X 線光電子分光分析装置 - 高知県工業技術センター

X 線光電子分光分析装置
メーカー
(株)島津製作所
型
式
AXIS-HS
年
式
平成 9 年度導入
用
途
表面分析、結合状態分析、深さ方向分析
仕
様
分析断面
最小 30µmφ、最大 3mm×1mm
X 線源
Mg/Al(450W)・モノクロ Al
試料サイズ
最大 15mmφ、厚さ 4mm
データ処理
“VISION”システム
状
態
老朽化により、メーカーによる修理調整が必要で、現状では使用でき
ない。
（著しい感度低下や冷却水電磁バルブの故障、冷却水送水装置の圧
力計故障等の修理調整が必要である。）
機器に関するお問い合わせ先工業技術センター資源環境課岡﨑 088-846-1651

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