6 軸電動ステージ Diffraction International CGH Null 自社開発製品 4D Technology AccuFiz New En-Seagull ６軸制御非接触円筒面形状測定機 ● 円筒面の形状を非接触で測定可能 ● オートアライメント機能により、 ワークの１面を１分未満で測定可能 ６軸制御非接触円筒面形状測定機 New En-Seagull En-SeaGull はレーザー干渉計、CGH Null、6 軸電動ステージ、オートアライメントソフトウェアを用い、円筒面の形状測定を 非接触、高速、高精細に行い、生産工程の短縮 • 管理に貢献します。ワークをワンチャックで装着すると、面形状を全自動で、し かもワークの１面を1分未満で測定します。 レーザー干渉計は、小型で振動や空気揺らぎの影響を受けにくいダイナミック測定と瞬時フェイズシフト機能を搭載した 4D Technology 社の AccuFiz を採用しています。また、レーザー光を円筒形状に合わせるために、Diffraction International 社の CGHNull を使用しています。 ■ システム構成 6 軸電動ステージ 6 軸電動ステージは X、Y、Z、α、β、θ軸で構成され、 特に Z 軸（光軸水平方向）に約 800mm の移動長さを持っ ています。オートアライメントソフトウェアにより 制御され、測定に最適な位置へアライメントを行います。 Diffraction International CGH Null DI 社の CGH Null は既設干渉計を用いて 円筒面形状測定を可能にするアプリケー ションです。CGH Null は参照球面波面ま たは参照平面波面を、測定対象物に一致し た波面に変換します。触針式形状測定機や スティッチング式干渉計に比べて、短時間 （数秒）での測定を可能にします。 CGH Null フィゾー干渉計 CGH Null 概念図 円筒形状レンズ レーザー光 ワークホルダーとθ軸 Y β X Z α θ 6 軸電動ステージ軸構成 4D Technology AccuFiz ４inch Model AccuFiz は小型で軽量、かつ頑丈なフィゾー式レーザー干渉計です。ダイナ ミック測定機能により、生産現場やワークまでの距離が遠い測定等の環境に おいて、振動の影響を受けにくく、中間空間周波数帯において優れた精度を 提供します。 ソースダイヤメーター、フォーカス、パン、ズーム、測定が標準装備のタッ チパネル式のコントローラーで行えます。 4D Technology 社 4SightTM 解析ソフトウェア測定結果イメージ 〒332-0012 埼玉県川口市本町 4 -1- 8 川口センタービル 5階 Tel : 048-227-4688 Fax : 048-227-4622 URL : http://www.enablekk.com E-mail : [email protected] 製品の仕様は予告なく変更される場合があります。予めご了承ください。 2015-01-ES-000
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