ﾘﾐｯﾄ・原点用ｺﾈｸﾀ
526
100
200
100
180
130
50
220
25
ｽﾃｯﾋﾟﾝｸﾞﾓｰﾀｰαSTEP
4-M6 深ｻ16
1
25
180
130
50
14
25
SEIKI
φ1
CHUO
8-7ｷﾘ、11深ｻﾞｸﾞﾘ
8-M6 深10
20-M4 深8
34
60
□42
ｽﾃｯﾋﾟﾝｸﾞﾓｰﾀｰαSTEP用ｺﾈｸﾀ
5
200
180
25
手動ﾊﾝﾄﾞﾙ
100
180
100
ＡＬＳ－Ｈ２２０－Ｃ２Ｐ
Ｘステージ
rev.
-

Xステージ ｽﾃｯﾋﾟﾝｸﾞﾓｰﾀｰαSTEP 手動ﾊﾝﾄﾞﾙ ﾘﾐｯﾄ・原点用ｺﾈｸﾀ 42 34 1

Xステージ ALS－H230－C2P ﾘﾐｯﾄ・原点用ｺﾈｸﾀ ｽﾃｯﾋﾟﾝｸﾞﾓｰﾀｰα

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