東北⼤学マイクロシステム融合研究開発センター 試作コインランドリ 装置担当リスト （2016年4⽉〜） 分類 洗 浄 乾 燥 フ ト リ ソ グ ラ フ イ オ ン 酸 注 化 ⼊ 拡 散 熱 処 理 成 膜 エ チ ン グ 接 合 研 磨 パ ケ ジ ン グ 測 定 番号 A-1 A-2 A-3 A-4 A-5 A-6 A-7 A-8 A-9 A-10 B-1 B-2 B-3 B-4 B-5 B-6 B-7 B-8 B-9 B-10 B-11 B-12 B-13 B-14 B-15 C-1 C-2 C-3 C-4 C-5 C-6 C-7 C-8 C-9 C-10 C-11 D-1 D-2 D-3 D-4 D-5 D-6 D-7 D-8 D-9 D-10 D-11 D-12 D-13 D-14 D-15 D-16 E-1 E-2 E-3 E-4 E-5 E-6 E-7 E-8 E-9 E-10 E-11 E-12 E-13 E-14 F-1 F-2 F-3 F-4 F-5 F-6 F-7 F-8 F-9 F-10 F-11 F-12 F-13 F-14 F-15 G-1 G-2 G-3 G-4 G-5 G-6 G-7 G-8 G-9 G-10 G-11 G-12 G-13 G-14 G-15 G-16 G-17 G-18 G-19 G-20 G-21 G-22 G-23 G-24 F-14 G-25 G-26 装置名称 エッチングチャンバー リン酸槽 CO2 超臨界乾燥機 イナートオーブン（シンター炉） 真空オーブン ブラシスクラバ スピン乾燥機 有機ドラフトチャンバー 4"スピン乾燥機 6"スピン乾燥機 パターンジェネレータ スピンコータ クリーンオーブン ポリイミドキュア炉 両⾯アライナ ⽚⾯アライナ Raith EB描画装置 現像ドラフト UV キュア装置 スピンコータ スプレー現像装置 ステッパ エリオニクス EB描画装置 レーザ描画装置 球⾯露光装置 酸化炉（半導体⽤） 酸化炉（MEMS⽤） P拡散炉 P押し込み炉 B拡散炉 B押し込み炉 アニール炉 中電流イオン注⼊装置 ⾼電流イオン注⼊装置 ランプアニール装置 メタル拡散炉 LPCVD（SiN） LPCVD（Poly-Si） LPCVD（SiO2） 熱CVD 住友精密PECVD W-CVD アネルバスパッタ装置 芝浦スパッタ装置 電⼦ビーム蒸着装置 ゾルゲル⾃動成膜装置 めっき装置 MOCVD JPEL PECVD 住友精密TEOS PECVD ⾃動搬送 芝浦スパッタ装置 球⾯成膜⽤スパッタ装置 DeepRIE装置#1 DeepRIE装置#2 DeepRIE装置#3 アネルバRIE装置 アネルバSi RIE装置 Al-RIE装置 アルバック アッシング装置 ブランソン アッシング装置 ECRエッチング装置 アルバック多⽤途RIE装置 KOHエッチング槽 TMAHエッチング槽 DeepRIE装置#4 イオンミリング装置 ウェハ接合装置 東京精密 ダイサ ディスコ ダイサ ワイヤボンダ レーザマーカ 6インチウェハ研磨装置 4インチウェハ研磨装置 サンドブラスト EVG ウェハ接合装置 EVG ウェハ接合⽤アライナ UVインプリント装置 熱インプリント装置 エキシマ洗浄装置 サーフェイスプレナー ウォーターレーザ ウェハゴミ検査装置 膜厚計 Dektak 段差計 Tenchor 段差計 深さ測定装置 4探針測定装置 拡がり抵抗測定装置 ウェハプローバ ⾦属顕微鏡 デジタル顕微鏡 熱電⼦SEM FE-SEM マイクロX線CT エリプソ 超⾳波顕微鏡 デジタルサーモ顕微鏡 ⾚外線顕微鏡 四重極質量分析装置 TOF-SIMS クイックコータ ⾛査形プローブ顕微鏡 卓上型エリプソ ⼤⼝径AFM レーザ／⽩⾊共焦点顕微鏡 サーフェイスプレナー 直線集束ビーム超⾳波材料解析システム#1 直線集束ビーム超⾳波材料解析システム#2 メーカ/型番 ☆：主担当 ○：オペトレ対応可能 ⼾津 森⼭ 鈴⽊ 渡邉 菊⽥ 辺⾒ 庄⼦ ⿓⽥ アズワン PSH1200 ○ ○ SCFluids CPD1100 ヤマト科学 DN63H ヤマト科学 DP-31 全協化成 東邦化成 ZAA-4 ☆ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ SEMITOOL PSC101 SEMITOOL PSC101 ⽇本精⼯ TZ-310 ミカサ 1H-DXII ヤマト科学 DE62 ヤマト科学 DN43H Suss MA6/BA6 キヤノン PLA-501-FA Raith 50 ウシオ電機 UMA-802 アクテス ASC-4000 アクテス ADE-3000S キヤノン FPA1550M4W エリオニクス ELS-G125S