出口
入口
増
図D (出口ゲージ2基)
減
出口ゲージ
面間寸法
「A」
すべての寸法は参照用の公称数値です。
括弧内がメートル法[mm]に換算した数値を表します。
2
64-2600シリーズ減圧弁流量曲線図
流量曲線図の使い方に関する詳細は、TESCOMカタログまたはwww.tescom.comに掲載されている
『流量曲線と計算説明書』
(debul2007xjp2)をご覧ください。
0.69
[100]
OUTLET
PRESSURE
- psig [bar]
出口圧力
- MPa [psig]
0.62
[90]
64-2662XXX2X
0.55
[80]
1
2
0.48
[70]
3
0.41
[60]
0.34
[50]
64-2661XXX2X
2
3
0.28
[40]
4
0.21
[30]
0.14
[20]
0.07
[10]
64-2660XXX2X
3
2
4
1 - P1=1.38 MPa [200 psig]
2 - P1=1.03 MPa [150 psig]
3 - P1=0.83 MPa [120 psig]
4 - P1=0.69 MPa [100 psig]
0.71
[20]
1.41
[40]
2.12
[60]
2.83
[80]
3.53
[100]
FLOW RATE
SCFM
[SLPM] Nitrogen
流量 --SCFM
[SLPM]窒素
3
64-2600シリーズ減圧弁機種選定表
本製品向けのリペアキット、
アクセサリ、特注仕様につきましては、TESCOM製品販売店までお問い合わせ下さい。
部品番号の選択例:
64-26
4
2
K
基本
シリーズ
ボディの材質/表面処理
出口圧力範囲
シート材質
64-26
4 – 316Lステンレス電解研磨:10 Ra1
6 – 316L VARステンレ
ス電解研磨:10 Ra2
A4
0 – 0-0.21 MPa K – PCTFE
0-30 psig
T – Teflon®
1 – 0-0.41 MPa V – Vespel® (24.1 MPa /
0-60 psig
3500 psig
2 – 0-0.69 MPa
モデルのみ)
0-100 psig
3 – 0-1.72 MPa
0-250 psig
6 – 0-1.03 MPa
0-150 psig
出入口ポートサイズ
およびタイプ
A4 – 1/4" H.P.I.C.
RK – 1/2"雄型スイベル
RL – 1/2"雌型スイベル
RM – 1/4"雄型スイベル
RT – 1/4"雌型スイベル
RU – 入口ポート:
1/4"雄型、
出口ポート:1/4"雌型
RV – 入口ポート:
1/4"雌型、
出口ポート:1/4"雄型
T4 – 1/4"スタッブ管
1. ASTM B 912に準拠
2. SEMI F19、HPグレー
ドに準拠
1
'A' ± .06"
4.75"
4.75"
3.70"
3.70"
3.70"
3.70"
3.00"
最大入口
0
ゲージポート
オプション
0 – なし
1 – 1/4" H.P.I.C.
2 – 1/4" H.P.I.C.
3 – 1/4" H.P.I.C.
4 – 1/4"雄型 2 – 4.14 MPa
スイベル
600 psig
316ステンレス 5 – 1/4"雄型スイベル
トリム
6 – 1/4"雄型 3 – 24.1 MPa
スイベル
3500 psig
7 – 1/4"雌型 Hastelloy®
スイベル
トリム
8 – 1/4"雌型 4 – 4.14 MPa
スイベル
600 psig
9 – 1/4"雌型 H
astelloy®
スイベル
トリム S – 1/4"雄型
固定
T – 1/4"雄型
固定
U – 1/4"雄型
固定
1 – 24.1 MPa
3500 psig
316ステンレス
トリム
ゲージポート
数(図を参照)
0 (図A)
1 (図C)
2 (図B)
2 (図D)
2 (図D)
1 (図 C)
2 (図 B)
2 (図 D)
1 (図 C)
2 (図 B)
2 (図 B)
1 (図 C)
2 (図 D)
警告！「TESCOMの安全性、設置および運用に関する諸注意」を読んで完全に理解するまで、本製品を選択、設置、使用または保守点検しないでく
ださい。
D64261732XJP2 © 2012 Emerson Process Management Regulator Technologies, Inc. All rights reserved. 2012年5月
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するいずれかの会社のマークです。その他のマークはすべて各所有者に帰属します。
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4

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