マニュアルプローバー α150/200/300 快適な操作性が好評のα αシリーズ 評価・解析に幅広いニーズに対応 POINT 選べるステージ 載せ変えも簡単 選べる光学系 POINT 実装基板ホルダー ホットチャック サーモチャック 実体顕微鏡 ノーマルチャック フィルム用チャック 樹脂製チャック Etc. ズームマイクロ （レーザー対応） 大型のプラテンを採用し、 余裕のマニピュレーターの 搭載を実現しています。 またプラテンが上下するこ とで、一括で針のZ調整がで きます。 シ ョ ッ ク ア ブ ソ ーバー の 採 用 で 常 に ソ フトな コ ン タ ク ト を 実 現して います チャックの交換は容 にできます。 Zは3段 卲り 操作性を考慮した前明きの形で す。ウエハーのロード/アンロ ードが容 にできます。 え ステージ移動が簡単で正確です。 レバーの操作により、3段アクションの Ｚドライブが可能です。アライン（位 置合わせ）はウエハーから約300μm 針を して ので、 の 勷か らはずれないでステージが移動でき、 かつローディング／アンローディング のときは、5.0mm れますので勣 に操作できます。 主な仕様（α α200） 確実なアライメント マイクロメーター付 の高 ステー ジをXYZθに採用し ています。プローブ カード装着時のアラ イメントも簡単にで きます。 本体寸法（本体のみ） 匤 （本体のみ） ：600mm幅：600mm 高さ：450mm 40ｋｇ ステージトラベル（粗動） Ｘ：200ｍｍ、 Ｙ：200ｍｍ サブステージトラベル（微動） Ｘ：25ｍｍ、 Ｙ：25ｍｍ チャック径 4 ウエハー保持 真空吸着方式（400ｍｍＨｇ以上） 8inch ※α150は6インチウエハまでの対応です。 ＜測定対応＞ 匰及 高周波 ハイパワー 製厍の価卺、仕様は匨卪なしに変 ステージ移動ノブについてい る移動用スイッチにより、自 在にステージをＸＹに移動さ せることができます。範囲は ＸＹ共に各チャックサイズ以 上となります。 株式会社アポロウエーブ される 合が ります。 〒532-0011 大 勜厅勽 勹6-7-8 大昭ビル4F TEL 06-6838-3233 FAX 06-6838-3234 E-MAIL：[email protected]
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