《本誌 53 頁∼58 頁》
決定木を利用した分類ルール自動生成術
半導体ウェーハを対象としたリアルタイム欠陥分類
㈱日立製作所／渋谷久恵・岡部隆史・中川泰夫
イメージ
センサ
検出画像
検出画像
光源
参照画像
参照画像
−
比
較
しきい値
欠
陥
位置情報
参照画像
ウェーハ
画像
検出画像
画像
抽出
ダイ
特徴量
特徴量
算出
欠陥
分類
リアルタイム
欠陥分類
欠陥
クラス
分類
ルール
ステージ走査
第1図
半導体ウェーハ外観検査方式
特徴量α
分け易さ◎
特徴量β
分け易さ×
BCD
AB
分け易さ○
頻度
分岐組合せ
A
分け易さ×
CD
特徴量の値
第3図
特徴量と 2 分岐の組合せ決定方法

スライド 1