ﾘﾐｯﾄ・原点用ｺﾈｸﾀ
526
100
200
100
180
130
50
220
25
ｽﾃｯﾋﾟﾝｸﾞﾓｰﾀｰαSTEP
4-M6 深ｻ16
1
25
180
130
25
8-7ｷﾘ、11深ｻﾞｸﾞﾘ
8-M6 深10
20-M4 深8
34
60
□42
ｽﾃｯﾋﾟﾝｸﾞﾓｰﾀｰαSTEP用ｺﾈｸﾀ
5
180
50
14
SEIKI
φ1
CHUO
200
25
手動ﾊﾝﾄﾞﾙ
100
180
100
ＡＬＳ－Ｈ２２０－Ｃ５Ｐ
Ｘステージ
rev.
-

Xステージ ALS－H220－C2P ｽﾃｯﾋﾟﾝｸﾞﾓｰﾀｰαSTEP 手動ﾊﾝﾄﾞﾙ ﾘﾐｯ

Xステージ ALS－H230－C2P ﾘﾐｯﾄ・原点用ｺﾈｸﾀ ｽﾃｯﾋﾟﾝｸﾞﾓｰﾀｰα

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