Company Profile 株式会社フェローテック 〒103-0027 東京都中央区日本橋2-3-4 日本橋プラザビル 5F TEL：03-3281- 8808 FAX：03-3281- 8848 URL：http://www.ferrotec.co.jp 1602G02-300 あ な た の 、そ ば に 。 Always nearby you. 01 02 MESSAGE CONFIDENCE フェローテックが創り出す未来 顧 客 に 満 足を ひとくちにお客様が求める満足といっても この会社の生い立ちは他とくらべ少し風変りだろうと思います。 周囲を流れる心地良い音やこころ安らぐ空間があります。 何げなく使っている機器の操作性や精度などさまざまです。 １９８０年に米国企業の子会社として日本に設立し、 私たちはそれに応える確かな技術力を持っています。 ７年後の８７年に米国親会社から独立しました。 確かな技術力 国内に工場を建て、 ９２年には中国に進出しました。 アポロ計画から生まれた当社の磁性流体技術を応用し た真空シールは世界の半導体、FPDの製造プロセスに ９６年に上場を果たし、その勢いで９９年に米ＮＡＳＤＡＱ市場の 欠かせない密閉空間を実現します。 元親会社を友好的ＴＯＢにより傘下に収めました。 独立してから１２年の歳月が過ぎておりました。親子関係が逆転したのですが、 高い競争力 当社はサーモモジュール（ペルチェ素子）の老舗企業 再びフェローテックグループとなり飛躍的な成長を遂げることが出来ました。 として、中国での量産体制の下、自動車・家電民生・光 設立当初の年商600万円から現在は600億円を超す規模に成長できたのです。 います。 成長の源は当社のコア技術であるアポロ計画から誕生した磁性流体と 未来の技術力 私の修士論文である冷熱素子サーモモジュールを応用した技術です。 これらは、現在のエレクトロニクス産業や自動車産業、家電民生品、医療機器、 太陽光発電など幅広い分野で貢献している製品に生かされています。 通信・バイオ等の各分野で冷熱関連のニーズに応えて I oTなど産業構造やサプライチェーン、バリューチェー ンが今後益々変化する時代へ向け、当社は磁性流体・ サーモモジュール等のコア技術を核に更なる技術開発 に取り組んでいきます。 我々は、今後も社会に貢献する製品を供給し、皆様の快適な生活に役立つ企業、 環境に優しい企業、そして成長を続ける企業として努力してまいります。 代表取締役社長 山村 章 AWARENESS IMPROVEMENTS HAPPINESS 気づき、改善し、そして幸せを追求する企業。フェローテック。 03 04 KINDNESS 地 球 に やさしさを 再生エネルギーとして注目される太陽光発電や廃熱利用の発電など 人類だけを考える環境技術だけでなく地球全体を考える。 今まさに新しい活躍の場が私たちの製品に求められています。 有害物質の削減 エレクトロニクス産業では、電子部品の中に含有される 有害物質が問題視されています。当社はこの時代の ニーズに適切に応えていきます。 安心・安全な太陽電池 電力の発電効率だけに目を奪われがちな太陽電池。 厳しい風雪や高熱への耐久性は長寿命化を担う太陽 光パネルの生命線です。当社は前工程の部品、装置等 の製品を通じ、地球のクリーン化に貢献します。 製品を作るときから環境対策 当 社 は 主 要 な 生 産 拠 点 で 環 境 の 国 際 標 準 とな る 「ISO14001」 の認証取得をしています。当社が与えてい る影響を明確にし、それらを解決する取組を行っています。 ［当社のコア3製品］ 磁性流体 磁性流体は、宇宙空間の無重力状態の中で、｢宇宙船 内部の液体燃料を送るにはどうすればよいか」という NASA のスペースプログラムのなかで開発された液体 材料。現在、あらゆる分野で注目を集めています。 真空シール 真空シールは磁性流体を用いたフェローテックの代表 的な製品。真空雰囲気の加工空間と大気を分離し、大 気から真空空間へ動力を確実に伝える半導体・FPD の 製造プロセスのキーパーツです。 サーモモジュール サーモモジュールは磁性流体と並ぶ当社の２大コア技 術です。社長の山村が熱力学の研究成果として、業界 初のハンドブックを著した半導体冷熱素子です。