12シリーズ - Emerson

12シリーズ
圧力調整弁 - 減圧弁
D12XX1890XJP2
仕様
本カタログに記載されていない材質や特注品については、TESCOM製品販売
店までお問い合わせください。
操作パラメータ
ANSI/ASME B31.3を基準とする
最大入口圧力
1.03 MPa / 150 psig
出口圧力範囲
0.03 to 0.10 MPa / 250 mm Hg-15 psig
0-0.21、0-0.41、0-0.69 MPa / 0-30、0-60、0-100 psig
設計耐圧圧力
最大出口圧力の150%
インボードリークレート
<1 x 10-9 atm cc/sec He
使用温度
-40°F～140°F / -40°C～60°C
流量係数
標準:Cv = 0.04
高流量: Cv = 0.08
流体接触部の材質
ボディ
316L VARステンレス
ダイアフラム
Hastelloy®*
シート
PCTFE
バルブステム
Hastelloy®*
残りの部品
316L VARステンレス
その他
接続
表面実装: 1.125"または1.50"フットプリント
溶接継手: 1/4" VCR®またはスタッブ管
内部容積
1/4" VCR®: 3.0 cc
1.125" Cシール: 1.8 cc
1.50" Cシール: 1.5 cc
重量
VCR®、IGS: 0.60 lbs / 0.3 kg
Aスタイル: 1.08 lbs / 0.5 kg
VCR®はCajon Co.の登録商標です。
Hastelloy®はHaynes International, Inc.の登録商標です。
またはASTM B 574に準拠したそれに相当する材質
*Hastelloy®、
VCR®
IGS
TESCOM 12シリーズは、小型の超高純度IGS/VCR減圧
調整弁です。12シリーズでは、5 Raまたは10 Raマイク
ロインチ表面処理、連結型ダイアフラム、内部にスプリ
ングもネジも使用しない設計を特徴としています。
提供する入口圧力は1.03 MPa / 150 psig、出口圧力は
0.03, 0.10, 0.21, 0.41, 0.69 MPa / 250 mm Hg-15、30、
60、100 psigで、流量は最大120 SLPMです。
用途
• OEMツール
• ガス容器
• 低圧ガスキャビネット
特長と利点
• 最新のOEMガスシステムに最適の製品
• 超高感度圧力制御により、MFC性能を強化
• 幅広い用途で優れた性能を発揮
• 2 scfm～120 SLPMの流量
• マイクロコンポーネントで最高の圧力降下と繰り
返し精度
• メタルダイアフラムが本体をシールし、優れたリー
ク完全性を実現
• 10 Raまたは5 Raマイクロインチの内部表面処理
• SEMI F19およびSEMIモジュール式インターフェイス
仕様に準拠
www.tescom.com
12シリーズ減圧弁図面
VCR®モデル
Aスタイルモデル
IGSモデル
1/4 HPIC
HPIC1/4 HPIC
1/4
OUTLET OUTLET
出口側
GAUGE GAUGE
ゲージ
*
INLET
入口 INLET
OUTLET
出口 OUTLET
4X M5 0.8-6H 7mm
全ねじ深さ
フットプリン
トサイズに
ついては、
機種選定表
を参照
4X M5 0.8-6H 7mm
全ねじ深さ
すべての寸法は参照用の公称数値です。
括弧内がメートル法[mm]に換算した数値を表します。
*高純度内部接続(H.P.I.C.):Tescom高純度内部接続。減圧弁本体内に機械で加工され、VCR® (またはそれに相当する)雄型継手(スイベル)のみに適合するように設計
されています。
2
12シリーズ減圧弁流量曲線図
流量曲線図の使い方に関する詳細は、TESCOMカタログまたはwww.tescom.comに掲載されている
『流量曲線と計算説明書』
(debul2007xjp2)をご覧ください。
12 Series
標準流量モデル
- MPa-[psig]
OUTLET出口圧力
PRESSURE
MPa [psig]
0.24
[35]
0.21
[30]
0.17
[25]
0.69
MPa
[100
psig]
(入口)
0.69
MPa
[100
psig]
Inlet
0.14
[20]
0.41MPa
MPa
[60
psig]
Inlet
0.41
[60
psig]
(入口)
0.10
[15]
0.41
[60 psig]
psig] (入口)
Inlet
0.41 MPa
MPa [60
0.07
[10]
0.21MPa
MPa [30