Heidelberg Instruments DWL2000CE 東栄科学産業 東京エレクトロン XL-7 東京エレクトロン XL-7 東京エレクトロン XL-7 東京エレクトロン XL-7 東京エレクトロン XL-7 東京エレクトロン XL-7 東京エレクトロン XL-7 ⽇新イオン機器 NH-20SR 住友イートンノバ NV-10 AG Associates AG4100 光洋リンドバーグ Model270 システムサービス システムサービス システムサービス 国際電気 住友精密 MPX-CVD Applied Materials P-5000 アネルバ SPF-730 芝浦メカトロニクス CFS-4ESII アネルバ EVC-1501 テクノファイン PZ-604 ⼭本鍍⾦試験器 ワコム研究所 Doctor T ⽇本⽣産技術研究所 VDS-5600 住友精密 MPX-CVD 芝浦メカトロニクス !-Miller CFS-4EP-LL 和泉テック 住友精密 MUC-21 住友精密 MUC-21 STS アネルバ DEA-506 アネルバ L-507DL 芝浦エレテック HIRRIE-100 アルバック UNA-2000 ブランソン IPC4000 アネルバ ECR6001 アルバック RIH-1515Z 住友精密 MUC-21 エヌ・エス／伯東 20IBE-C Suss SB6e 東京精密 ディスコ DAD-522 West Bond GSI ルモニクス WM-II BNテクノロジー Bni62 BNテクノロジー Bni52 新東 EVG 520 EVG Smart View Aligner 東芝機械 ST-50 オリジン電気 Reprina-T50A デアネヒステ EXC-1201-DN ディスコ DAS8920 澁⾕⼯業 LAMICS AQL-1900 トプコン WM-3 ナノメトリクス NanoSpec3000 Dektak 8 Tencor AlphaStep 500 ユニオン光学 Hisomet Solid State Measurements SSM150 東京精密 EM-20A ニコン L150 キーエンス／クノーテクノクラフト ⽇⽴ S3700N ⽇⽴ S5000 コムスキャンテクノ ScanXmate D160TS110 アルバック インサイト IS-350 アピステ FSV-1200 オリンパス/浜松ホトニクス キヤノンアネルバ M-101QA-TDM CAMECA TOF SIMS IV サンユー電⼦ SC-701MkII 島津製作所 SPM-9700 フォトニックラティス SE-101 Digital Instruments Dimension3100 レーザーテック OPTELICS HYBRID LS-SD ディスコ DAS8920 ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ☆ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ☆ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ☆ ○ ☆ ☆ ○ ○ ☆ ☆ ☆ ○ ☆ ☆ ☆ ☆ ○ ○ ○ ○ ○ ☆ ○ ○ ☆ ☆ ☆ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ☆ ○ ○ ○ ☆ ☆ ☆ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ☆ ☆ ☆ ☆ ☆ ☆ ○ ○ ○ ☆ ☆ ○ ○ ○ ☆ ○ ○ ○ ☆ ○ ○ ○ ○ ☆ ☆ ○ ☆ ○ ☆ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ☆ ☆ ☆ ☆ ☆ ☆ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ☆ ☆ ○ ○ ☆ ☆ ☆ ☆ ☆ ○ ○ ☆ ☆ ○ ○ ☆ ○ ☆ ○ ○ ☆ ☆ ○ ☆ ○ ☆ ☆ ☆ ☆ ○ ○ ☆ ☆ ○ ☆ ☆ ○ ○ ○ ○ ○ ☆ ○ ○ ☆ ☆ ☆ ☆ ☆ ○ ○ ○ ○ ○ ☆ ○ ○ ☆ ☆ ☆ ○ ○ ☆ ○ ○ ○ ☆ ○ ☆ ☆ ☆ ○ ○ ☆ ☆ ☆ ☆ ○ ☆ ○ ☆ ☆ ○ ○ ☆ ☆ ☆ ☆ ☆ ☆ ☆ ☆ ○ ☆ ☆ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ☆ ☆ ☆ ○ ○ ☆ ☆ ○ ☆ ○ ☆ ☆ ☆ ☆ ☆ ☆ ☆
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