BOWMAN - フレックス・サービス

HIGH PERFORMANCE XRAY FLUORESCENCE(XRF) ANALYZER
for Coating Thickness , Alloy Composition and Plating Solution Measurement
蛍光エックス線膜厚計
2016.6
BOWMAN(ボーマン）は
膜厚計の革命を提案！
小型コンパクトな装置です。蛍光X線膜厚計の測定精度はX線強度に依存します。
X線強度を最大限にするために、主要部品を小型モジュール化し１つの「箱」（ボックス）に収め、
X線源とサンプルまでの距離をできる限り近づける事に成功しました。（従来製品比約 1/3）
部品小型化は消耗部品であるX線管球の交換時間が短縮できるなど、メンテナンス性の向上します。
ＢＯＷＭＡＮ（ボーマン）は、めっきの膜厚測定に経験豊富なスタッフが設計しました。
■ アプリケーション
自動車
プリント基板
Zn/Fe
Cr/Ni/Cu/ABS 等
Au/ENi/CuPCB
置換Ag・Sn/CuPCB
Cuめっき等
ファスナー
ZnNi/Fe
ZnFe/Fe
無電解ニッケル等
BA--100 Ti(22)
BA
BA--200 Al(13)
BA
工具
電子部品
TiCN/Wco
TiAlN/Wco
Ni/Cu
Cr/Ni/Cu/Zn 等
Au/Ni/CuSn
Au/Ni/CuZn
Sn/Ni/Cu
Ag Pdめっき等
U(92)
リードフレーム
Au/Pd/Ni/FeNi
SnBi/Cu
ジュエリー
10,14,18Kt
Au , Pd , Pt 等
鉛フリーめっき等
検出下限厚み（μm)
U(92)
U(92)
BA-100 BA-200
Au
0.005
Ni
0.01
Pd
0.005
Sn
0.005
Pb
0.005
U(92)はアクチノイドに属します
■ 特徴
コンパクトサイズ
本体内部をコンパクト化し装置内部を十分
大きくなる設計です。サイドにスリットが
入っているので、大型プリント基板等の平型
サンプルの測定しやすくなっています。
簡単メンテナンス
約30ｘ30ｘ25ｃｍ
の「箱」の中に、
X線管球・検出器・
電源など主要部品
を全て収納。
インテリアサイズ
高さ
45 cm
奥行
60 cm
幅
45 cm
市販のパソコンで動作
本体上部を開
けると主要部品
が入った「箱」
の取出せるの
で「箱」ごと交換
ともできます。
専用パソコンは不要です。パソコンが
古くなったら市販パソコンで交換可能。
本体とパソコンはUSBケーブル１本を接
続するだけです。
Windows 10 (日本語）対応です。
BA--100
BA
シリーズ
半導体検出器を搭載したモデル。コリメーターが標準で４種類ついてます。
試料測定面までの焦点距離を変えることができるので、凸凹形状でも焦点を合わせて測定ができます。
←6.3㎜
比例計数管のスペクトルと比較すると、
PIN-D検出器は、エネルギー分解能が高
く、多層・合金の膜厚測定に適しています。
PIN-D検出器
X線光路の最適化
試料凸凹形状に対応
半導体検出器
シャッター・フィルター・コリメータ・ミラーを
小型化し、検出器を試料に近づけること
で、X線光路の距離を短くした設計。
63.5㎜→
焦点距離が6.3㎜～63.5㎜まで切替でき
ます。凸凹や段差があってもフォーカス
レーザーで焦点を正しく認識できます。
比例計数管
◆ ZnNi/Fe の膜厚測定結果
試料形状に合わせた３モデル
測定条件 0.3㎜φ 15秒繰返し
平均値
レンジ
標準偏差
変動係数
ZnNi（μm)
10.96
0.38
0.087
0.79%
Ni(%)
13.5
0.37
0.10
0.74%
ベーシック
機械部品用
BA--200
BA
XYテーブル
一般・電子部品用
ＢＩＧテーブル
プリント基板用
シリーズ
X線を集光するキャピラリ―を搭載したモデル。高分解能の半導体検出器（SDD)を搭載し、微小部の膜厚・
合金成分比の測定精度が向上します。
照射X線の強度
ポリキャピラリ―の構造
照射X線を集光するキャピラリ―方式はコリ
メーター方式より10倍以上の蛍光X線強度に
なります
多数の小さなガラス製のキャピラリ（細い管状）を集めたもので、X線が入射する時の角
