４．高分子樹脂（ポリアニリン）のエッチング（石英ガラス基板上）
（１）石英／白金電極／ポリアニリンが形成されているガラス基板がある。酸素プラズ
マアッシャ−にてポリアニリン（高分子樹脂）を除去し、基板を再生した。
（２）要素技術と加工内容等
要 素 技 術
エッチング
加 工 内 容 等
・ドライエッチングの実施
（酸素プラズマアッシング・・灰化除去）

1．市販ホトセンサ−の改造（ホトセンサ−のエッチング） （1）市販の

CEM-3(E-668T(K)) (PDF形式、460kバイト)

車両搭載用カメラスタビライザ ACE-4DG

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ケガキ線を作成(PDF：215KB)