電流を 流すと熱を移動する特性（ペルチェ効果） と温度差を与 えると発電する特性（ゼーベック効果）の両方を兼ね備 えています。 VISION 社 会 に 夢と活 力を クラウドやモバイルの普及で家電や電子機器がネットでつながり いつでも、どこでも情報を得ることが当たり前になってきました。 しかし、その未来は過去の蓄積から生まれるのです。 05 06 くらしを支える フェローテックの製品はあなたが見えないところでビジネスやインフラを支え、 気づかないところであなたの暮らしとふれあっています。 エレクトロニクス産業 Electronics Industry いまや暮らしの中でもビジネス においても手放せないスマート フォンや節電・環境対策にも欠か 自動車産業 Automotive Industry 自動運転タクシーの実証実験が 行 わ れ 、E V や ハ イブリッド 、 GPS が当たり前になっている時 代ではそれらを安全に管理し、 伝える技術が必要。楽しいドライ ブや安全な人の移動のそばには いつもフェローテックがいます。 せない LEDなどの製造工程にも 最終製品例: 温調シート／カーオーディオ/カーナビ/電力制御パワー半導体 フェローテックの製品が活躍し 当社使用製品: サーモモジュール/磁性流体／パワー半導体用基板 ています。 最終製品例: スマートフォン/パソコン関連/フラッシュメモリ/LED/DVD 当社使用製品: 真空シール/石英/セラミックス/シリコンパーツ/ CVD-SiC/半導体用シリコンウェーハ/蒸着装置 家電民生品 医療機器 Medical Equipment 日本を中心に世界の先進国では今後 益々高齢化が進み、それに伴い医療機 器分野での当社の役割も増大すると 考えられます 。内 視 鏡や 血 液 分 析 装 置 、その 他 検 査 装 置 等 でもフェロー テックの活躍するフィールドは広がっ ていきます。 Consumer Electronics I oTによりさまざまな人やモノ、情報が インターネットでつながるとネット製品 や家電の境界もなくなり、家電が人を 見守る時代がやってきます。その先端 にいつもフェローテックがいます。 ※サーモモジュールのように、最終製品に組み込まれるもの、 石英・セラミックスのようにその製造工程で使用されるものがあります。 最終製品例: 液晶テレビ/エアコン／ワインセラー／ドライヤー／オーディオスピーカー 当社使用製品: セラミックス/サーモモジュール/磁性流体 CONTRIBUTION overview 当社使用製品: サーモモジュール/磁性流体/パワー半導体用基板 最終製品例: 内視鏡／血液分析装置／磁性ナノ粒子 07 08 1 Technology vol. 装置関連事業 製造工程に不可欠なデバイス Vacuum Seals Silicon Wafers Vacuum Coating System 真空シール 半導体用シリコンウェーハ 精密蒸着装置 装置関連事業では、半導体、液晶や有機 ELなどのフラットパネルディスプレイ製造 装置向けの製品を取り扱っています。 主な製品には、磁性流体技術を応用した 真空シールや半導体製造工程に不可欠な マテリアル製品を生産供給しています。 この 分 野 は 、タブレット P C や スマート フォンはもちろん、今後、成長が見込まれ るウェアラブル端末など、最先端の半導 体技術を支えます。それを量産化するた めに必要な技術とノウハウを豊富に蓄積 しています。 不純物のない密閉空間を確保 単結晶インゴットからの一貫生産 米国製Temescalの蒸着装置 磁性流体を利用し、真空雰囲気内への回転導入 当社では 6 インチ以下の半導体向け小口径シリ 高機能なEBガン（電子銃） ・高圧電源を心臓部 機としての役割を担う真空シールは、半導体・ コンウェーハを単結晶インゴットからウェーハ加 としたTemescal 装置は、大学・研究所向け小 FPD・LED・太陽電池各製造工程で利用されて 工まで一貫生産しています。バイポーラ IC 用・ 規模生産用ベルジャータイプから、大規模生産 います。当社の核となる製品であり、主には半 ディスクリート用・MEMS 用の量産品を中心にグ 用高スループットタイプまでの装置群を有して 導体ウェーハのエッチングや成膜工程、FPD の ローバルな供給体制を築いています。 