１．市販ホトセンサ−の改造（ホトセンサ−のエッチング）
（１）市販のホトセンサ−（ｐｉｎ構造、１５mm 角のベアチップ、Ｈホトニクス製）の受光面
を下図のようにエッチングした。
１５mm 角ホトダイオ−ド
（２）要素技術と加工内容等
要 素 技 術
ガラスマスク
フォトリソグラフィー
エッチング
１∼２μｍ深さまでエッチング
加 工 内 容 等
・マスク設計・製作
・ホトレジストによるパターニング
（エッチングマスク形成）
・エッチング液の選定
・エッチングの実施

4．高分子樹脂（ポリアニリン）のエッチング（石英ガラス基板上） （1） 石英

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