NFM - ハマダテクノス

Nano Function Metal
(ナノ・ファンクション・メタル)
次世代接合材の生産・接合サービスのご案内
㈱Mナプラ・㈱ハマダテクノス
世界が認める、ナノマイズテクノロジー
・ナプラは世界に先駆け
ナノコンポジェット微粒子の開発・製造に成功
・ナノコンポジェット微粒子の新たな機能があらゆる
先端分野に革新的なソリューションを提供
㈱Mナプラ・㈱ハマダテクノス
㈱Mナプラ・㈱ハマダテクノス
次世代接合材 NFMP/NFMSの製造・接合サービス
ペーストとプリフォームを用途によって提案
電気・ハイブリッド自動車や、太陽光・ソーラーパネルの技術進歩が革新的であるように、燃
費向上やエネルギーの効率化には電子デバイスの性能・特性向上が必要不可欠です。
昨年、トヨタ自動車から正式に発表されたSiC(シリコンカーバイドウェハ)の車載への採用
計画にもあるように、次世代技術が着々と本格化され始めています。
一方、パワーデバイス製造時の使用部材に関しても、次世代材料が必要不可欠となって
いますが、現状はコスト・入手性に懸念があり、普及に足踏み状態が続いています。
“はんだ”や“銀“に代表される従来から広く普及されている材料は、RoHS規制の厳格化によっ
て継続使用が困難であったり、原材料そのものの高騰といった様々な背景によって、
環境性・特性・コストを満たす新たな材料の開発が市場から求められています。
次世代ウェハー
シリコンウェハー
着実に移行中
次世代接合剤
高融はんだ、鉛フリー銀ペースト等
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(ナノ・ファンクション・メタル)
低オン抵抗
高温動作
信頼性
SiCウェハー等
価格
入手性・作業性
環境
ナノ銀、錫金ペースト等
~従来の問題点、懸念を解決する新技術(拡散接合複合材料)~
電極材料関連において様々な特許を保有する ㈱Napra様との協業により、NFMの製造・接合
サービスをハマダテクノスにて実施。
ポイント
Cu-Sn(銅・錫)ベース故、比較的安価で信頼性が高い
→市場で一般的な金・銀ベースよりも有利
ナノマイズ法という製造上の技術により、均一且つ均質な細粒構造を実現
溶融後のボイド抑制
融点温度の制御
接合界面の均一性
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(ナノ・ファンクション・メタル)
ナノマイズ法によって細粒化された粒子は、均一・均質に分散した金属結晶と金属結合体で構成されて
おり、これを導電ペースト化(ナノ・コンポジット)することで、以下の特徴を実現しています。
SEMによるナノ・コンポジットSAC粒子の再溶融後組織
信頼性の高い、強接合力を達成
熱サイクル試験(-40℃/250℃)において、500サイクル後も※40MPa以上
という高シェア強度を実現
※圧力の単位
融点の異なるSn合金粉末を、ナノ・コンポジット製法で機能性高融点化接合剤
に変換→約220℃実装可能(500℃近く再溶融現象なし)
一般SAC粒子
ナノ・コンポジットSAC粒子
×10
組織中に点在する葉っぱ状の斑点は研磨時に発生し
た銅箔。 Snの初晶の発生状態は標準的と判断。
×30
組織中に点在する葉っぱ状の斑点は研磨時に発生し
た銅箔。 接合界面のCuSn金属間化合物の生成は標
準的な大きさと判断。
×10
組織中に点在する粒状の斑点は研磨時に発生した銅
箔。 Snの初晶の発生状態は緻密で均質的に分散。
×30
組織中に点在する粒状の斑点は研磨時に発生した
銅箔。 接合界面のCuSn金属間化合物の生成は大き
く⾧い。
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(ナノ・ファンクション・メタル)
均一かつ制御可能な溶融温度(※理論上210℃前後)によって、パワーデバイスやモジュール基板の
接合材にも最適です。
ナノマイズ低融点合金+Cu細粒
従来型低融点合金+Cu細粒
Cu3Sn層が薄く、ボイドなし
Cu3Sn層が厚く、ボイドが発生
従来型・次世代接合材比較
⇒接合強度の大幅回改善
~パワーデバイス用途に対する、適合状況~
従来型接合材
はんだ
接合温度(低温時)
接合強度
銀
ナノ銀
Nano-Silver
Sn-Au
Sn-Cu
△
×
〇
〇
〇
×
〇
〇
×
△
◎
〇
×
△
×
〇
△
〇
△
ボイド
〇
〇
◎
(200℃)
高温サイクル
(-40~200℃)
コスト
NFP
NFM
Ag
△
高温信頼性
錫金
Solder
作業性・安全性
環境性
次世代接合材
×
×
◎
〇
〇
×
×
×
△
〇
×
△
〇
〇
〇
◎
様々な応用分野への広がり
NFMなら、省エネ化・高信頼性を求められる
多くの用途へ展開が可能となります
NFM
超微細ベアリング機能
接合強度
信頼性
ナノコンポジット製造
接合サービス
微細配線・信頼性
信頼性・コスト
信頼性・コスト
信頼性・コスト
接合強度・信頼性
金属形成可能
三次元プリンター
NFMのナノ・コンポジット特性を活かし、様々な用途としてご検討頂けます
ペースト・プリフォームを用途に応じて対応しています
 ナノ径粒子の形状特性を活かして
微細構造への印刷技術適用(配線・バンプ・TSV・アンテナ配線など)で
⇒低コスト化・高信頼性化
 溶融温度と再溶融温度の制御性を活かして
⇒パワーデバイスや素子組込み基板の接合材に
 均一な溶融がもたらす下地配線との強固な接合性で
⇒太陽光発電パネルの高信頼性化
NFMに関するお問い合わせ先
㈱ハマダテクノス・電子デバイス事業部・営業部
TEL; 049-243-5616