技術機関誌SI NEWS, Vol.58, No.1 (2015)

58
SCIENTIFIC INSTRUMENT NEWS
2015
Te c h n i c a l m a g a z i n e o f E l e c t ro n M i c ro s c o p e a n d A n a l y t i c a l I n s t r u m e n t s .
New Products
Vol.
No. 1
M A R C H
走査型プローブ顕微鏡用ステーション
ＡＦＭ５０００Ⅱ
AFM5000Ⅱは，ナノ領域での形状観察や物性分析が可能な走査型プローブ顕微鏡の制御とイメージングを行うコ
ントローラです。測定パラメータ自動調整機能Real TuneⅡを標準搭載し，再現性の高いデータが取得できます。
主な特長
（1）自動測定
主要なパラメータを予測し調整する新アルゴリズムを開発し，スタートボタンを押すだけのワンクリック測定が
可能になりました。
（2）新GUIと解析機能
形状像と物性像を重ね合わせて表示し，さらに3D像として描画することができるので，物性の分布を視覚的に捉える
ことが可能になりました。
装置外観
THE HITACHI SCIENTIFIC INSTRUMENT NEWS　2015 Vol.58 No.1
© Hitachi High-Technologies Corporation All rights reserved. 2015［4998］

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