文部科学省 先端研究基盤共用・プラットフォーム形成事業 表面分析装置の 共同利用による 材料開発の高度化 表面分析で 産業界の 発展に貢献 します。 国立大学法人 名古屋工業大学 大型設備基盤センター ご利用の流れ 利用申請 利用相談 ● リエゾン・技術指導研究員が、 利用方法や使用装置・分析方法、 分析結果等のご相談に応じます。 ● 秘密保持契約の締結ができます。 ● 下記11装置以外の装置による ※4つのコースが 選べます。 本学保有の装置の空き時間を利用して分析を行いますので、利用しやすい料金 設定です。 ■成果非公開（有償） ● ■トライアルユース（無償） 課題名のみ公開します。 ● ■成果公開（有償） ● 分析依頼をご希望の場合にも、 ご相談ください。 課題選定 ● で利用できます。 分析終了後、利用成果報告 ● 分析終了後、利用成果報 書を提出していただきます。 告書を提出していただき その後、報告書を公開します。 ます。その後、報告書を ※最大 2 年まで公開延期も ● も可能です。 課題選定委員会 試料調製、分析、 結果についての 採択/不採択を す。 用者に帰属しま で審査した後、 通知します。 分析終了後、利用成果報告書を提出 していただきます。その後、報告書 を公開します。 電子を用いて、表面形状を低倍率から高倍率まで観 察します。同時に試料表面元素の定性、定量、面分 析（EDS）、粒子解析や結晶の方位測定（EBSD）がで きます。 電子プローブマイクロアナライザー （FE-EPMA） 電子を用いて、表面形状を高倍率で観察します。出 てくるX線の波長を分析(WDS)することで、エネル ギー分析(EDS)よりも軽元素や微量元素を高感度で 検出し、表面から2∼3μm深さまでに存在する元 素を高精度で定性・定量・面分析できます。 ナノ走査プローブ顕微鏡（SPM） 軟X線分析装置（SXES） 電子を用いて、表面形状を低倍率から 超高倍率まで観察します。同時に試料 表面元素の定性、定量、面分析（EDS） や発光（カソードルミネッセンス）分 析をおこないます。特に、低加速電圧 で高倍率観察と分析ができます。 電子を用いて、表面形状を高倍率で観 察できます。出てくるX線の波長を軽 元素に対して極めて高感度で高分解能 に分析できるので、リチウムやホウ素 からケイ素程度までの軽元素を含有す る材料に関して、存在する元素の結合 状態分析もできます。 （L-FE-SEM） 飛行時間型二次イオン質量分析装置 尖った針で試料の表面をなぞることにより、表面の 原子レベルの凹凸や粗さをnmレベル（深さ方向 0.01nm、水平方向0.1nm） で数値化し、3次元表面 形状を精密に観察することができます。 （TOF-SIMS） 表面から切り離されて出てくるイオン の質量を分析することで、最表面に存 在する物質を水平方向サブμm領域で 高感度に定性（標準試料との比較で定 量も可）、面分析することができます。 アルゴン(Ar)クラスターイオンで表面 から削ることにより、材料の深さ方向 分析もできます。 す。 TEL：052 -735 -7117 E-mail：[email protected] 先端研究基盤共用・プラットフォーム形成事業 電界放出形走査電子顕微鏡（FE-SEM） 低加速電界放出形走査電子顕微鏡 知的財産は、利 まずはお気軽にご相談ください。 ※最大 2 年まで公開延期も可能です。 利用できる装置 結果解析をしま 同一部署で 2 サンプルまで利用でき ます。 ● ※最大 2 年まで公開延期 成果非公開よりも安価です。 企業と共同で研究している大学等研究 機関の研究者が利用できます。 公開します。 可能です。 ● 同一部署で 2 サンプルま ■産学連携無償利用（無償） 分析結果 報告 表面分析 X線電子分光装置（ESCA） X線を照射して出てくる電子のエネルギーを分析す ることで、厚さnmレベルの表面層に存在する元素 の定性、 定量、 化学結合状態を分析することができま す。また、イオンを用いて表面から削ることで深さ 方向の分析もできます。絶縁物でも分析できます。 オージェ電子分光分析装置（FE-AES） 電子を用いて表面形状を高倍率で観察し、表面から 放出されるオージェ電子を分光することで微小領域 の元素の定性、定量分析をすることができます。ま た、イオンを用いて表面から削ることで深さ方向の 分析もできます。 二次イオン質量分析装置（SIMS） イオンを用いて表面から内部へ削りながら、出てく るイオンの質量を分析することで、無機材料に対し て、その時点の水平方向50-300μm□表面の領域 に存在する極微量の元素を高感度に定性（標準試料 との比較で定量も可）、深さ方向分析をすることが できます。 レーザー脱離イオン化質量分析装置 （MALDI-MS） レーザーを用いて物質をイオン化し、有機高分子材 料などの分子量や化学構造を分析できます。スパイ ラル型分析器により、質量の似通った物質や微妙な 分子構造差を高精度に見分けることができます。ま た、マスイメージング測定で、面分析もできます。 X線CT装置（XCT） 医療用のX線断層撮影と同様の原理で材料内部の構 造を壊さずに観察できます。金属、セラミックスや 樹脂製品、さらに生体組織（骨や歯） まで多くの材料 の内部構造をμmオーダーで観察できます。 大学内配置図 公道 北門 57号館 55号館 N 体育館 プール 公道 53号館 ︵名大病院︶ 公道 56号館 国際交流会館 54号館 52号館 大学会館 51号館 （生協） 公道 24号館 21号館 古墳 23号館 25号館 大型設備基盤センター 22号館 公道 20号館 1号館 6号館 19号館 18号館 正門 守衛室 東門 2号館 正門 3号館 4号館 ︵鶴舞公園︶ 公道 講堂 本部棟 図書館 11号館 16号館 14号館 12号館 13号館 校友会館 保健センター 15号館 公道 先端研究基盤共用・ プラットフォーム形成事業本部 名古屋工業大学へのアクセス イオンタウン 千種 名古屋高 速道路 市バス（千早） JR 鶴舞駅 名大病院口 地下鉄吹上駅 ⑤番出口 北門 市バス（吹上） 吹上 ホール 名古屋大学 医学部附属病院 JR 鶴舞 鶴舞 市バス （名大病院） 正門 名古屋 工業大学 東門 吹上 吹上 公園 吹上 小学校 鶴舞公園 線 央 中 JR 鶴舞 小学校 北山 中学校 地下鉄桜 通線 舞線 鉄鶴 地下 地下鉄鶴舞駅 ④番出口 ■JR中央本線「鶴舞」下車、名大病院口から徒歩約 7 分 ■市バス「名大病院」 「千早」 「吹上」下車、徒歩約 5 分 ■地下鉄鶴舞線「鶴舞」下車、4 番出口から徒歩約10分 ■地下鉄桜通線「吹上」下車、5 番出口から徒歩約10分 文部科学省 国立大学法人 名古屋工業大学 大型設備基盤センター 先端研究基盤共用・プラットフォーム形成事業 〒466-8555 名古屋市昭和区御器所町 11号館 523号室 TEL.052-735-7117 FAX.052-735-7117 URL：http://hyomen.web.nitech.ac.jp/ E-mail：[email protected] ※再生紙を使用しています。
© Copyright 2024 ExpyDoc