[30 psig]
psig] Inlet
(入口)
0.21
0.03
[5]
0
0.35
[10.0]
0.18
[5.0]
0.53
[15.0]
0.71
[20.0]
0.88
[25.0]
1.06
[30.0]
FLOW RATE
SCFM
[SLPM]
流量 - -SCFM
[SLPM]
窒素Nitrogen
M4
高流量モデル
0.69
[100]
出口圧力
- MPa [psig]
OUTLET
PRESSURE
- psig [bar]
0.62
[90]
0.55
[80]
0.69
(入口)
100 MPa
psig [100
[6.9 psig]
bar] Inlet
80 psig
bar] Inlet
0.55
MPa[5.5
[80 psig]
(入口)
60 psig
bar] Inlet
0.41
MPa[4.1
[60 psig]
(入口)
0.48
[70]
0.41
[60]
0.34
[50]
0.28
[40]
0.21
[30]
0.14
[20]
0.07
[10]
0
0.35
[10.0]
0.71
[20.0]
1.06
[30.0]
1.41
[40.0]
1.76
[50.0]
2.12
[60.0]
2.47
[70.0]
2.83
[80.0]
3.18
[90.0]
3.53
[100]
3.89
[110]
4.24
[120]
FLOW RATE
SCFM[SLPM]
[SLPM]
流量 -- SCFM
窒素Nitrogen
3
12シリーズ減圧弁機種選定表
本製品向けリペアキット、
アクセサリ、特注仕様につきましては、TESCOM製品販売店までお問い合わせください。
部品番号の選択例:
12
1
基本シ
流量オプション
リーズ
12
タイプ
A
材質
ボディ
トリム
シート
– 標準流量 1 – 非取り込 A – 316L VAR Hastelloy®1 PCTFE
ステン
モデル
み型ボン
レス
ネット
H – 高流量モ
Hastelloy®1 PCTFE
デル
B – 316L VAR
ステン
レス
内部表
面処理
10 Ra
5 Ra
1
1
AADM6DM6
Z
出口圧力
ハンドノブ
の色
ポート構成(面間寸法)
オプション
(1つだけ選択)
0 – 0.03–
1–黒
0.10 MPa
5–白
250 mm Hg–
15 psig
1 – 0-0.21 MPa
0-30 psig
2 – 0-0.41 MPa
0-60 psig
3 – 0 - 0.69 MPa
0-100 psig
IGS2C1.5 – 1.50" Cシール
Z – 精密電解研磨
IGS2C1.1 – 1.125" C
シール
4 – 標準電解研磨
(12-1Aのみで選
択可能)
IGS21.5W – 1.50" W
シール
IGS2W1.1 – 1.125" W
シール
AADM6DM6 – 1/4"雌型
VCR® (2.78" ETE2)
T – 試験報告 - 一
般(ヘリウムリーク
および粒子数測
定証明書)
C – 合格証明書
AAEM6EM6 – 1/4"固定雄型
VCR® (2.78" ETE2)
AABM5BM5 – 1/4"スタッブ管
(2.00" ETE2)
Aスタイル専用:
ABEB7EB7 – 1/4"固定雄型
VCR® (3.70" ETE2)
ABDB7DB7 – 1/4"雌型VCR®
(3.70" ETE2)
ABDB7EB7 – 1/4"雌型VCR®入
口側1/4"固定雄型VCR® 出口
側(3.70" ETE2)
1. Hastelloy®、
またはASTM B 574に準拠したしたそれに相当す
る材質
2. ETE - 面間寸法
ABEB7DB7 – 1/4"固定雄型
VCR®入口側1/4"雌型VCR®出
口側(3.70" ETE2)
警告！「TESCOMの安全性、設置および運用に関する諸注意」を読んで完全に理解するまで、本製品を選択、設置、使用または保守点検しないでく
ださい。
D12XX1890XJP2 © 2012 Emerson Process Management Regulator Technologies, Inc. All rights reserved. 2012年5月
Tescom、Emerson Process Management、およびEmerson Process Managementの意匠は、Emerson Process Managementグループに属
するいずれかの会社のマークです。その他のマークはすべて各所有者に帰属します。
www.tescom.com
4

Download Report