Components THE A・YA・TSU・RU Components Report ❷ CC-1143 1 圧縮空気 圧 力 を操る。 操 電子式圧力スイッチ PPDシリーズ デジタル圧力センサ PPXシリーズ 電子式小形圧力スイッチ PPEシリーズ 電空レギュレータ （電磁弁方式小形） EVS2シリーズ パレクト電空レギュレータ （電磁弁方式小流量） デジタル 電空レギュレータ EVDシリーズ EVRシリーズ 視る 流 体 制 御で、 生産性向上 『 様々な流 体 の制御 』 水 を操る。 水用流量センサ WFKシリーズ クーラント用 電子式圧力スイッチ CPDシリーズ 水集積ユニット WXUシリーズ 1 クーラント 圧縮空気 流 れ 操 を操る。 圧縮空気用流量センサ PFDシリーズ 小形流量センサ 小形流量センサ FSM-Xシリーズ FSM2シリーズ 小形流量コントローラ FCMシリーズ 、 幅 広 い 産 業 の 操る に 貢 献します。 』 にこだわります その 他 を操る。 密着確認スイッチ HPSシリーズ 着座確認スイッチ GPSシリーズ クーラント用 機械式圧力スイッチ CPEシリーズ を操る。 ファインレベルスイッチ KMLシリーズ 2 小形流量コントローラ・ラピフロー® 圧縮空気 FCM Series 流 れ 小形流量センサFSM、小形電磁弁の技術を結集。 センサ機能、比例制御機能、バルブ機能すべてに高い性能と経済性を兼ね備え、 各種用途にお応えする。 小形流量コントローラ・ラピフロー® FCMシリーズ。 高速応答のマイクロ加工 センサチップ搭載 マイコン搭載で 高精度・多機能を実現 ステンレスボディ 低圧損・再現性を向上した 整流機構 多種流体に対応 適応流体は、空気、窒素、アルゴン、酸素、 メタン、 プロパ ン等の各種ガスに対応。さらに水素、ヘリウムが適応流 体に加わりました。多彩な用途にご利用できます。 小形・軽量 サイズは70×70×30（縦×横×幅）。 狭いスペースや可動部に設置でき、設備の小型化・軽量 化に貢献します。 3 高信頼の流量制御 独自の整流機構により、流量 制御性を左右する再現性の 向上を図りました。 制御状態が一目でわかる デジタル表示器搭載 ●流量値を3桁でデジタル表示 ●エラー表示の他、出力状態（スイッチ出力のON-OFF） を表示 小形流量センサ・ラピフロー 圧縮空気 FSM2 Series 流 れ 小形流量センサの操作性を追求した機能 さまざまなシーン、用途にベストな選択が可能です。 ツイン表示/2色表示 機能 表示一体型では、 メイン画面とサブ画面を設けることで、 操作性を向上させました。更に、2色表示で異常が一目 で判ります。 双方向での流体計測が可能 表示一体型・双方向タイプは、流れ方向を任意に設定し 計測することができます。配管取付の自由度がアップす るとともに、逆流検知用としても使用できます。 流量単位 メイン画面 (瞬時流量表示) 順方向 サブ画面 (流れ方向等) 双方向 逆方向 精度アップ ±3%FS以下 ■2色表示 精度±3％ＦＳを実現し、 より正確な流量計測が可能にな りました。 大流量でもコンパクト 500、1000ℓ/minタイプでは、従来体積比30%業界 トップクラスの小形化を実現しました。設備の小形化、軽 量化に貢献します。 高速応答 50msec以下 シリコンマイクロマシニングを応用した白金センサチッ プの採用で、高速応答を実現。タクトタイムの短縮に貢 献します。 従来比30% （1000ℓ/minタイプの場合） FSM2 適応流体 適応流体 ボディ材質 フルスケール流量 500 ㎖/min 1 ℓ/min 2 ℓ/min 5 ℓ/min 10 ℓ/min 20 ℓ/min 50 ℓ/min 100 ℓ/min 200 ℓ/min 500 ℓ/min 1,000 ℓ/min 樹 脂 空気・窒素 ステンレス ア ル ミ アルゴン ステンレス 炭 酸ガス ステンレス 4 デジタル圧力センサ 圧縮空気 PPX Series 圧 力 圧力の[現在値]と[設定値]を同時に確認できるツイン表示や3色表示、 設定内容コピー機能、3つのモード設定など従来にない使い易さと 高機能を満載したデジタル圧力センサPPXシリーズ。 現在値 [メイン表示部] 比較出力1動作表示灯 設定値 比較出力2動作表示灯 （ ） [サブ表示部] 高機能タイプはアナログ 電圧出力動作表示灯 モード切換キー 設定UPキー □30×25.5のコンパクトサイズ 設定DOWNキー ツイン表示によるダイレクト設定 小形サイズに[現在値]を表示するメイン画面と、[設定 値]を表示するサブ画面を搭載。 [現在値]を表示させた状態で、設定値の調整・セットが可 能です。設定中もON/OFF動作するため、 ボリューム式 センサと同感覚。 キーロック機能も装備しています。 25.5mm □30mm 3色表示（赤・緑・橙） ●メイン表示部は、出力のON/OFFに連動して緑/赤に 変化し、設定中は橙色。センサ状態が一目でわかります。 使い方に合わせた 3つのモード設定 日常行なう操作設定は “RUNモード” 、基本設定は “メ ニューモード” 、ハイレベルな機能は “PROモード” と、設 定内容のレベルで明確に区別しました。 操作設定が分かりやすく、簡単です。 5 出力ON/OFF：[緑色/赤色] 設定中：[橙色] デジタル電空レギュレータ 圧縮空気 EVD Series 圧 力 圧力表示やエラー表示機能、 ダイレクトメモリ機能など、数々の新機能を満載。 さらに小形・高機能・使い易さを追求したデジタル電空レギュレータ EVDシリーズ。 マイコン搭載により 高機能化を実現 Dサブコネクタ エラー表示機能 エラー発生を表示と電気信号でお知らせします デジタル表示器 ゼロ・スパン調整機能 使い勝手にあわせてゼロ・スパン調整が可能 ダイレクトメモリ機能 外部からの入力信号不要 製品の操作キーで2次側圧力を自由に調整 操作キー プリセット入力機能 本体に8chまでの圧力を記憶させ、外部 信号で切換えることができます 100 スイッチ出力機能 上限下限圧力の設定により、 スイッチ出力(過電流保護内蔵)可能 高精度・高応答の 圧力制御を実現 □4 2 EVD-1000 デジタル電空レギュレータバリエーション EVD-1000 100 500 900 EVD-3000 100 500 900 kPa kPa 入力信号 kPa kPa kPa kPa 10bit 接続口径 アナログ パラレル 0.5% 応答性 0.2sec 出力方式 NPN PNP Rc1/4 最大流量 流路部材質 60 400 700 1500 ノン グリース スイッチ アナログ 出力 出力 アナログ パラレル 10bit ヒステリシス 比例値アップ （1段階） と比例値ダウン （10段階）の調整によって、 より精度よく 安定した制御が可能 ■接 続 口 径：Rc1/4 ■流 量：60,400R/min ■圧力レンジ：100,500,900kPa ■流路部ノングリース仕様 圧力レンジ ±0.3% 比例値変更機能（EVD□100のみ） モジュールタイプ シリーズ リニアリティ Rc1/4 Rc3/8 NPN PNP フッ素 ワセリン グリス （特注） スイッチ アナログ 出力 出力 6 水集積ユニット 水 WXU Series 豊富なバリエーションの水制御機器が 省スペースにオールインワン 80％レス 配管レスで フットプリント 個別配管の手間を省く 面倒な配管作業を解消。 配管レス、継手レスで、設置スペースを低減します。 配管の漏れを低減 ねじ込み部がなく、外部漏れの心配がありません。 配管施工時の異物混入を防止できます。 設計・手配の工数を低減 面倒な配管設計を解消。 ユニット1つの手配ですべて完了します。 システムイメージ 1流体仕様 ●冷却配管のサプライとリターンを1ユ ニットで行うことができます。 ●サプライ側とリターン側それぞれにバルブの搭載が可能です。 ●コックタイプバルブを採用することにより、 ワンアクションで開閉操作がで き、 目視での確認が容易です。 ●インブロック、 バルブハウジングの軽量化により、取扱いが容易です。 WXU-J 1流体仕様 ●冷却配管のサプライとリターンを1ユ ニットで行うことができます。 ●サプライ側には、 バルブとニードルが搭 載可能であり、系統毎に個別制御(on/off)が可能です。 ●ニードル搭載で流量の調整が容易です。 WXU-P 2流体仕様 ●サプライとリターンユニットを使用し て、2種類の流体(水・空気等）を流すこ とができます。 ●スパッタリング装置等、冷却水と空気を持つ回路に適しています。 ●系統毎に個別制御(通水/エアーパージ） が可能です。 カスタム対応例 使い勝手に合わせたユニットが製作可能です。 ■2流体制御タイプ サプライユニット リターンユニット MADE IN JAPAN MADE IN JAPAN MADE IN JAPAN MADE IN JAPAN MADE IN JAPAN 冷却部 MADE IN JAPAN MADE IN JAPAN MADE IN JAPAN MADE IN JAPAN MADE IN JAPAN MADE IN JAPAN MADE IN JAPAN エアー IN 水 IN チラー ■1流体制御タイプ 冷却部 ▽S O O S ▽O ▽O S ▽S ▽S O O S ▽O ▽O S ▽S ▽S O O S ▽O ▽O S ▽S 水 IN 水 OUT チラー 7 WXU-H 水 OUT ●別置き表示器対応 〈センサー部〉 ●アナログ＋SW出力 〈センサー部〉 ●分岐（WXU-P） ●シリンダバルブ無し （WXU-J） ■継手付 ■マスキング ■中間ブロック ドレン OUT フルーレックス水用流量センサ 水 WFK Series 小形・軽量で機器組込みに最適な水用流量センサです。 中流量タイプ （4∼32L/min） も同一サイズでラインアップ。 水温測定機能もオプションで搭載可能です。 配管のトラブルから解放 カルマン渦式（※） を採用。 カルマン渦式は、羽根車式と異なり可動部を持たないた め、配管中のゴミ、錆によるトラブルから解放され、工業用 水などの悪い水質でも安心して使用できます。 主な用途例 ●レーザー発振機の冷却水管理 ●温調機の流量管理 ●ドライ真空ポンプの冷却水管理 ●金型用冷却水の流量及び温度管理 ※カルマン渦とは？ 流れの中に障害物を置くと、流体の粘性の性質から、その物体の両側から渦が交互 に規則正しく発生します。この渦をカルマン渦と呼び、図に示すように、渦発生体の 下流に非対称に並びます。この渦を検出部の圧電素子で検出します。 渦発生体 検出部 ■溶接［スポット溶接］ ●スポット溶接機の 冷却水管理 PLC I/Oユニット 安心の配管作業 電磁弁制御 流量異常検知 流れ 入力端子 出力端子 ●チップ抜け時の 流量異常検知 電磁弁 ボディと配管アダプタにステンレスを採用。 配管部材に鋼管を使用した場合でも、締付け時の応力に よる変形・破損による水漏れトラブルはありません。 ■半導体［半導体製造装置の冷却および温度管理］ 制御装置（PLC等） ●エッチング ●グラインダー 通信 ●ダイサー I/O A/D変換 ユニット ユニット 記録計 ●CVD モニタ（流量表示） 水温測定機能内蔵 異常検知 周辺機器の制御 水温測定データ 流量測定データ センサタイプは、水温測定機能の内蔵が可能。 別途設置の手間やスペースを必要とせず、そのまま水温 も測定できます。 （オプション、WFK3000） 機種バリエーション 流量範囲［L/min］ 流量範囲［L/min］ 流量範囲［L/min］ WFK3004 WFK3012 1 2 3 4 WFK7050 WFK7100 WFK7200 流量範囲［L/min］ 10 20 30 40 50 100 150 200 0.5∼4.0 Rc3/8 Rc1/2 1.5∼12 WFK3032 WFK5008 WFK6008 WFK5027 WFK6027 5 4.0∼32 Rc3/8 Rc1/2 Rc3/4 Rc3/4 Rc1 Rc1 Rc1 1/4 Rc1 1/4 Rc1 1/2 1.0∼8.0 3.0∼27.0 10∼50 20∼100 40∼200 8 圧縮空気用流量センサ（表示一体形フルーレックス） PF(F) Series/PFU Series 圧縮空気 流 れ 従 来 の P Fシリー ズに、4 つ の 「New」を追加！ ①低圧損0.005MPaを実現 ②配管内に混入するドレン水滴 に強い ③表示部を一体化し、扱い易さ をアップ ④フィルタ・レギュレータとのユ ニットタイプをシリーズ追加 ユニット化により3つの「削減」を 可能に！ ①組立工数の削減 ②配管スペースの削減 ③発注工数の削減 空圧・真空・補助機器総合 CB-024S クーラント用圧力スイッチ クーラント CPE/CPD Series クーラント用 クーラント液に対応した低圧 用/高圧用圧力スイッチ。受 圧部にダイアフラム構造を採 用し、安定性に優れ、 クーラン ト液はもちろんのこと、各種 産業機械の水圧、油圧などの 液圧確認が可能です。 流体制御バルブ総合 CB-03-1S 9 ファインレベルスイッチ（薬液用） その 他 KML50/KML60/KML702 Series 純水・酸・アルカリ・溶剤など多種の腐食性流体の液面レベルを 高精度検知し、電気信号にて出力する液面レベルスイッチ 1∼8点式の3種類のレベルス イッチの組合せにより効率的か つ安全に液面レベルの検知が可 能（KML50、ML60） 1本の検出チューブにて、8点の 液面検出が可能な表示部付 （KML70） 検出流量設定不要流量調整固定 オリフィス内蔵により、外部絞り の設置や検出流量の設定が不要 ウェットファイン機器総合 CB-31 着座確認スイッチ（ギャップスイッチ） GPS2 Series その 他 空気式ブリッジ回路の採用で供給圧力の影響を受けない 調整式ダイアルの目盛により簡単に調整が可能 計測は非接触。 