度が物質の臨界角より小さいと、X線強度を失うことなく全反射します。
シリコンドリフト（SDD）検出器
X線のエネルギー分解能に優
れた半導体検出器SDDを搭載
し、「薄膜」「合金膜」の測定に
最適なモデルです。
Au/Pd/Ni/Cu のスペクトラム
◆ Au/Pd/Ni/Cu の膜厚測定結果
測定条件 30秒繰返し
平均値
レンジ
標準偏差
変動係数
Au（μm) Pd（μm) Ni（μm)
0.043
0.080
3.724
0.0015
0.003
0.039
0.0005
0.0009
0.009
1.16%
1.12%
0.24%
■ 製品仕様
BA-100シリーズ
BA-200シリーズ
測定元素
原子番号22（Ti）～92（U）
原子番号13（Al）～92（U）
X線源
マイクロフォーカス空冷X線管 Wターゲット
管電流 50ｋV 管電流1.0ｍA
マイクロフォーカス空冷X線管 Moターゲット
検出器
半導体検出器（PINダイオード）/オプション（SDD)
管電流 50ｋV 管電流1.0ｍA
半導体検出器（SDD)
コリメーター 3個（標準）/オプション１個追加可
集光（ポリキャピラリ）
○型 0.1㎜φ、0.2㎜φ、0.3㎜φ（オプション 0.15㎜φ、0.05ｘ0.25㎜、0.05㎜□等）
80μｍ（FWHM）/オプション（30μｍ）
CCDカメラ４方向LED
CCDカメラ 4方向LED
スポット
試料観察
焦点（WD)切替機能
試料焦点合せ
フォーカスレーザー
フォーカスレーザー
５段階 6.3～63.5㎜
固定
測定ソフト
FP検量線/エンピリカル検量線/液分析検量線/バルク検量線
← 同じ
補正機能
素材補正
素材補正
統計・レポート機能
専用レポートソフト・EXCEL・HTML・PDF出力
← 同じ
XYテーブル
ベーシック
本体寸法・重量
BIGテーブル
450ｘ450ｘ600㎜ 35ｋｇ 450ｘ450ｘ600㎜ 40ｋｇ
450x715x715mm 50ｋｇ
390ｘ350㎜
テーブル寸法
なし
移動量
Z軸（140㎜）
XYテーブル
715ｘ600㎜
Z軸（140㎜）X軸（125㎜） Z軸（140㎜）X軸（254㎜）
Y軸（150㎜）
Y軸（254㎜）
450ｘ450ｘ600㎜
390ｘ350㎜
60ｋｇ
Z軸（140㎜）X軸（125㎜）Y軸（150㎜）
フロントスイッチ
Z軸アップ.ダウン/クイック測定
Z軸アップ.ダウン/クイック測定
安全機能
試料扉インタロック/Z軸衝突防止
試料扉インタロック/Z軸衝突防止
仕様は2016.7 現在のものです。
■ 標準物質リスト例（単位：μｍ）
種類
厚み
0.03
0.05
0.1
0.2
0.3
0.5
0.6
0.8
1
1.5
2
3
5
8
種類
厚み
Ni
0.5
0.8
1
2
2.5
3
5
6
8
10
12
15
20
30
種類
厚み
種類
Zn
1
2.5
3
5
8
10
12
15
20
Au
Aｇ
厚み
0.5
1
2
3
5
6
10
20
種類
無
電
解
Ni
銅
下
地
単層箔・二層箔・三層箔・合金箔・めっき各種ラインナップ
厚み
P％
4
7.5
10
12.5
17.5
25
1.5
2
2.5
3.5
3.3
5.8
8.8
8
8
8
8
8
8
10
10
10
10
12
12
12
種類
厚み
Pt
0.2
0.4
0.5
0.6
0.8
1
3
種類
厚み
Sn
1
2
2.5
3
5
7
10
15
18
20
種類
厚み
Pd
0.05
0.1
0.3
0.5
1
2
2.5
記載されていない金属や厚みについても対応可能な場合がございます
厚みは製造時の目標値になります。
種類
厚み
Cu
0.5
1
2
3
5
10
15
20
25
標準試料（箔）
種類
厚み
SnPb
各種あり
SnCu
各種あり
SnZn
各種あり
SnBi
各種あり
SnAg
各種あり
SnAgCu
各種あり
ＩＳＯ17025認定機関による証明書（見本）
輸入販売元
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Florida 33062
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