シーズタイトル ３次元微細形状加工用高速高機能工具サーボ制御装置の開発 氏名（所属、役職） 研究責任者：高偉（東北大学大学院工学研究科 教授） ｺｰﾃﾞｨﾈｰﾀ：布田良明（東北テクノアーチ 技術移転マネージ ャー H22 年度採択課題名 マイクロ自由曲面創製用超精密インプロセス加工計測装置の （課題番号） 開発（AS231Z04544B） 技術のキーワード ３次元微細形状，マイクロ自由曲面，インプロセス加工計測 【新技術の概要】 【本技術に関する知的財産権】 本新技術は、ダイヤモンド切削工具高速 １．特許第 4898310 号 制御装置（FTC：Fast Too Control）に、高 「微細形状加工装置」 、出願人：東北大学 感度高剛性力センサを新たに組込むこと ２．特許出願 2009-207046 によって、工具の変位と加工力を同時に 「３次元微細形状のスティッチング加工 計測できる超精密インプロセス加工計測 方法」、出願人：東北大学 装置（FS-FTC:Force Sensor-integrated FTC） を開発し、次世代省エネ３D プラットパ 【想定される技術移転】 ネル・ディスプレイや高性能燃料電池な 微細光学部品金型および超精密金型加 どで必要とされる大面積マイクロ自由曲 工、各種ロール金型加工、硬脆材料の超 面金型を高精度、高能率に製造するため 精密加工と微細加工、工作機械知能化加 の基盤加工計測技術である。 工工具，などの分野において、共同研究、 Micro-lens array ··· i-2 i-1 i i+1 i+2 ··· PC Length Axial direction f (i) f (i+1) f (i+2) ··· Depth of cut data FS-FTC unit Y X Tool -carriage 技術相談、特許のライセンスなどの方法 で技術移転をする。 f (i-1) Spindle Diamond cutting tool 図 f (i-2) Spindle-carriage Workpiece Y Circumference Z direction X C-axis X: Cross-feed direction (Axial direction) Y: Cutting direction Z: In-feed direction ··· Circumference direction Memory Rotary encoder output Width Z 超精密インプロセス加工計測装置 【お問い合わせ先】 東北大学大学院工学研究科 ナノ計測制御学研究室 教授 高 偉 TEL:022-795-6951 Ｅメール：[email protected] 【従来技術・競合技術との比較】 本研究で開発した新型高機能高速工具 サーボ制御装置では、高感度で高剛性な 力センサを組み込むことによって、変位 センサによるフィードバック制御のみを 行う従来の工具サーボに３次元微細形状 創成に重要なインプロセス計測機能を付 加している。 HP：http://www.nano.mech.tohoku.ac.jp/ 東北大学本部別館３ １階 株式会社 東北テクノアーチ 技術移転マネージャー 布田 良明 TEL:022-222-3049 Ｅメール: [email protected]
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