FlexCam TM オンライン 表面粗さ測定モジュール オンラインで測定領域の表面粗さを高速マッピング ■ ダイナミック干渉を利用したリアルタイム測定 ■ 振動による影響を受けない構造 ■ 3D顕微鏡に比べてはるかに広い測定領域 ■ 4D Technology社独自のダイナミック干渉技術を使用し たFlexCamは、基板、フィルムなどの表面粗さ、欠損を エリアで高速測定することのできる高分解能マッピング モジュールです。 位相シフト法がベースとなるこの干渉技術は、内部に駆 動部品を使用せず、ワンショットで測定領域内の3次元粗 さデータを取り込むので、外部の振動の影響を受けない 構造となっています。 3次元顕微鏡では不可能であった、オンライン3次元粗 FlexCam Roughness and Defect Metrology Module さ高速測定がFlexCamによって実現します。 アプリケーション 特長 ・分解能 : < 0.5nm (Z方向)、2.0µm (XY方向) ・欠損の検出、表面粗さの測定/解析 ・測定領域 : 0.2mm x 4.0mm ・サブ nmでの粗さ測定 ・測定速度 : 1m/分 ・各種フィルム、基板など 25µm∼1mm(厚み) ・サンプル裏面、ローラからの反射影響なし FlexCam TM 仕様 分解能(Z方向) < 0.5nm 分解能(XY方向) 2.0µm 測定領域 0.2 x 4.0mm (MD×TD) ワークディスタンス 21mm フォーカスレンジ ±30um(自動追尾) 測定高さ(最大) 115nm 測定傾斜(最大) 3.3° 測定/解析時間 < 33ms 測定サンプル高さ 25µm∼1mm以上 測定サンプル反射率 1∼30% ; 高反射率サンプル 対応可能(オプション) 測定サンプル速度 1m/分(MD方向100%カバー時) ローラ振れ(最大許容) ±25µm ローラ直径(最小許容) 15.2cm ローラのコーティング 黒アルマイト処理、もしくは類似 動作温度 10∼30℃ 動作湿度 > 98% 結露なきこと モジュールサイズ 175×95×24mm モジュール重量 500g モジュール消費電力 < 8W/module 複数モジュール設置 最大60ユニット(1mサンプル幅) 解析 サンプル表面粗さ RMS、P-V、平均 欠損場所を除くサンプル表面粗さ、欠損カバー率、 欠損数、最大傾斜、領域、最大高さなど ※仕様は予告なく変更される場合がございます。 3.2.15 ©4D Technology Corporation
© Copyright 2024 ExpyDoc