Zulassungsarbeit aus dem Themengebiet Diffraktive optische Elemente und Mikrooptik zu vergeben Ansprechpartner: PD Dr. N. Lindlein, Zi 01.701, Tel.: 85-28395, Dr. I. Harder, Zi. 01.729, Tel.: 85-28399, [email protected] Motivation: Mit Hilfe von diffraktiven oder refraktiven optischen Elementen läßt sich die Intensitätsverteilung einer Lichtquelle in einer bestimmten Ebene modelieren. Ziel dabei ist es z.B. das Gauß-förmige Intensitätsprofil eines Lasers in einen Flat-Top, eine homogene Intensitätsverteilung, umzuformen. Die optischen Elemente werden mit Hilfe von unterschiedlichen Modellen berechnet. Zur Herstellung Laserlithographiesystem der Elemente stehen am IOIP sowohl eine Laserlithographie-Anlage als auch eine Elektronenstrahllithographie-Anlage zur Verfügung. Ziel der Arbeit ist es u.A. auch, die Handhabung solcher Anlagen zur Mikrostrukturierung zu erlernen. Diffraktive optische Elemente mit komplexer Transmissionsfunktion Der herkömmliche Herstellungsprozess von diffraktiven optischen Elementen mittels direktem lithographischen Schreiben ermöglicht Elemente, welche die Phase der einfallenden Welle manipulieren. Sobald man es nicht mehr mit einfachen Elementen, wie beispielsweise Linsen, zu tun hat, ist die Manipulation allein der Phase der einfallenden Welle durch das Element meist eine Näherung, bei welcher die ebenfalls notwendige Manipulation der Amplitude der Welle vernachlässigt wird. Im Allgemeinen führt dies zu Streulicht. Rekonstruktion eines strahlformenden DOEs Im Rahmen dieser Arbeit soll ein Prozess erarbeitet werden, welcher es ermöglicht Elemente mit einer komplexen Transmissionsfunktion herzustellen, die gleichzeitig die Amplitude und die Phase der einfallenden Welle beeinflussen. Anhand von DOEs zur Strahlformung kann die Funktion dann überprüft werden. Phasenfunktion eines strahlformenden DOEs
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