図面を引用する場合には、出典として下記を明示してください 応用物理学会 集積化ＭＥＭＳ技術委員会、「マイクロ･ナノメカトロニクス（アカデミーロードマップと 発展史マップ）」 第４６回応用物理学会特別企画シンポジウム・応用物理学の将来ビジョン、東海 大学湘南キャンパス、ＴＢ会場、2010年3月18日．（当日代表講演＝年吉 洋） なお、技術発展史と将来ロードマップを説明した報告書は、２０１０年度に応用物理学会誌上で特 集号として掲載される予定です。 13. マイクロ・ナノメカトロニクス 将来ビジョンマップ マイクロ・ナノメカトロニクス技術クラスター、応用物理学会 集積化ＭＥＭＳ技術委員会 基礎技術の 流れは “３つのＭ” 106 Micro ナノ加工、機能分子集積化、バイオ融合 Multi 生体模倣マシン･センサ、回路集積化、通信 Mass 異機能素子の大規模集積化、大面積化 画像表示器 機械・材料力学 化学 電気・電子工学 光学・微小光学 高周波工学 見る・聞く・話す・映す MEMS壁紙 身に着ける コンピュータ 集 積 素 子 数 ■ ■ ■ ■ ■ スマートスキン スマート衣服 においディスプレイ 104 味覚ディスプレイ 集積化ＭＥＭＳ マイクロ 流体システム 光ファイバ・無線 センサネットワーク 102 衝突防止レーダー 人感センサ 健康診断チップ 超小型分光分析 システム 自動車センサ 脳マシン インタフェース 宇宙用 マイクロマシン 光ファイバ内視鏡 光通信･センサ 体内埋め込みチップ カプセル内視鏡 分子の直接操作 ロボットセンサ ■ ■ ■ ■ 通信工学 生化学･医療 有機，無機材料 ナノテク 感じ、考え、動く 異機能複合 マイクロ･ナノ システムの実現 お手本は生体の 自律分散システム 人工臓器骨格 バイオプリンティング 体内マイクロ ロボット バイオナノマシン 可変焦点老眼鏡 コンタクトレンズ 超小型エネルギー源 酒酔検出 100 2000 光通信 2005 バイオ 2010 ＶＬＳＩ 2015 ナノテク 2020 生体･医療 2025 ・・・ 2030 2035 年代 2040 13. マイクロ・ナノメカトロニクス 将来ビジョンサブマップ マイクロ・ナノメカトロニクス技術クラスター、応用物理学会 集積化ＭＥＭＳ技術委員会 トップダウン ボトムアップ 技術融合メタシステム •安心・安全技術への展開 •ナノ・バイオ領域への新たな展開 •次世代エレクトロニクスの展開 発 現 機 能 シ ス テ ム 運動機能 電子機能 ナノ インプリント バイオ化学機能 素 子 光学機能 原子操作 機 能 集 積 1m 印刷技術 トップダウン・ボトムアップ 融合領域 ナノ機能 遺伝子工学 材 料 化学合成 Å 1 nm 10 nm 半導体プロセス （量子構造） 100 nm システム設計の解像度 1 um 1 mm 従来の MEMS, NEMS 1 um 10 um システム 全体の寸法 13. マイクロ・ナノメカトロニクス 発展史マップ マイクロ・ナノメカトロニクス技術クラスター、応用物理学会 集積化ＭＥＭＳ技術委員会 ＲＣＡ社 シャドーマスク(1951) K. Petersen レビュー論文 “Silicon as a Mechanical Material” (1982) ＬＩＧＡプロセス(1986) ボッシュ社高アスペクト比 ドライエッチング特許(1996) R. Feynman 講義 “Plenty of Room at the Bottom” (1959) 1950 1960 1970 1/64インチモータが ファインマン賞を受賞(1960) マイクロマシニング分野 マイクロセンサ分野 テキサスインスツルメンツ社 ＤＭＤの原形(1983) 1960 ウェスティングハウス社 共振ゲートトランジスタ(1967) 1970 1990 シリコンマイク の原形 (1996) ルーセント 光クロスコネクト(1999) スタンフォード大 GLV (1994) ＵＣバークレー静電マイ クロモータ(1988) AT&T, ＵＣバークレー マイクロギヤ(1987) 1980 1980 2010 テキサス･インスツルメンツ ＤＭＤプロジェクタ(1996) ＳｉＴｉｍｅ社 シリコン共振子(2008) ＳＯＮＹ ＧｘＬ(2005) 1990 2000 2010 1986年 ヌシャテル大 サーボ型加速度センサ(1986) アナログデバイス社 加速度センサ(1991) 電気泳動チップ (1993) ミシガン大学集積化圧 力センサ(1979) 1970 2000 ウェスティングハウス社 プロジェクション型ディスプレー(1975) μＴＡＳの概念 (1990) 豊田中研 半導体圧力センサ･歪みゲージ(1963) 1960 1980 スタンフォード大学 集積化ガスクロマトグラフィ(1975) ミシガン大学、東北大学 マイクロ ISFET(1973~4) 1950 ナノインプリント・リソ(1996) 各社インクジェット プリンタ(1990頃) マイクロアクチュエータ分野 1950 ポリシリコン３次元構造(1996) ミシガン大学 神経プローブ(1991) 1990 2000 アナログデバイス社 ジャイロ(2002) 2010
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