Diss. ETH No. 23041 Numerical Simulation Tools for the Design and the Analysis of Acoustofluidic Devices A thesis submitted to attain the degree of DOCTOR OF SCIENCE of ETH ZURICH (Dr. sc. ETH Zurich) presented by PHILIPP HAHN MSc., University of Wisconsin-Madison born March 20, 1984 citizen of Germany accepted on the recommendation of Prof. Dr. Jürg Dual, examiner Prof. Dr. Henrik Bruus, co-examiner 2015 Abstract The research domain of acoustofluidics is concerned with the effects of acoustic fields inside fluidic devices. The arising time-averaged phenomena called acoustic streaming and acoustic radiation forces can be used to manipulate fluid-suspended micro-particles in a contactless fashion. I has been shown that acoustofluidic particle handling has some clear advantages over competing technologies like hydrodynamic, dielectrophoretic, magnetophoretic, or optical manipulation strategies. Acoustofluidic particle manipulation does not require specific electric, magnetic, or optical particle properties and it is known for excellent cell viability when processing living biological samples like cells, bacteria, or larger organisms. Massively parallel particle manipulation can be achieved easily because the acoustic force fields spread over the volume of the fluid cavity, enabling the simultaneous manipulation of hundreds or thousands of particles at a time. During the past years, a number of promising applications in the miniaturization of process steps in the life sciences has been demonstrated by experimental acoustofluidic setups. In this context, miniaturization is key for the development of novel products such as medical diagnostic rapid tests since it allows to drastically reduce the sample size and the processing time. Despite the significant economic potential of these applications, acoustofluidic devices did not have their large-scale commercial break through yet. This is mainly due to the fact that commercial process standards are challenging to meet in terms of reliability, integrability, and efficiency. The complexity of the underlying physics is high because the interactions between the piezo-electric transducer, the structural device design, the device support, and the loading with different fluid-particle suspensions give rise to a large variety of acoustofluidic effects. At first glance, most experimental setups look simple but the interdependencies are too involved to be understood intuitively. This limits the success of classical design approaches based on "design-experiment-redesignexperiment-...". Due to the microscale of the device and the acoustofluidic effects, experimental analysis techniques can also not provide sufficient insight to develop a good sense of cause and effect. This is an important problem for both the analysis of existing devices and the design of new devices. As the field of acoustofluidics is moving toward commercial applications, the problem will become even more crucial. An increased control over the device design and the acoustofluidic processes is required to meet commercial standards. Numerical modeling can play a key role in meeting theses goals. In this thesis, the numerical modeling of acoustofluidic devices and processes is reviewed and augmented to gain a more detailed understanding of acoustofluidic devices, the underlying physical effects, and their interplay. A second goal is to advance simulation models to a degree of accuracy that allows a quantitative previi Abstract diction of acoustofluidic manipulation processes and the use of automatic device design strategies. Damping limits the attainable acoustic amplitudes and acoustofluidic forces for the particle manipulation but it is not easily included in a numerical device model. In the acoustofluidic community, losses in the fluid are often approximated by an empirically estimated loss factor. However in reality, the fluid cavity loss factor can vary dramatically within a narrow frequency bandwidth because of its sensitivity on the mode-specific boundary layer pattern at the cavity walls. To achieve a quantitatively accurate prediction of the acoustofluidic forces, a damping model including all relevant acoustofluidic damping effects is developed. Semi-analytical expressions are derived for the use in numerically efficient 3D simulations of realistic acoustofluidic micro-devices. In order to make a first step toward a more systematic and widely automatic device design approach, the combination of numerical device simulation and optimization