製品紹介 300mm ウェーハ対応縦型炉 VF ｰ 5900 300mm Wafer Vertical Diffusion Furnace VF-5900 光洋リンドバーグ （株） では，300mm ウェーハ対応機として VF-5900 を 開発，発売した． ここに概要を紹介する． ○型 式 ○ウェーハサイズ ○外形寸法 （W◊D◊Hmm） ○バッチサイズ ○連続処理 ○常用使用温度 ○ヒータ ○ヒータ均熱長 （mm） ○温度制御 概要 : VF-5900 : 300mm : 1 200◊2 750◊3 350 : 100 枚 : ２バッチ : 300 ∼ 1 050 ℃ : LGO ヒータ : 1 060 : ４ゾーン ○カセットストック数 プロセスカセット ダミーカセット モニターカセット ○ウェーハ移載方法 ○フィンガー ○コントローラ ○ SECS 対応 ○ AGV 対応 ○ SMIF ／ FOUP 対応 : 12 :８ :２ :２ : バキュームレス : ５枚＋１枚 : Model1400 : 可能 : 可能 : 可能 特長 FOUP （25） を 12 個ストックでき，2 バッチ連続 で各 100 枚の処理が可能． ・量産型 最大 100 枚の処理を 2 バッチ連続で処理可能． Ｉ／Ｏポートにセットされた FOUP は全てバッ ファ棚に搬送され，その後必要な FOUP のみ装置 内のドアオープナーまで搬送されます．ウェーハ は信頼性の高いツインアーム式スカラ型ロボット ・新開発ヒータ 低温・高温とそれぞれのプロセスに合わせた ヒータを搭載し，最適プロセスが実行可能． ・ロードロック で，バキュームレス搬送されます．ボートはスリ Ｎ ２ロードロックチャンバーにより，スループ ップを考慮したラダータイプを標準として採用． ット向上に寄与する． ヒータは定評のある LGO ヒータで，強制冷却シ ・操作性 ステムを加えることにより更にスループットを上 世界標準に準拠した新型コントローラ Model げることができます． 1400により操作性が向上．(HSMS，GEMに対応) ・メンテナンス 用途 引き出し可能な FOUP バッファーによりメンテ ナンスが容易． ・酸化／拡散／アニール／減圧 CVD ・フットプリント 装置本体のみクリーンルームに設置し，補助機 外観図 器は階下に設置可能とすることにより，フット プリントが縮小された． Gas box FOUP I ⁄ O Control panel Utility box 光洋リンドバーグ株式会社 86 KOYO Engineering Journal No.156 (1999)
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