電動キネマティックステージ

Motion
495
電動直進ステージ
電動キネマティックステージ
Motorized Kinematic Stages
• 分解能：＜30nm
• 6軸アライナ：半導体ウェハのアライメントに最適
Model 8071
Model 8081
電動アクチュエータ
これら多軸ポジショナは、人気のキネマティックステージの各軸をモータ駆動できる、より多用途な
製品です。Picomotor™アクチュエータにより、高精度（＜30 nm）でリモート調整できます。ス
テージのモータ駆動軸は、X、Y、Z、Θx、Θy、Θzから種々に組合わせています。4軸、5軸アライナ
はモジュレータやアイソレータのポジショニング、導波路デバイスへの光カップリングに、6軸アラ
イナは半導体ウェハのアライメントに最適です。
電動回転ステージ
• モジュレータやアイソレータを簡単にアライメント
発注のご案内
内容
8071
電動、X、Y、Θx、Θy、チルトアライナー、移動量3 mm、移動角度8°、8-32ネジ
¥399,000
8071-M
電動、X、Y、Θx、Θy、チルトアライナー、移動量3 mm、移動角度8°、M4ネジ
¥399,000
8081
電動、X、Y、Θx、Θy、チルトアライナー、移動量3 mm、移動角度8°、1/4-20ネジ
¥451,000
8081-M
電動、X、Y、Θx、Θy、チルトアライナー、移動量3 mm、移動角度8°、M6ネジ
¥451,000
8082
電動ワイド、X、Y、Z、Θx、Θy、チルトアライナー、移動量3 mm、移動角度8°、1/4-20ネジ
¥451,000
8082-M
電動ワイド、X、Y、Z、Θx、Θy、チルトアライナー、移動量3 mm、移動角度8°、M6ネジ
¥451,000
8095
電動、X、Y、Θx、Θy、アライナー、移動量3 mm、移動角度4°、1/4-20ネジ
¥501,000
8095-M
電動ワイド、、X、Y、Θx、Θy、アライナー、移動量3 mm、移動角度4°、M6ネジ
¥501,000
コントローラ＆
ドライバ
モデル
Price
電動軸
移動量[in. (mm)]
8071
8081
8082
8095
X, Y, Θx, Θy
X, Y, Z, Θx, Θy
X, Y, Z, Θx, Θy
X, Y, Z, Θx, Θy, Θz
0.118 (3)
0.118 (3)
0.118 (3)
8°
8°
8°
4°
最小移動量、直線 (nm)
30
30
30
30
角度分解能
θx, θy=<0.7 mrad
θx, θy=<0.7 mrad
θx, θy=<0.7 mrad
θx, θy, θz=<0.2 mrad
耐荷重 [(N)]
エラー：値なし
エラー：値なし
エラー：値なし
エラー：値なし
10-40
10-40
10-40
10-40
6ピンコネクタ(2)
8-32
6ピンコネクタ (2)
6 ピンコネクタ (2)
8-32および1/4-20
8-32および1/4-20
4 ピンコネクタ (6)
1/4-20
操作温度 (°C)
コネクタータイプ
ねじタイプ
8-32(M4)ネジ穴×4、
1.00”×1.69”(25.0×45.0)
の長方形頂点
1/4-20(M6)
拘束ネジ
Y
Z
Z
1/4-20(M6)
ネジ穴×12
1.4
(35 0"
.6)
8"
4 .2 7 )
8.
(10
6"
2 .5 )
.1
(65
1.1
(29 4–1.
.0– 28"
32
.5)
8"
3.2 )
.3
(83
X
8"
0 .3 )
5
(9.
”
.57
6-1
1 .4 0 )
大 0-40.
最 7.
(3
4.6
(11 2"
7 .3
)
Y
4ピン
コネクタ×6
1.3
(33 2"
.5 )
最
大
(29 1.16.5- 1.2
31 4”
.5)
5.7
(14 0"
4.8
)
0"
5 .7 8 )
4.
(14
電動光学マウント
3.6
(91 2"
.9)
Z
X
1.3
(33 2"
.5)
6ピン
コネクタ×2
8-32(M4)
ネジ穴×2
X
2 .3
(58 0"
.4 )
測定機器
最
大
(40 1.60”
.0)ｘ
6
Y
1/4-20(M6)ネジ穴×7、
1.00”(25.0)角上
平行キネマティック
ステージ
0.118 (3)
移動角度
電動垂直ステージ
仕様
6ピンコネクタ×2
Model 8082
米国特許＃5,303,035および＃5,410,206
Model 8095
米国特許＃5,303,035および＃5,410,206
E m a i l : n e w p o r t @ j a p a n l a s e r. j p • W e b : w w w. n e w p o r t - j a p a n . j p
システム
Model 8071
米国特許＃5,303,035および＃5,410,206

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