4.4. Laser mit Distributed Bragg Reflektor (DBR) Beim Laser mit Distributed Bragg Reflector (DBR) werden eine oder beide Facetten durch ein Gitter ersetzt. Das Gitter kann z.B. in die obere Grenze zwischen Wellenleiterkern und Cladding geätzt werden, diese Bauform ist in Abb. 4.4.1 dargestellt. Die Abbildung ist nicht maßstabsgetreu! Die Dicke von n- und p-Cladding beträgt 1-2 µm, die Länge des gesamten Bauelements einige 100 µm. Weiterhin hat das Gitter nicht wenige, sondern einige tausend Perioden. Bei dieser Bauform muss neben dem aktiven Segment auch das Gitter über einen Kontakt mit Strom gepumpt werden, da ansonsten der dort noch vorhandene Quantenfilm das Licht absorbieren würde. Abbildung 4.5.1: DBR-Laser mit durchgehendem Quantenfilm. Das Gitter verfügt über einen separaten Kontakt zur Strominjektion. Um den Stromfluss zwischen den beiden Segmenten zu unterdrücken ist die hochdotierte p-Kontaktschicht zwischen aktivem Segment und Gitter durchgeätzt. Das Gitter kann auch als rein passives Segment (d.h. ohne Quantenfilm) hergestellt werden. In diesem Fall ist die Prozessierung der Laser allerdings komplizierter, da das aktive und passive Segment in zwei separaten Epitaxieschritten hergestellt werden müssen. Auch in diesem Fall kann eine Kontaktierung und Strominjektion in das Gittersegment sinnvoll sein, nun allerdings zur Kontrolle der Emissionswellenlänge. Abb. 4.4.2 zeigt schematisch diese Bauform eines DBR-Lasers. Abbildung 4.5.2: DBR-Laser mit aktivem und passivem Segment. - 122 - Manchmal wird zwischen aktivem Segment und Gitter noch drittes (Phasen-) Segment eingefügt, das auch mit einem separaten Kontakt versehen ist. Diese Variante ist in Abb. 4.5.3 dargestellt. Auf die Funktion dieses Segments wird bei der Beschreibung der Modenselektion in DBR-Lasern näher eingegangen. Bei allen Bauformen wird im Allgemeinen die Facette hinter dem Gitter entspiegelt, da es sonst zu unerwünschten Inferferenzen zwischen dem vom Gitter und von der Facette reflektierten Licht kommen kann. Abbildung 4.5.3: DBR-Laser mit aktivem Segment, Phasensegment und Gitter. Die Modenselektion im DBR-Laser erfolgt durch die Kombination einer ausreichend schmalen Reflektivitätskurve des Gitters und der Phasenbedingung für den Umlauf des Lichts im Resonator. Die Phasenbedingung fordert, dass sich die Phase des Lichts beim Umlauf im Resonator um ein ganzzahliges Vielfaches von 2 ändert. Bei einem Laser mit zwei Facetten führt dies zum bekannten Fabry-Perot Modenspektrum. Wir betrachten nun zunächst einen DBR-Laser mit einem Gitter, das ein zu breites Reflektionsspektrum aufweist. Die Reflektivitätskurve des Gitters und die Position der Moden sind in Abb. 4.5.4 dargestellt. Abbildung 4.5.4: Reflektivitätskurve und Position der Resonatormoden (vertikale Linien). Für die fünf markierten Moden besitzt das Gitter eine annähernd gleich hohe Reflektivität, der Laser wird daher nicht einmodig emittieren. Berechnet man für den in Abb. 4.5.4 dargestellten Fall (Reflektivitätskurve des Gitters zu breit) die Schwellenverstärkungen der Moden, so ergibt sich die in Abb. 4.5.5 dargestellte Situation. Einige der Moden fallen mit Minima der Gitterreflektivität zusammen und haben - 123 - daher eine sehr hohe Schwellenverstärkung. Wichtig sind jedoch die Moden mit der kleinsten