います。化合物半導体での世界標準機として、 パネル搬送用ロボットの回転機構部等に導入さ 数 多くの お 客 様 に 使 用され て おり、現 在 は 、 れ、密閉空間を外部から隔離しつつ、加工に必 LED、通信チップ製造プロセス等での導入が 要な動力を正確に伝える役割を担っています。 進んでいます。 使用製品例： 液晶テレビ、 スマートフォン、パソコン、 （製造工程で使用）フラッシュメモリ、 CPU、LED 使用製品例： 液晶テレビ、 スマートフォン、パソコン、 （製造工程で使用） フラッシュメモリ、 CPU、LED 使用製品例： スマートフォン、LED、ハードディスク （製造工程で使用） 09 10 装置関連事業 Technology vol.1 Quartz Products 製造工程に不可欠なデバイス Ceramics Products マテリアル製品 マテリアル製品 石英製品 熱と化学変化に強い超高純度ガラス 高熱処理や化学処理が頻繁に行われる半導体 製造工程。そこで活躍するのが、超高純度のシ リカガラスからなる石英製品です。ウェーハの 薄膜生成や拡散プロセス、その他搬送、洗浄工 程で治具、消耗品として利用される当社の石英 製品は、細線化、高純度化の進む半導体プロセ スにおいて重要な役割を担っています。 使用製品例： 液晶テレビ、 スマートフォン、パソコン、 （製造工程で使用） フラッシュメモリ、 CPU、LED SiC Parts Silicon Parts マテリアル製品 マテリアル製品 セラミックス SiCパーツ（CVD-SiC） シリコンパーツ 高強度・高純度な材質、優れた加工技術で 最先端技術を支えるセラミックス 超高純度・高耐熱性・高耐摩耗性を実現した 独自のCVD法製作による炭化ケイ素製品 高純度ポリシリコン・プロセスで活躍する シリコン素材の治具 高度な素材技術・生産技術・精密加工技術を活 SiCはシリコン（Si） と炭素（C）が1対1で結合し 高純度ポリシリコン製治具を初めて可能にした かしたファインセラミックス・マシナブ ルセラ た化合物で、耐摩耗性、耐熱性、耐腐食性等に SiFusion TM プロダクトはウェーハの成膜や拡 ミックスは、厳しい品質管理のもとで一貫生産 優れています。半導体製造工程で用いられる 散プロセスにおいて革新的なソリューションを されています。高純度、高剛性、高精度が要求 ウェーハボートやチューブ、シリコンウェーハの 提供します。反応ガスの拡散プロセスにおける される半導体・FPD の製造プロセスに対応し、 代替となるダミーウェーハなど、主に高温で使 使用時間の延長と稼働率向上、洗浄回数の削 高品質な製品として、幅広い分野に広く採用さ 用される治具として広く活用されています。 減などを実現し、お客様のトータルコスト削減 に貢献しています。 れています。 使用製品例： 液晶テレビ、 スマートフォン、パソコン、 （製造工程で使用） フラッシュメモリ、 CPU、LED、 使用製品例： 液晶テレビ、 スマートフォン、パソコン、 （製造工程で使用）フラッシュメモリ、 CPU、LED 使用製品例： 液晶テレビ、 スマートフォン、パソコン、 （製造工程で使用）フラッシュメモリ、 CPU、LED （製品に使用） 外科用内視鏡 11 12 Technology vol. 2 電子デバイス 事業 製品に直接組み込まれるデバイス Ferrofluid Thermoelectric Modules Power Semiconductor Substrates 磁性流体 サーモモジュール パワー半導体用基板 電子デバイス事業では、フェローテックの コア技術である磁性流体とペルチェ素子 サーモモジュールがあります。 磁性流体は、真空シールの内部で利用さ れウェーハ搬送用ロボットなど、クリーン ルーム内で使用される設備に装着するこ とで塵の侵入を防止します。 サーモモジュールは電流を流すと熱を移 動するヒートポンプの役割を果たすこと から、電子機器の恒温や熱対策素材とし て用いられています。製品別に冷凍庫と 同じマイナス20℃から沸点の 100℃を楽 に超す性能を有しているため、医療機器 や半導体、通信分野など幅広い産業で活 躍しています。 