研究開発項目委託予定先研究開発項目①計算機支援次世代ナノ構造

（別紙）
超先端材料超高速開発基盤技術プロジェクト委託予定先一覧
研究開発項目
委託予定先
研究開発項目①計算機支援次世
代ナノ構造設計基盤技術
研究開発項目②高速試作・革新
プロセス技術開発
研究開発項目③先端ナノ計測評
価技術開発
国立研究開発法人産業技術総合研究所、コニカミノルタ株式会社、東
ソー株式会社、株式会社村田製作所、パナソニック株式会社、新日鉄
住金化学株式会社、日立化成株式会社、DIC株式会社、東レ株式会社、
株式会社カネカ、積水化成品工業株式会社、出光興産株式会社、JSR
株式会社、昭和電工株式会社、株式会社日本触媒、横浜ゴム株式会
社、宇部興産株式会社
研究開発項目③先端ナノ計測評
価技術開発（※）
株式会社EUVL基盤開発センター、国立研究開発法人産業技術総合研
究所
（※）「先端ナノ計測評価技術開発」の中でも、シングルナノレベルのシリコン半導体量産技術に関する物質
計測、欠陥評価等の高速計測技術を3年以内に確立を目指すテーマです。

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