routines is investigated. The discussion includes the mathematical formulation of the optimization problem, the definition of a suitable objective function, and the parameterization of the device design. Further, the implementation of the optimization loop is addressed alongside with practical recommendations for the chosen genetic algorithm optimization. The planar resonator with an established set of optimal layer thicknesses serves as a validation example for the new device design strategy. The optimization of a typical 3D micro-device indicates that devices can be designed to generate any physically feasible acoustic mode shape at maximum pressure amplitude. The presented automatic design approach can speed up and facilitate the design-process of acoustofluidic micro-devices. It represents a step toward the development of commercial level devices as optimal device performance and integrability into other process steps can be achieved. The numerical prediction of acoustofluidic particle motion is of great help for the design, the analysis, and the physical understanding of acoustofluidic devices. It also allows a simple and direct comparison with experimental observations. A 3D trajectory simulation setup is presented to cover the full spectrum, comprising a time-harmonic device model, an acoustic streaming model of the fluid cavity, a radiation force simulation, and the calculation of the hydrodynamic drag. The acoustic radiation forces and the hydrodynamic drag are calculated numerically to handle particles of arbitrary shape, structure, and size. In this way, complex 3D particle translation and rotation inside experimental micro-devices can be predicted. Different applications of non-spherical particle manipulation are simulated and validated against experimental observations. To demonstrate the full capability of the simulation setup, the motion of a red blood cell inside a realistic micro-device is simulated under the simultaneous effects of acoustic streaming and radiation forces. viii Zusammenfassung Das Forschungsgebiet der Akustofluidik beschäftigt sich mit den physikalischen Effekten in flüssigkeitsgefüllten Kavitäten, welche durch akustische Felder hervorgerufen werden. Akustische Strahlungskräfte (acoustic radiation force) und akustisch induzierte Strömungen (acoustic streaming) können zur Manipulation von Mikropartikeln in Flüssigkeiten genutzt werden. Gegenüber alternativen Technologien wie Dielektrophorese, Magnetophorese, sowie hydrodynamischer oder optischer Partikelmanipulation, hat die akustofluidische Partikelmanipulation klare Vorteile. Im Gegensatz zu den genannten Technologien ist die Anwendung der akustofluidischen Partikelmanipulation nicht durch spezielle elektrische, magnetische oder optische Anforderungen an die Partikelbeschaffenheit beschränkt. In Experimenten mit lebenden Proben wie Zellen, Bakterien oder größeren Organismen hat sich zudem gezeigt, dass hervorragende Überlebensquoten erreicht werden können. Da sich die genutzten akustofluidischen Krafteffekte über das gesamte Fluidvolumen erstrecken, können hunderte oder tausende Partikel gleichzeitig manipuliert werden können, was für viele Anwendungen vorteilhaft ist. Mithilfe akustofluidischer Ansätze ist es in den letzten Jahren gelungen eine Vielzahl biowissenschaftlicher Prozessschritte zu miniaturisieren. Dadurch kann eine enorme Reduktion der Testvolumina und der Prozesszeiten erzielt werden, was für die Entwicklung neuartiger Geräte wie diagnostischer Schnelltests für Medizinanwendungen von essenzieller Bedeutung ist. Trotz dem hohem wirtschaftlichen Potential ist es bislang jedoch noch nicht gelungen kommertiellen Anwendungen im großen Maßstab zu erschließen. Ein Hauptgrund dafür ist die Schwierigkeit die hohen Anforderungen bezüglich Verlässlichkeit, Integrierbarkeit und Effizienz zu erreichen. Die meisten akustofluidischen Geräte erscheinen einfach. Die Komplexität der zugrunde liegenden physikalischen Effekte ist jedoch sehr hoch weil das Zusammenspiel zwischen der piezoelektrischen Anregung, den Strukturkomponenten, der Auflage und der Befüllung mit unterschiedlichen Fluid-Partikel Suspensionen eine große Bandbreite akustofluidischer Effekte hervorruft. Zieht man zudem noch die Abhängigkeit der Effekte von verschiedenen Parametern in Betracht, ist es meist nicht mehr möglich ein intuitives Verständnis der Zusammenhänge zu erlangen. Der Erfolg klassischer Entwicklungsstrategien, basierend auf dem Prinzip "KonstruktionExperiment-Anpassung-Experiment-..." wird