スライド 1

蒸着物質パンフレット
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リン酸カルシウム系蒸着材料
利用分野
ガラス・ポリカーボネートなどの各種機材への親水性の付与
利用製品：防犯カメラ・眼鏡・ゴーグル・食品トレーなど
製品概要・特長
流水・水拭きに強い
光触媒ではないので, 暗所でも性能を発揮
環境への負荷が少ない原材料を使用
顆粒状製品
透明性が高い
性能向上のため, 別途下地材料が必要
リン酸カルシウム
オプトロン製下地層
基材
耐久性試験
流水試験
基本膜構成
製品外観
試験方法
接触角→冷蔵(8h以上)→スチーム噴射(60℃以上, 20s)→拭き取り(プロワイプ)の繰り返し評価
接触角→流水(水道水)→拭き取り(プロワイプ)の繰り返し評価
耐久性試験及び流水性試験結果
流水試験
70
70
60
60
50
50
接触角()
接触角()
耐久性試験
40
30
40
30
20
20
10
10
開発品(フロートガラス)
開発品(ポリカーボネート)
市販塗布材料1
市販塗布材料2
市販塗布材料3
0
0
初期
1回目
2回目
3回目
4回目
5回目
開発品は親水持続性が高い！
蒸着時のご注意点
本親水性薄膜は下地材料を必要とします。（当社製下地材料）
コートの最終層が, リン酸カルシウム層になるように膜設計をして下さい。
リン酸カルシウムは溶かし込みを行う必要があります。
リン酸カルシウムの成膜には, Cuハースではなく, MoやWのハースをお使いください
リン酸カルシウム層は, 300nm以上の膜厚では性能が出にくい場合があります。
リン酸カルシウムの蒸着温度は200℃以下に設定してください。
SURFCLEAR 100-02-JA-00
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成膜条件例
使用蒸着材料
成膜装置
チャンバー径 [mm]
蒸発源
酸素導入 [Pa]
真空蒸着装置
900
電子銃
1.2×10-2 Pa
イオンアシスト(IAD)
なし
蒸着距離 [mm]
890
基板加熱温度 [℃]
蒸着レート [Å/s]
膜厚 [nm]
蒸着開始真空度 [Pa]
被蒸着基板，サイズ
50
下地層：2 親水層：2
下地層：10 親水層：100nm
2×10-3 Pa以下
フロートガラス(φ74.5mm 1.1t ),
ポリカーボネート(φ74.5mm 2t)
オプトロン製下地層電子銃条件
AMP.
Emission [mA]
時間
プリメルト
2
250→200
1’30’’
蒸着
2
レートコントロール
(2 Å/s)
AMP.
Emission [mA]
時間
プリメルト
5
200→170
1’30’’
蒸着
5
レートコントロール
(2 Å/s)
約8’00’’
リン酸カルシウム電子銃条件
■このパンフレットに掲載のデータは，全て弊社での測定値，または弊社が調査した文献値ですが，これを使用したこ
とによる事故・損害には責任を負いかねますのでご了承下さい。
■製品を安全に正しくお使いいただくために，御使用の際には必ず製品安全データシート記載内容をご覧下さい。
■本パンフレットの内容は2016年3月のものです。
■本パンフレットの仕様・製品の外観は，改良等のために予告なく変更することがございます。予めご了承下さい。
■本パンフレットの内容は，無断転載，引用厳禁です。
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SURFCLEAR 100-02-JA-00

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