複数台ラインカメラにおけるTFT欠陥検査とロボットへ

複数台ラインカメラにおけるTFT欠陥検査と
ロボットへのフィードバック
LCDをはじめ、OLEDやタッチパネル基板などの微細パターンの検査には高分解能レンズを備えたラインカメラと最適
な光学系の組み合わせでデータを取り込み欠陥検査を行います。結果取り込まれたデータはデータ量が大きく、CPU負
荷を減らすことが要求されていました。つまり、
コンピューター的に負荷の大きいタスクについてFPGA上で実行するこ
とが必要でした。
アプリケーション内では非常に大きな並列処理を行う必要がありました。FPGAではすべてがパラレルで実行し、今回の
ような大規模な画像処理や信号処理を使用したアプリケーションに最適なパイプライン型アーキテクチャです。FPGA
の適合性としては、
プログラマブル論理回路の様なものなので、要求に合わせて構築が可能でした。
欠陥検出後の修正作業を行うには欠陥位置をロボットへのフィードバックを行う必要があった。欠陥検出処理の結果
得られる欠陥位置とサイズの情報を利用してこれらを決定した。
キーワード：

TFT欠陥検査
マルチカメラ
高速ラインスキャンカメラ
リアルタイム高速フーリエ変換（FFT）
リアルタイムノイズフィルタと画像処理
欠陥検出能力2µm以上
タクト時間60s/sheet
欠陥
欠陥位置とサイズ情報をロボットへフィードバック
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