流体でありながら、外部磁場によって磁性を帯び、 直流電流を流すことで温度差を生じる 半導体冷熱素子（ペルチェ素子） サーモモジュール製造技術を応用した 放熱用絶縁基板 磁石に吸い寄せられる機能性素材。1960年代の サーモモジュールは、2 種類の金属の接合部に パワー半導体基板とは、アルミナ、窒化アルミニ NASA スペースプログラムで、無重力環境の燃 電流を流すと、片方の金属からもう片方へ熱が ウムセラミックスに銅回路板を共晶反応によっ 料輸送等の目的で開発されました。現在は、ス 移動するという効果を利用した板状の半導体冷 て接合した放熱用絶縁基板です。パワー半導体 ピーカーやアクチュエーター、センサー、分別リサ 熱素子です。小型・軽量・フロン要らずの特長が は、電車・電動車両・エアコン・サーバー等の小 イクル用途、その他当社コア製品の真空シールに あり、自動車の温調シートを始め、冷却チラー、 型化・省エネ化に寄与し、今後ますます成長が期 も利用されています。 光通信、バイオ、エアコン、 ドライヤー他、様々な 待されています。 磁石に引き寄せられる不思議な液体 家電民生品にも採用されています。 使用製品例： カーオーディオ、 ＴＶスピーカー、 （製品に使用） 磁性ナノ粒子 使用製品例： 自動車用温調シート、 カーナビ、 エアコン、 （製品に使用） 小型冷蔵庫、 シェイバー、 ドライヤー 使用製品例： 電動自動車、工作機械、サーバー機 （製品に使用） 13 14 Technology vol. 3 太陽電池 関連事業 インゴットからセルまでのトータルソリューション Silicon Ingots for Solar Cells Wafers for Solar Cells Cells for Solar Modules 太陽電池用インゴット 太陽電池用ウェーハ 太陽電池用セル 原料のシリコンを高温で溶かし、その後徐々に冷やすこ インゴットから固定砥粒ワイヤーソーで切り出 ウェーハに電気的な性質の異なる2 種類（p 型、 とで結晶化されたインゴットへと生成されます。当社で し、薄くスライスした単結晶ウェーハを生産し n 型）の半導体を重ね合わせ電極を形成したも 太陽電池の発電効率向上にはインゴット 製品の品質安定化が不可欠です。石英る つぼ内に充填されている原材料のポリシ リコンは、不活性ガスの環境下で加熱す ると高温で溶解します。このポリシリコン 溶液の中に種結晶を接触させてゆっくり と回転させながら引き上げると単結晶シ リコンインゴットが出来上がります。 フェロ ー テックの 単 結 晶 引 上 装 置 は 、 オートメーションプログラムにより、高変 換効率の単結晶インゴットを生産するこ とが可能です。 は、原子の配列が規則的で発電性能に優れる単結晶イ ています。当社のウェーハはワイヤーの細線化 のをセルと呼びます。当社では単結晶・多結晶 ンゴットをはじめ、経済性、生産効率に優れる多結晶イン に対応し、高変換効率モジュールに採用されて セルを生産し、太陽電池モジュールの高変換効 ゴットを自社生産設備によって安定供給しています。 います。 率化に貢献しています。 フェローテックでは結晶製造装置、石英 るつぼ、シリコン製品、セルなど一連の Single Crystal Silicon Ingot Growing System Multi Crystal Silicon Ingot Casting System Quartz Crucibles 単結晶引上装置 多結晶製造装置 石英るつぼ 半導体工程で培った当社のコア技術が生かされた単結 高い生産性でインゴットを生成する多結晶製造 クリーンで耐熱性に優れている高純度石英は、 晶インゴットの製造装置です。原料のポリシリコンを真 装置は、コストと生産性のバランスの良さから、 半導体製造工程に不可欠な製品です。当社の石 空電気炉内で溶かしたシリコン融液を引き上げながらイ 現在の主流として太陽電池の世界的な需要増に 英るつぼはそれらと同純度の原料を使用し、単 太陽電池関連製品を供給しています。 ンゴット形状を作ります。装置内の真空状態を維持して 応えています。