製品に傷をつけません 空圧・真空・補助機器総合 CB-024S 10 お問合せは お近くの営業所へどうぞ 北 陸 ・ 信越 ●長岡営業所 東 北 ●神戸営業所 〒390-0852 長野県松本市大字島立399-1 （滴水ビル4階） TEL （0263） 40-0733 FAX （0263） 40-0744 ●大阪支店 ●松本営業所 ●仙台営業所 ●富山営業所 ●山形営業所 ●金沢営業所 〒981-3133 仙台市泉区泉中央４丁目1-5 （SAKAE泉中央ビル401） TEL （022） 772-3041 FAX （022） 772-3047 〒990-0834 山形県山形市清住町3-5-19 TEL （023） 644-6391 FAX （023） 644-7273 北 関 東 ●さいたま営業所 〒331-0812 さいたま市北区宮原町3-297-2 （杉ビル6 5階） TEL （048） 652-3811 FAX （048） 652-3816 ●茨城営業所 〒300-0847 茨城県土浦市卸町1-1-1 （関鉄つくばビル4階C） TEL （029） 841-7490 FAX （029） 841-7495 ●宇都宮営業所 〒321-0953 栃木県宇都宮市東宿郷3-1-7 （NBF宇都宮ビル3階） TEL （028） 638-5770 FAX （028） 638-5790 ●太田営業所 〒373-0813 群馬県太田市内ケ島町946-2 （大槻商事ビル1階） TEL （0276） 45-8935 FAX （0276） 46-5628 南 関 東 ●東京営業所 〒105-0013 東京都港区浜松町1-31-1 （文化放送メディアプラス4階） TEL （03） 5402-3628 FAX （03） 5402-0122 ●立川営業所 〒190-0022 東京都立川市錦町3-2-30 （朝日生命立川錦町ビル3階） TEL （042） 527-3773 FAX （042） 527-3782 ●千葉営業所 〒274-0825 千葉県船橋市前原西2-12-5 （朝日生命津田沼ビル5階） TEL （047） 470-5070 FAX （047） 493-5190 ●横浜営業所 〒222-0033 横浜市港北区新横浜2-17-19 （HF新横浜ビルディング4階） TEL （045） 475-3471 FAX （045） 475-3470 ●厚木営業所 〒243-0027 神奈川県厚木市愛甲東一丁目22番6号 TEL （046） 226-5201 FAX （046） 226-5208 ●甲府営業所 〒409-3867 山梨県中巨摩郡昭和町清水新居1509 TEL （055） 224-5256 FAX （055） 224-3540 ●東京支店 〒105-0013 東京都港区浜松町1-31-1 （文化放送メディアプラス4階） TEL （03） 5402-3620 FAX （03） 5402-0120 〒639-1123 奈良県大和郡山市筒井町460-15 （オッシェム･ロジナ1階） TEL （0743） 57-6831 FAX （0743） 57-6821 〒940-0088 新潟県長岡市柏町1-4-33 （高野不動産ビル2階） TEL （0258） 33-5446 FAX （0258） 33-5381 ●北上営業所 〒024-0034 岩手県北上市諏訪町2-4-26 TEL （0197） 63-4147 FAX （0197） 63-4186 ●奈良営業所 〒939-8071 富山県富山市上袋100-35 TEL （076） 421-7828 FAX （076） 421-8402 〒920-0025 石川県金沢市駅西本町3-16-8 TEL （076） 262-8491 FAX （076） 262-8493 東 海 ●名古屋営業所 〒460-0008 愛知県名古屋市中区栄一丁目12番17号 TEL （052） 223-1121 FAX （052） 223-1127 ●小牧営業所 〒485-8551 愛知県小牧市応時2-250 TEL （0568） 73-9023 FAX （0568） 75-1692 〒673-0016 兵庫県明石市松の内2-6-8 （西明石スポッ トビル3階） TEL （078） 923-2121 FAX （078） 923-0212 〒550-0001 大阪市西区土佐堀1-3-20 TEL （06） 6459-5770 FAX （06） 6446-1945 中 〒730-0029 広島市中区三川町2番6号 （くれしん広島ビル3階） TEL （082） 545-5125 FAX （082） 244-2010 ●岡山営業所 