アルバックグループの取り組み・技術ニーズ紹介とオープンイノベーション株式会社アルバック技術企画室齋藤一也、中山高博１. アルバックグループの事業概要アルバックグループは、互いに協力・連携し、真空技術及びその周辺技術を総合利用することにより、産業と科学の発展に貢献することを目指すことを経営基本理念とし、真空をコア技術として、フラットパネルディスプレイ（FPD）、電子部品、半導体、一般産業用機器向けに、装置、材料、分析評価、サービスを多角的に提供しています。アルバックグループの事業内容と最先端分野の技術ニーズを紹介し、技術シーズをお持ちの企業様等とのオープンイノベーションを希望します。２. アルバックグループの事業内容２－１．分野別事業内容１）FPD 分野：大型 TV 及び中小型ディスプレイ（タブレット、スマートフォン）用 LCD、OLED 及びタッチパネル用製造装置、ディスプレイ用研究開発装置２）電子部品分野：LED デバイス、パワーデバイス、実装、MEMS デバイス、通信デバイス、光学膜、磁気デバイス、太陽電池（結晶、化合物）及び二次電池用製造装置３）半導体分野：FEOL/BEOL プロセス用及び不揮発性メモリ用製造装置４）一般産業分野：自動車・航空機部品、磁石、配線材料、コンデンサ、包装材料、加飾、医薬品、食品、ヘルスケア製品、建材等の製造装置５）コンポーネント分野：真空排気装置、真空計測機器、基板搬送機器、成膜関連機器、評価機器６）材料分野：エレクトロニクス材料、機能性材料７）その他分野：表面分析装置、マスクブランクス、委託成膜等２－２．製品別事業内容１）装置スパッタリング装置、CVD 装置、真空蒸着装置、蒸着重合装置、アッシング装置、エッチング装置、イオン注入装置、アニール装置、真空炉、巻取式成膜装置、凍結真空乾燥装置、真空蒸留装置、ヘリウムリークテスト装置、その他２）コンポーネント真空ポンプ、ドライ真空ポンプ、油回転真空ポンプ、メカニカルブースターポンプ、スパッタイオンポンプ、ターボ分子ポンプ、油拡散ポンプ、クライオポンプ、チタンゲッタポンプ、真空計、ガス分析計（プロセスガスモニタ）、リークディテクタ、薄膜計測、高速分光エリプソメータ、非接触式金属膜厚測定器、水晶発振式成膜コントローラ、触針式プロファイラ、光学式プロセスモニタ、真空バルブ、超高真空部品、成膜用電源、EB ガン、真空搬送ロボット、ソフトウェア、微量精密撹拌機３）材料スパッタリングターゲット：FPD 用ターゲット、半導体用ターゲット、IGZO ターゲット、蒸着材料高機能材料：(Ta, Nb) 板、(Ta, Nb) 棒・線、(Ta, Nb) チューブ、(Ta, Nb, Zr) 反応槽、(Ta, Nb) 熱交換器、(Ta, Nb, Zr) 塔、(Ta, Nb, Zr, Ti) コーティング、(Ta, Nb, Zr, Ti) 配管、ナノメタルインク４）カスタマーサポート装置メンテナンス、緊急対応システム、グローバル CIP ファクトリー、アウトソーシング、再生・精密洗浄・資源回収、コンポーネントメンテナンス、ポンプメンテナンス、真空計 JCSS 校正サービス等