アルバックグループの取り組み・技術ニーズ紹介とオープンイノベーション 株式会社アルバック 技術企画室 齋藤 一也、中山 高博 1. アルバックグループの事業概要 アルバックグループは、互いに協力・連携し、真空技術及びその周辺技術を総合利用することにより、産業と科学 の発展に貢献することを目指すことを経営基本理念とし、 真空をコア技術として、 フラットパネルディスプレイ (FPD) 、 電子部品、半導体、一般産業用機器向けに、装置、材料、分析評価、サービスを多角的に提供しています。アルバッ クグループの事業内容と最先端分野の技術ニーズを紹介し、技術シーズをお持ちの企業様等とのオープンイノベーシ ョンを希望します。 2. アルバックグループの事業内容 2-1.分野別事業内容 1)FPD 分野:大型 TV 及び中小型ディスプレイ(タブレット、スマートフォン)用 LCD、OLED 及びタッチパネ ル用製造装置、ディスプレイ用研究開発装置 2)電子部品分野:LED デバイス、パワーデバイス、実装、MEMS デバイス、通信デバイス、光学膜、磁気デバイ ス、太陽電池(結晶、化合物)及び二次電池用製造装置 3)半導体分野:FEOL/BEOL プロセス用及び不揮発性メモリ用製造装置 4)一般産業分野:自動車・航空機部品、磁石、配線材料、コンデンサ、包装材料、加飾、医薬品、食品、ヘルスケ ア製品、建材等の製造装置 5)コンポーネント分野:真空排気装置、真空計測機器、基板搬送機器、成膜関連機器、評価機器 6)材料分野:エレクトロニクス材料、機能性材料 7)その他分野:表面分析装置、マスクブランクス、委託成膜等 2-2.製品別事業内容 1)装置 スパッタリング装置、CVD 装置、真空蒸着装置、蒸着重 合装置、アッシング装置、エッチング装置、イオン注入装 置、アニール装置、真空炉、巻取式成膜装置、凍結真空乾 燥装置、真空蒸留装置、ヘリウムリークテスト装置、その 他 2)コンポーネント 真空ポンプ、ドライ真空ポンプ、油回転真空ポンプ、メ カニカルブースターポンプ、スパッタイオンポンプ、タ ーボ分子ポンプ、油拡散ポンプ、クライオポンプ、チタ ンゲッタポンプ、真空計、ガス分析計(プロセスガスモ ニタ) 、リークディテクタ、薄膜計測、高速分光エリプソ メータ、非接触式金属膜厚測定器、水晶発振式成膜コン トローラ、 触針式プロファイラ、 光学式プロセスモニタ、 真空バルブ、超高真空部品、成膜用電源、EB ガン、真 空搬送ロボット、ソフトウェア、微量精密撹拌機 3)材料 スパッタリングターゲット:FPD 用ターゲット、半導体用ターゲット、IGZO ターゲット、蒸着材料 高機能材料:(Ta, Nb) 板、(Ta, Nb) 棒・線、(Ta, Nb) チューブ、(Ta, Nb, Zr) 反応槽、(Ta, Nb) 熱交換器、(Ta, Nb, Zr) 塔、(Ta, Nb, Zr, Ti) コーティング、(Ta, Nb, Zr, Ti) 配管、ナノメタルインク 4)カスタマーサポート 装置メンテナンス、緊急対応システム、グローバル CIP ファクトリー、アウトソーシング、再生・精密洗浄・資源回 収、コンポーネントメンテナンス、ポンプメンテナンス、真空計 JCSS 校正サービス等
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