Schwellenverstärkung und davon gibt es leider zu viele. Dieser Laser wird also nicht auf nur einer Mode emittieren, sondern auf vier bis fünf Moden. -1 Schwellenverstärkung (cm ) 100 80 60 40 20 0 0.996 0.998 1.000 1.002 1.004 Wellenlänge (a.u.) Abbildung 4.5.5: Schwellenverstärkungen der Moden in einem DBR-Laser mit zu breiter Reflektionskurve des Gitters. Bei der Dimensionierung des Gitters ist also zu beachten, dass dessen Reflektivitätskurve vergleichbar oder kleiner als der Modenabstand des Resonators ist. Dieser Fall ist in Abb. 4.5.6 dargestellt. Nun ist die Reflektivität des Gitters für die markierte Mode am höchsten, und diese wird auch die Laseremission dominieren. Doch was bestimmt eigentlich die relative Position von Resonatormoden und Reflektivitätskurve des Gitters? Abbildung 4.5.6: Optimale Form und Lage der Reflektivitätskurve relativ zur den Resonatormoden (vertikale Linien) Die relative Position ist durch die Gesamtlänge des Resonators und dessen Brechungsindex gegeben. Die Kontrolle über diese Parameter ist nicht so genau, dass man immer den in Abb. 4.5.6 dargestellten optimalen Fall erreicht. Die Lage von Reflektivitätskurve und Resonatormoden kann auch wie in Abb. 4.5.7 aussehen. In diesem Fall haben die beiden markierten Moden die gleiche Schwellenverstärkung und der Laser wird nicht auf nur einer Mode emittieren. Man spricht in diesem Fall auch von einer Entartung der Moden. Eine schmale Reflektivitätskurve ist also eine notwendige, aber keine hinreichende Bedingung für die Selektion einer Mode in einem DBR-Laser. Hier kommt das in Abb. 4.5.3 dargestellte dritte Segment ins Spiel. Durch eine Änderung des Stroms im Phasensegment kann dessen Brechungsindex (über Änderung von Temperatur und Ladungsträgerdichte) eingestellt werden. Damit verschiebt man die Position der Resonatormoden relativ zur Reflektivitätskurve des Gitters und stellt den in Abb. 4.5.6 dargestellten Betriebszustand ein. Da sich die Moden auch bei einer Änderung des Stroms durch das aktive Segment verschieben (auch hier ändert sich der Brechungsindex), muss der Strom durch das Phasensegment mit angepasst werden. - 124 - Abbildung 4.5.7: Lage der Reflektivitätskurve bei Modenentartung: Die Reflektivität des Gitters ist für die beiden markierten Moden gleich groß. Erfolgt dies nicht, so verschieben sich die Resonatormoden bei einer Stromerhöhung im aktiven Segment relativ zur Reflektivitätskurve und es kommt wie in Abb. 4.5.8 dargestellt zu Modensprüngen. b) Graph aus: J. Fricke et al, “980-nm DBR lasers using higher order gratings defined by i-line lithography”, Semicond. Sci. Technol. 20, 1149-1152 (2005) a) Abbildung 4.5.8: a) Verschiebung von Reflektivitätskurve und Modenposition beim Erhöhen des Stroms im aktiven Segment b) Kennlinien von DBR Lasern mit unterschiedlich langem Gitter, gemessen an der vorderen und hinteren Facette. Sobald die Reflektivität bei der Lasermode kleiner wird als die Reflektivität der benachbarten Mode springt die Emissionwellenlänge des Lasers. Die Kennlinie weist wie in Abb. 4.5.8 b) dargestellt eine Welligkeit auf, da sich mit der Position der Mode relativ zur Reflektivitätskurve des Gitters die Spiegelverluste des Lasers und damit die externe Quanteneffizienz ändern. - 125 -
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