オンライン 表面粗さ測定モジュール FlexCam

FlexCam
TM
オンライン 表面粗さ測定モジュール
オンラインで測定領域の表面粗さを高速マッピング
■ ダイナミック干渉を利用したリアルタイム測定
■ 振動による影響を受けない構造
■ 3D顕微鏡に比べてはるかに広い測定領域
■ 4D Technology社独自のダイナミック干渉技術を使用し
たFlexCamは、基板、フィルムなどの表面粗さ、欠損を
エリアで高速測定することのできる高分解能マッピング
モジュールです。
位相シフト法がベースとなるこの干渉技術は、内部に駆
動部品を使用せず、ワンショットで測定領域内の3次元粗
さデータを取り込むので、外部の振動の影響を受けない
構造となっています。
3次元顕微鏡では不可能であった、オンライン3次元粗
FlexCam Roughness and
Defect Metrology Module
さ高速測定がFlexCamによって実現します。
アプリケーション
特長
・分解能
: < 0.5nm (Z方向)、2.0µm (XY方向)
・欠損の検出、表面粗さの測定/解析
・測定領域 : 0.2mm x 4.0mm
・サブ nmでの粗さ測定
・測定速度 : 1m/分
・各種フィルム、基板など
25µm∼1mm(厚み)
・サンプル裏面、ローラからの反射影響なし
FlexCam
TM
仕様
分解能(Z方向)
< 0.5nm
分解能(XY方向)
2.0µm
測定領域
0.2 x 4.0mm (MD×TD)
ワークディスタンス
21mm
フォーカスレンジ
±30um(自動追尾)
測定高さ(最大)
115nm
測定傾斜(最大)
3.3°
測定/解析時間
< 33ms
測定サンプル高さ
25µm∼1mm以上
測定サンプル反射率
1∼30% ; 高反射率サンプル
対応可能(オプション)
測定サンプル速度
1m/分(MD方向100%カバー時)
ローラ振れ(最大許容) ±25µm
ローラ直径(最小許容) 15.2cm
ローラのコーティング
黒アルマイト処理、もしくは類似
動作温度
10∼30℃
動作湿度
> 98% 結露なきこと
モジュールサイズ
175×95×24mm
モジュール重量
500g
モジュール消費電力
< 8W/module
複数モジュール設置
最大60ユニット(1mサンプル幅)
解析
サンプル表面粗さ
RMS、P-V、平均
欠損場所を除くサンプル表面粗さ、欠損カバー率、
欠損数、最大傾斜、領域、最大高さなど
※仕様は予告なく変更される場合がございます。
3.2.15 ©4D Technology Corporation