集束イオンビーム加工観察装置の鏡筒等の更新 仕 様 書 平成２８年８月 国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構 核融合エネルギー研究開発部門 六ヶ所核融合研究所 核融合炉材料研究開発部 核融合炉構造材料開発グループ 目 次 １． 件名 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・２ ２． 目的及び概要 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・２ ３． 作業対象装置 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・２ ４． 納品場所 ５． 納期 ６． 作業内容 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・２ ７． 提出図書 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・２ ８． 検収 ９． 作業実施に当たっての留意事項 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・２ ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・２ ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・３ １０．特記事項 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・３ １１．グリーン購入法の推進 １２．その他 （添付資料） ・・・・・・・・・・・・・・・・・・３ ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・３ ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・３ １． 件名 集束イオンビーム加工観察装置の鏡筒等の更新 ２．目的及び概要 本件は、国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構（以下「QST」という）が 幅広いアプローチ活動（BA）の一環として実施する、組織解析に要する主力装置と して最も稼働率の高い集束イオンビーム加工観察装置において、長時間の使用によ り鏡筒が汚れてビームが不安定化する現象が多発するようになり、研究に支障をき たすため、汚染を抑制する為のシールドを含む鏡筒部分一式を交換する。 ３．作業対象装置 株式会社日立ハイテクフィールディング 集束イオンビーム加工観察装置（FB2100 型） ４．納品場所 QST・六ヶ所核融合研究所・R&D 棟微細構造解析群室 ５．納期 平成 29 年 2 月 28 日（火） ６．作業内容 項目３の装置に対して行う。 主な内容は以下の通り。 （１）対物レンズの交換。（品名コード：42562992、 P/N420－1046） 鏡筒内の対物レンズを交換する。 既存の対物レンズの構成は 2 段静電式レンズ、 非点補正用コイル 8 極静電式、XY 偏向コイル 8 極静電式、これらの組み合わせで 同じ仕様である事。 倍率補償は 700 倍から 90,000 倍の範囲を歪みなく観察可能な事。 （２）真空経路のクリーニング及びシールドケースの交換（P/N420－1010） 有機溶剤等を用いて真空経路のクリーニングを行う。 またクリーニング後に汚 染を抑制する為のシールドケースを交換する。尚交換するシールドケースは既存 の物と同じ仕様である事。 （３）真空度及びケーブル等の接続確認 真空排気を行い真空到達度 3ｘ10-5Pa 以上とする。 （４）各機能の動作確認等 ・対物レンズ交換後の軸調整を実施して、各加工条件のビーム調整を実施する。 ・試料作製する工程において、ビームの引っ張られ現象が起きない事を確認する。 ・LMIS（電子銃部 P/N420－026）、ヘリコフレックス（P/N422－1295）、 アパーチャ（C）FB（P/N420－3229）を新しい物に交換する。 ・更新した装置を用いて試料作製し、適切に加工が出来る事を確認する。 尚交換する部品は既存の物と同じ仕様である事。 ７．提出図書 （１） 作業工程表 （２） 検査成績書 契約後速やかに 検収時 １部 １部 （３） その他、QST が指示する書類 必要に応じ随時 （提出場所） QST・六ヶ所核融合研究所・管理研究棟 213 号室 ８．検収 「７．提出図書」の確認及び、QST が仕様書に定める業務が全て実施されたと認めた 時を以て完了とする。 ９．作業実施に当たっての留意事項 （１）受注者は、法令に定める資格を要する作業については、有資格者を確保して 実施するものとし、法令の規定を遵守して作業を行うこと。 （２）受注者は、作業に直接関係のない場所にみだりに立ち入らないこと。 （３）受注者は、本作業の終了確認を行った後、速やかに QST に報告を行うととも に、検収を依頼すること。 １０．特記事項 （１）本仕様書に定めのない事項については、QST と協議の上決定すること。 受注者は、当該装置の交換調整作業に関する技術を有していること。 （２）本仕様書に定める作業に対し、当該装置の性能保証が担保されること。 （３）受注者は異常事態等が発生した場合、QST の指示に従い行動するものとする。 １１．グリーン購入法の推進 （１）本契約において、グリーン購入法（国等による環境物品等の調達の推進等に 関する法律）に適用する環境物品（事務用品、ＯＡ機器等）が発生する場合は、 これを採用するものとする。 （２）本仕様に定める提出図書（納入印刷物）については、グリーン購入法の基本 方針に定める「紙類」の基準を満たしたものであること。 １２．その他 本仕様書に記載されている事項及び本仕様書に記載のない事項について疑義が 生じた場合は、QST と協議の上、その決定に従うものとする。 （要求者） 六ヶ所核融合研究所 核融合炉材料研究開発部 核融合炉構造材料開発グループ 黒滝 宏紀
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