製品紹介 300mm ウェーハ対応縦型炉 VF ー 5900 300mm Wafer Vertical Diffusion Furnace VF-5900 光洋リンドバーグ (株) では,300mm ウェーハ対応機として VF-5900 を 開発,発売した. ここに概要を紹介する. ○型 式 ○ウェーハサイズ ○外形寸法 (W◊D◊Hmm) ○バッチサイズ ○連続処理 ○常用使用温度 ○ヒータ ○ヒータ均熱長 (mm) ○温度制御 概要 : VF-5900 : 300mm : 1 200◊2 750◊3 350 : 100 枚 : 2バッチ : 300 ∼ 1 050 ℃ : LGO ヒータ : 1 060 : 4ゾーン ○カセットストック数 プロセスカセット ダミーカセット モニターカセット ○ウェーハ移載方法 ○フィンガー ○コントローラ ○ SECS 対応 ○ AGV 対応 ○ SMIF / FOUP 対応 : 12 :8 :2 :2 : バキュームレス : 5枚+1枚 : Model1400 : 可能 : 可能 : 可能 特長 FOUP (25) を 12 個ストックでき,2 バッチ連続 で各 100 枚の処理が可能. ・量産型 最大 100 枚の処理を 2 バッチ連続で処理可能. I/Oポートにセットされた FOUP は全てバッ ファ棚に搬送され,その後必要な FOUP のみ装置 内のドアオープナーまで搬送されます.ウェーハ は信頼性の高いツインアーム式スカラ型ロボット ・新開発ヒータ 低温・高温とそれぞれのプロセスに合わせた ヒータを搭載し,最適プロセスが実行可能. ・ロードロック で,バキュームレス搬送されます.ボートはスリ N 2ロードロックチャンバーにより,スループ ップを考慮したラダータイプを標準として採用. ット向上に寄与する. ヒータは定評のある LGO ヒータで,強制冷却シ ・操作性 ステムを加えることにより更にスループットを上 世界標準に準拠した新型コントローラ Model げることができます. 1400により操作性が向上.(HSMS,GEMに対応) ・メンテナンス 用途 引き出し可能な FOUP バッファーによりメンテ ナンスが容易. ・酸化/拡散/アニール/減圧 CVD ・フットプリント 装置本体のみクリーンルームに設置し,補助機 外観図 器は階下に設置可能とすることにより,フット プリントが縮小された. Gas box FOUP I ⁄ O Control panel Utility box 光洋リンドバーグ株式会社 86 KOYO Engineering Journal No.156 (1999)
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