電子線プローブマイクロアナライザ先端機器分析センター 103 室

電子線プローブマイクロアナライザ
先端機器分析センター
103 室
仕様
EPMA-1720H（CeB6 フィラメント仕様）
型名
株式会社島津製作所
加速電圧
0.1 ~ 30 kV
照射電流
1 pA ~ 1μA
分解能, 倍率
6 nm, 40 ~ 400000 倍
分光器
5 チャンネル, 分析元素：B ~ U
分光結晶
LiF × 2, PET, ADP, RAP× 2, PbST, LSA200, LSA120, LSA70
・カソードルミネッセンス分光装置(波長範囲：200 ~ 900 nm)
付属装置
・トレースマッピング・ライン分析機能(高さ補正)
・カーボンコーター, 臨界点乾燥装置, ミクロトーム

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