超硬 除膜

Compact Ion Etching system
コ ン パ ク ト
イ オ ン
エ ッ チ ン グ
参考出品
多 品種少量の除膜に対 応 し た 小 型 イ オ ン エ ッ チ ン グ 装 置
従来のシリーズに小型のラインナップを拡充
多品種少量の小径工具や金型向けの低価格機
超硬 除膜
特 長
・全膜種(ダイヤモンド、
PVD、
CVD)の除膜に対応
・除膜後も形状やシャープエッジを維持
・表面のクリーニングやバリ取りにも適用可
仕 様
型
式 : IE300
装 置 サ イ ズ : W800×D1,200×H1,700mm
装 置 質 量 : 約700kg
使 用 ガ ス : Ar, O2
イ オ ン ガ ン : 3基
最大消費電力 : 10kW
主
電
源 : 3相 200V
処理例
AlCrN 系
除膜後も形状やシャープエッジを維持!
er
ft
A
e
or
ef
B
【対応膜種】
カーボン系 : ダイヤモンド (PCD), ダイヤモンドライクカーボン (DLC)
窒化物系 : TiAlN, AlCrN, TiN, TiCrN, CrN etc.
産機システム事業部 PB・メカトロ部
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'16.6 K-5006