〒700-0904 岡山県岡山市北区柳町2丁目6番25号（朝日生命岡山柳町ビル10階） TEL （086） 224-7220 FAX （086） 224-7221 ●山口営業所 〒747-0801 山口県防府市駅南町6-25 TEL （0835） 38-3556 FAX （0835） 22-6371 四 ●豊田営業所 ●高松営業所 ●三河営業所 ●松山営業所 〒473-0912 愛知県豊田市広田町広田103 TEL （0565） 54-4771 FAX （0565） 54-4755 〒473-0912 愛知県豊田市広田町広田103 TEL （0565） 54-4771 FAX （0565） 54-4755 ●静岡営業所 〒790-0053 愛媛県松山市竹原2-1-33 （サンライト竹原1階） TEL （089） 931-6135 FAX （089） 931-6139 九 ●福岡営業所 〒435-0016 浜松市東区和田町438 TEL （053） 463-3021 FAX （053） 463-4910 ●熊本営業所 ●四日市営業所 〒512-1303 三重県四日市市小牧町字高山2800 TEL （059） 339-2140 FAX （059） 339-2144 ●名古屋支店 〒485-8551 愛知県小牧市応時2-250 TEL （0568） 74-1356 FAX （0568） 75-1692 関 西 ●大阪営業所 〒550-0001 大阪市西区土佐堀1-3-20 TEL （06） 6459-5775 FAX （06） 6446-1955 ●大阪東営業所 〒570-0083 大阪府守口市京阪本通1-2-3（損保ジャパン日本興亜守口ビル6階） TEL （06） 4250-6333 FAX （06） 6991-7477 国 〒761-8071 香川県高松市伏石町2158-10 TEL （087） 869-2311 FAX （087） 869-2318 〒422-8035 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CKD USA CORPORATION ●CHICAGO HEADQUARTERS 4080 Winnetka Avenue, Rolling Meadows, IL 60008, USA PHONE +1-847-368-0539 FAX +1-847-788-0575 ・CINCINNATI OFFICE ・SAN ANTONIO OFFICE ・SAN JOSE OFFICE ・DETROIT OFFICE Europe CKD CORPORATION EUROPE BRANCH De Fruittuinen 28 Hoofddorp, the Netherlands PHONE +31（0） 23-5541490 FAX +31（0） 23-5541491 ・CZECH OFFICE ・UK OFFICE ・GERMANY OFFICE ・FRANKFURT OFFICE Malaysia M-CKD PRECISION SDN.BHD. ●HEAD OFFICE Lot No.6,Jalan Modal 23/2, Seksyen 23, Kawasan MIEL, Fasa 8, 40300 Shah Alam,Selangor Darul Ehsan, Malaysia PHONE +60（0） 3-5541-1468 FAX +60（0） 3-5541-1533 ・JOHOR BAHRU BRANCH OFFICE ・MELAKA BRANCH OFFICE ・PENANG BRANCH OFFICE Thailand CKD THAI CORPORATION LTD. ●SALES HEADQUARTERS Suwan Tower, 14/1 Soi Saladaeng 1, North Sathorn Road, Kwaeng Silom, Khet Bangrak, Bangkok 10500, Thailand PHONE +66（0） 2-267-6300 FAX +66（0） 2-267-6305 ・RAYONG OFFICE ・NAVANAKORN OFFICE ・EASTERN SEABORD OFFICE ・LAMPHUN OFFICE ・KORAT OFFICE ・AMATANAKORN OFFICE ・PRACHINBURI OFFICE ・SARABURI OFFICE Singapore CKD SINGAPORE PTE. 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