別添1 機器等仕様一覧 品名 仕様 超純水製造装置 数量 3 超純水製造装置(本体) ・水道水直結型であること ・台の装置で純水、超純水の製造および採水が可能なこと ・純水の製造能力は毎時5L以上であること ・水質は、比抵抗 8.0MΩ・cm以上、TOC 0ppb未満が確保 できること ・フットスイッチ制御による採水が可能なこと ・常時、水質表示が可能なこと ・水質の異常時は、警告が表示されること ・漏水時は、警報が鳴ると同時に水道水の供給が自動停止するこ と 貯水タンク ・純水50L以上の貯水が可能なこと ・浸漬型のUV殺菌灯を備えていること ・雰囲気中の揮発性有機化合物及び微生物の侵入を防ぐフィル ターを備えていること その他、本体稼働のために要する付属品 架台 ・上記、超純水製造装置本体及び貯水タンクを据えることが可能なこと ・500×800×000mm(幅×奥行×高さ)以内であること ・可動式(キャスター付)であること 2
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