フェローテックの多結晶製造装置 結晶シリコンの原料を充填する容器として使用 いるのは、自社技術の真空シール。原料を高温で溶かす は、多結晶材料やリサイクル材料の大量充填が されます。半導体用、太陽電池用単結晶シリコ カーボンヒーターや、その受け皿となるるつぼも当社の 可能。多結晶インゴットの品質とその生産効率に ンを製造するお客様に供給し、そのプロセスで 製品です。単結晶モジュールにおける世界トップクラス 優れており、多結晶モジュールの高変換効率化 お使い頂いています。 の高変換効率化を下支えしています。 に貢献しています。 15 16 GLOBAL 28% 世 界を見 据える フェローテックグループは、製造業として「ものづくりの精神」 を世界中で展開しています。 マーケティングやR&Dが得意な米国、生産技術の得意な日本、量産展開の中国、 独自の開発力を有する欧州、インフラ技術が拡大するアジア。 製造と販売を見据えて世界各国に根を張る拠点を配置しています。 これがトランスナショナルカンパニーです。 ロシア（モスクワ） 生産品目：サーモモジュール 45% 27% 連結売上高構成比 ■アジア: 26,447(百万円) ■日本: 16,833(百万円) ■欧米: 15,799(百万円) 2015年3月期合計売上高 590 億円 中国（銀川） 生産品目：太陽電池用インゴット、 太陽電池用・半導体用石英るつぼ、 半導体用インゴット 中国（天津） 米国（リバモア） 生産品目：洗浄 生産品目：精密蒸着装置 米国（サンタクララ） ドイツ （フランクフルト） 生産品目：EBガン （蒸着装置向け電子銃） 米国（ベッドフォード） 日本 生産品目：真空シール、磁性流体 生産品目：真空シール、磁性流体（千葉） セラミックス （兵庫・石川） CVD-SiC（岡山） スペイン（マドリッド） フランス （リヨン） 中国（内江） イタリア（ミラノ） 中国（杭州） 生産品目： 生産品目：洗浄 韓国（ウィワン） 中国（上海） 生産品目： サーモモジュール（組立）、真空シール、石英、 サーモモジュール（素材）、パワー半導体用基板、 セラミックス、 シリコンパーツ、受託加工、 半導体用ウェーハ、太陽電池用ウェーハ、 ソーブレード、太陽電池用セル、 角槽 太陽電池用製造装置、洗浄、表面処理 シンガポール 台湾（新竹） 本社 販売拠点 生産拠点 17 18 HISTORY 技術を磨き、未来につなぐ 半導体を扱うエレクトロニクス産業は技術革新が早く、常に技術を磨いていなければ生き残れません。 ものづくりでも同じことが要求されます。次の世代につなげるために、 日々の努力が求められます。 新たな技術や事業の拡大にはM&Aも有力な選択肢ととらえています。 75,000 ＣＶＤ Ｓ ‐ｉＣ製品のアドマップ社に 資 本 参 加し子 会 社 化 42,000 （計画） 中国銀川市に大型工場を新設 太陽光バブルにより構造改革を実施 45,000 住金セラミックス＆クオーツ社から セラミックス事業を取得し子会社化 中国上海工場で小口径シリコンウェーハの受託加工を開始 ロシアのサーモモジュールメーカーＳＣＴＢＮＯＲＤ社を子会社化 太陽電池用シリコン引上装置を販売開始 30,000 真空シールを本格販売開始 千葉工場を開設し５・２５インチＨＤＤ用小型シールを生産開始 シリコン単結晶引上装置の販売を開始 米国親会社から独立 マルチチャンバー方式の真空シールを開発 厚さ１ミリメートルのＨＤＤ用ラミネートシールを開発 超高真空用フッ素系磁性流体を開発 中国杭州市に進出し中国初の製造拠点を設立 ＬＣＤプラズマエッチング装置用３軸の真空シールを量産開始 中国上海市に２番目の工場を設立 社名をフェローテックに改称 月に日本証券業協会に上場︵現東京証券取引所ＪＡＳＤＡＱスタンダード︶ フェローテッククオーツを設立し石英製品事業を開始 元親会社のフェローフルイディクス社を友好的ＴＯＢにより子会社化 15,000 米国企業の日本法人としてフェローテックを設立︵旧日本フェローフルイディクス︶ 連結純資産推移 連結売上高推移 飛躍期 0 2002 （世界市場） 1996 -2001 （M＆A継続） 60,000 米国アメリゴン社︵現ジェンサーモ社︶と自動車温調シートシステムで業務提携 TOB後の米国幹部と 1987年独立当時 拡 大期 独立期 草創期 10 半導体用結晶製造装置 開発スタッフ 会社創設当時 1987 -1995（中国進出） 1980 -1986（設立・市場参入） 66,000 （計画） 英国エドワーズバキューム社から真空蒸着装置事業を取得 ロシアのNORD社CEOと 2015 2010 2005 2000 1995 1990 1985 1980 80,000（百万円） 19 20 DATA 財務ハイライト 成長する喜び 創立から３５年が過ぎました。