dadurch stark begrenzt. Aufgrund extrem kleiner Gerätedimensionen können auch experimentelle Analyse- und Messverfahren derzeit keinen hinreichend detaillierten Einblick in die physikalischen Vorgänge im Innern der Mikrokavität bieten. Ursache-Wirkungs-Zusammenhänge bleiben so schwer zu erkennen. Dies ist ein großes Problem für die Analyse bestehender und die Konstruktion neuer Experimente, besonder dann, wenn kommerzielle Anwendungen angestrebt werden. Eine verbesserte Kontrolle über die akustofluidischen Effekte und die Gerätekonstruktion ist erforderlich, um die erforderlichen Prozessix Zusammenfassung standards zu erreichen. In der vorliegenden Arbeit werden numerische Modellierungstechniken für akustofluidische Prozesse und Experimente auf ihr Potential hin untersucht und gegebenenfalls erweitert. Dies soll dazu beitragen Versuchsanordungen sowie die zugrunde liegenden akustofluidischen Effekte und Zusammenhänge genauer zu verstehen. Die Genauigkeit der Simulationsmodelle soll dabei erhöht werden, um quantitative Voraussagen für die akustofluidische Partikelmanipulation treffen zu können. Auf Basis der verbesserten Modelle soll zudem ein automatisierbarer Konstruktionsansatz entwickelt werden. Dämpfung ist ein wichtiger Bestandteil von akustofluidischen Simulationsmodellen, weil sie die erreichbare akustische Feldstärke und die damit verbundenen akustofluidischen Kräfte beschränkt. Da eine exakte Modellierung numerisch extrem aufwändig ist, werden Verluste in der flüssigkeitsgefüllten Mikrokavität derzeit lediglich mit einem empirisch abgeschätzten Verlustfaktor angenähert. Dieser Verlustfaktor kann in Realität jedoch stark variieren, weil er von der akustischen Schwingungsform und den Randschichten an den Kavitätswänden abhängt. Um akustofluidische Kräfte quantitativ voraussagen zu können, wird ein Dämpfungsmodell entwickelt, das alle relevanten Verlustmechanismen in der Mikrokavität beinhaltet. Die hergeleiteten Ausdrücke sind halb-analytisch und eignen sich dadurch zum Erstellen von numerisch effizienten Simulationsmodellen. Um einen ersten Schritt in Richtung einer systematischen und weitgehend automatisierten Gerätekonstruktion zu machen, wird die Gerätesimulation mit numerischen Optimierungsansätzen verknüpft. Es wird auf die mathematische Formulierung des Optimierungsproblems, auf die Definition einer geeigneten Zielfunktion und auf die Parametrisierung der Gerätegeometrie eingegangen. Des Weiteren wird die Implementierung der Optimierungsschleife erklärt, wobei auch wichtige Einstellungen des genetischen Optimierungsalgorithmus zur Sprache kommen. Der ebene Resonator wird zur Validierung der neuen Konstruktionsstrategie verwendet, weil die optimalen Schichtdicken hier bekannt sind. Die Optimierung eines typischen 3D Micro-Geräts zeigt, dass jede physikalisch mögliche Schwingungsform bei maximaler Druckamplitude im Gerät erzeugt werden kann. Da optimale Manipulationsleistung bei gleichzeitiger Integrierbarkeit in angrenzende Prozessschritte erreicht werden kann, rückt die Entwicklung von Geräten auf kommerziellem Niveau ein Stück näher. Der neue Ansatz kann zudem den Konstruktionsprozess akustofluidischer Geräte erleichtern und erheblich verkürzen. Die numerische Simulation der akustofluidischen Partikelbewegung ist von großem Interesse für die Konstruktion, die Analyse und das physikalische Verständnis von akustofluidischen Geräten. Sie erlaubt zudem einen sehr einfachen und direkten Vergleich mit experimentellen Beobachtungen. Ein Programm für die 3D Simulation akustofluidischer Partikelbewegung wird vorgestellt. Es umfasst die zeitharmonische Gerätesimulation, die Simulation akustisch induzierter Strömungen, die Simulation akustischer Strahlungskräfte sowie die Simulation des hydrodynamischen Widerstands. Die Berechnung der akustischen Strahlungskräfte und des hydrodynamischen Widerstands geschieht numerisch, was es erlaubt auch geometrisch komplexe Partikel abzubilden. Auf diese Weise können Rotations- und Translax tionsbewegung von beliebigen Partikeln in Micro-Geräten realistisch vorhergesagt werden. Simulationsergebnisse zu verschiedenen Anwendungen werden mit experimentellen Beobachtungen verglichen. Um das volle Potential des Simulationsprogramms auszuschöpfen, wird die Bewegung eines roten Blutkörperchens in einem realistischen Micro-Gerät simuliert, in dem die akustischen Strahlungskräfte und akustisch induzierte Strömungen simultan wirken. xi
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