表1 GSR素子のデザインと性能 素子のサイズと形状 市販MI素子 愛知製鋼 0.6×0.3=0.18mm2 コイルピッチ30μm/回 コイル巻き数16回 特性 0.30mm 種類 測定レンジ 12G 感度 3mV/G 0.60mm 0.1×0.2=0.02mm2 コイルピッチ5μm/回 コイル巻き数 17回 測定レンジ 100G 感度 3mV/G 0.20mm GSR 素子 1軸One-wire 0.10mm 0.2×0.25=0.05mm2 コイルピッチ5μm/回 コイル巻き数42回 測定レンジ 30G 感度 26mV/G 0.25m m GSr素子 1軸 Two-wire pT 素子 1軸Four wire 0.9×0.5=0.45mm2 コイルピッチ5μm/回 コイル巻き数560回 3D素子 XY2軸wire 0.67×0.67=0.44mm2 コイルピッチ5μm/回 コイル巻き数32回 0.50mm 0.20mm 0.67mm 0.90mm 0.67mm 測定レンジ 6G 感度 400mV/G 測定レンジ 20G 感度 26mV/G
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