ITバブルやリーマンショックなど 売上高／経常利益 山あり谷ありの事業環境でしたが、それらを乗り越えて今のフェローテックがあります。 これからもステークホルダーの皆様に成長する楽しみが持てる企業であり続けます。 総資産／株主資本 売上高 （単位：百万円） 70,000 60,000 57,880 60,088 50,000 セグメント 装置関連 電子デバイス その他 装置関連セグメント 電子デバイスセグメント 16 サーモ モジュール 磁性流体 太陽電池 9 30 20,000 30,000 10,000 20,000 6,290 0 3,287 2,030 1,262 △3,465 12/3期 13/3期 SiCパーツ 250 200 25 20 180.63 15 100 59.18 10 45.18 △69.21 15/3期 ROA 5.9 4.14 4.9 1.8 △5 △10 2.6 △5.6 △15 △150 石英るつぼ △200 △20 △212.05 △250 11/3期 12/3期 13/3期 △20.7 △25 14/3期 15/3期 11/3期 12/3期 13/3期 14/3期 15/3期 セグメント別営業利益の推移 （単位：百万円） （単位：百万円） 60,088 59,078 2,509 4,884 38,424 2,648 12,345 4,563 12/3期 14/3期 11.5 △5 △100 24,883 13/3期 19.2 5 0 5,337 12/3期 ROE 0 △50 27,357 11/3期 （単位：%） 50 セグメント別売上高の推移 25,564 39,431 38,060 30,439 ROE（自己資本当期純利益率）／ROA（総資産経常利益率） 150 太陽電池用セル 34,186 セラミックス 太陽電池セグメント 太陽電池用インゴット 太陽電池用ウェーハ 66,343 10,000 15/3期 （単位：円） 石英製品 61,499 79,410 74,723 0 14/3期 1株当たり当期純利益 パワー半導体 72,571 株主資本 50,000 40,000 11/3期 真空シール 60,000 30,000 △10,000 45 70,000 44,745 総資産 （単位：百万円） 80,000 59,078 38,424 40,000 経常利益 44,745 3,304 13,203 17,948 4,124 368 775 555 2,499 111 6,609 18,867 21,628 13/3期 14/3期 137 8 733 505 △368 1,459 1,523 △1,272 △3,934 26,566 15/3期 798 △3,608 257 9,679 12/3期 会社概要 1,671 △8 13/3期 商号 株式会社フェローテック 英文表記 Ferrotec Corporation 設立 1980年9月27日 本社 東京都中央区日本橋2-3-4 日本橋プラザビル 5F 株式公開 JASDAQ（証券コード：6890） 14/3期 15/3期 事業内容 代表者 代表取締役社長 山村 章 装置関連事業：真空シール・石英製品・セラミックス製品・シリコン製品 SiC製品・ウェーハ製品 電子デバイス事業：サーモモジュール・磁性流体・パワー半導体用基板 太陽電池関連事業：シリコン結晶製造装置・石英るつぼ・太陽電池用シリコン 資本金 132億134万6,010円 発行済株式数 30,903,702株 関連会社 ［連結子会社］26社［持分法適用子会社］5社 従業員 ［連結］5,189名［単体］130名 21 22
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