データシート：SLQ -QT500 液体流量センサー 半導体製造工程等用流量センサー(塵埃・溶出対策済) - 流量測定範囲：120 ml/min までカバー ２種類の液体(IPA と H2O)に校正済み 流量検出応答時間： < 50 ms 内部に可動部分がない直線状流路 広範囲の粘度に対応 接液部に不活性材料(PFA、石英ガラス)を使用 製品概要 通信インタフェース SLQ-QT500 液体流量センサーを使用すれば、塵埃・ 溶出等の管理要求が厳しい半導体製造工程等の用途 でも高速の測定が行えます。デュアル式校正２種類 の液体(水[H2O]およびイソプロピルアルコール[IPA]) に校正済みなので、水系液体または炭化水素系液体 の流量のモニタリングが行えます。真っ直ぐに貫通 した接液流路には可動部品がなく、その全体が PFA と石英から作られています。その優れた耐化学薬品 性により、SLQ-QT500 は、腐食性化学物質や高粘度 の液体の測定用であっても第一候補に選ばれる製品 となっています。 デジタル式 2 - I C バス - RS485 バス - USB ケーブル アナログ式 - 電圧出力（0〜10 V） (追加動作モードも利用可能) 上記通信に関する詳細は本文書の第 3 章をご参照く ださい。 1 測定に関する性能 表 1：SLQ-QT500 のセンサーの性能(別途注記のある場合を除き、23°C における数値。IPA の濃度は中程度。) パラメータ フルスケール流量 測定値の出力限界値 a b 対測定値 対フルスケール 対測定値 対フルスケール 対測定値 対フルスケール 媒体：IPA 媒体：水 単位 2000 (120) 2000 (120) µl/s (ml/min) 2500 (150) 2500 (150) µl/s (ml/min) 5 0.125 % 0.125 0.5 0.5 % 0.0125 0.0125 % 0.15 0.15 %/℃ 0.00375 0.00375 %/℃ 流量検出応答時間τ63 <50 <50 ms 電源投入から起動完了までの時間 25 25 ms +5～+50 +5～+50 ℃ -10～+60 -10～+60 ℃ 12 (175) 12 (175) bar（psi） 50 (725) 50 (725) bar（psi） フルスケール内での測定精度 （いずれか誤差の大きい方） フルスケール内での繰返し精度 （いずれか誤差の大きい方） 温度係数(1°C 当たりの追加誤差) (いずれか誤差の大きい方） 動作温度 保管周囲温度 動作耐圧 保証耐圧 d e e 5 C % 本センサーから出力される測定値が飽和する流量。b インレット側チューブが一直線の場合の精度。c 精度は±1000 μl/s 未満。1000 μl/s d から 2500 μl/s の間の精度については第 2 章の各図を参照。 結露がなく、流路が空の場合。e 圧力は PFA チューブにより制限される。 a www.sensirion.com Version 3―2014 年 10 月 1/7 1.1 校正フィールド情報 本センサーはイソプロピルアルコール(IPA)用と水 (H2O)用の校正データをそれぞれ保有しています。各 校正データは次の校正フィールド(CF)に別々に保存 されます。 ▪ 校正フィールド 0：IPA(工場出荷時にデフォルト として設定) ▪ 校正フィールド 2：H2O デフォルトの校正フィールド(すなわち起動時に有効 2 となる校正フィールド)は、I C または RS485 の各コ マンドを使用して恒久的に変更することができます。 あるいは、流量センサーキットに含まれている USB-RS485 センサービューアーを使用して変更す ることもできます。当該ビューアーは当社液体流量 センサーの下記ウェブサイト上にあるダウンロード センターからも入手することができます。 www.sensirion.com/liquidflow-download 流量の標準校正データの範囲は-2500 μl/s から+2500 μl/s までとなります。これよりも広い校正範囲が、IPA 用および水用に必要な場合は別途当社までお問い合 わせください。 1.2 センサーの測定条件の設定 SLQ-QT500 センサーの測定条件のデフォルト設定 は、短時間の吐出プロセスの測定用に最適化されて います。連続的な流量を測定する場合は、マイクロ ヒーターに対する設定条件を変えることをお奨めし 2 ます。デフォルトの設定条件は I C または RS485 の 各コマンドを使用して恒久的に変更することができ ます。あるいは、デフォルトのヒーター設定条件を、 USB-RS485 センサービューアーにより変更するこ ともできます 2 測定精度および繰返し精度の仕様図 IPA に対する絶対精度 23℃ 6℃/40℃ 繰返し精度 測定精度（μl/秒） 測定精度（対測定値：%） IPA に対する相対精度 流量（μl/s IPA） H2O に対する相対精度 H2O に対する絶対精度 測定精度（μl/秒） 測定精度（対測定値：%） 流量（μl/s IPA） 23℃ 6℃/40℃ 繰返し精度 23℃ 6℃/40℃ 繰返し精度 23℃ 6℃/40℃ 繰返し精度 流量（μl/s 水） 流量（μl/s 水） 図 1：測定精度と繰返し精度。左側：相対精度(対測定値；％)、右側：絶対精度(誤差の絶対値；μl/s)、 上側：IPA の場合、下側：H2O の場合。 www.sensirion.com Version 3―2014 年 10 月 2/7 3 本センサーとのデータ通信 本センサーは双方向の流量に対して線形変換された 出力データを示します。また、IPA と水に対して十分 に校正されています。 デジタル出力の場合、サンプリング時間は以下のと おりです。 16 ビット分解能の場合：74 ms 9 ビット分解能の場合：1 ms 3.1 電気的仕様 2 本センサーの I C 通信用 M8 コネクターに直接接続し て通信する場合の電気的仕様は表２に示すとおりで す。推奨通信方法は当社の各種 SCC1 センサーケー ブル経由によるもので、詳細は各ケーブルのデータ シートをご参照ください。 表 2：DC 特性 パラメータ 条件 DC 電源電圧 － VDD 動作電流 － 最小値 標準値 最大値 単位 3.3 3.5 5.1 3.7 V mA 3.4 アナログデータ通信 当社 SSC1-アナログ センサーケーブルを本センサー に接続することにより、流量測定値を 0～10.5V のア ナログ電圧出力値に換算して簡単かつ迅速に読み出 すことが可能になります。加えて 2 種類の動作モード (流量スイッチおよび流量積分用カウンター)に関す るデジタル出力(High および Low レベル)の機能も利 用可能になります。 詳しくは当該センサーケーブルのデータシートをご 参照ください。以下の当社ウエブから入手可能です。 www.sensirion.com/liquidflow-download 3.5 USB ケーブルを介したデータ通信 当社 SSC1-USB センサーケーブルを本センサーに 接続することにより、実験室用途および卓上評価用途 で使いやすい USB 接続が適用可能になります。 詳しくは当該センサーケーブルのデータシートをご 参照ください。以下の当社ウエブから入手可能です。 www.sensirion.com/liquidflow-download 3.6 I²C-バスを介したデジタルデータ通信 本センサーは、当社の各種 SCC1 センサーケーブル を使用するように設計されていますが、特別な用途で 3.2 電気的接続用コネクタとそのピン配列 は標準的な I2C バスを経由して直接通信することが可 本センサーは、ねじロック付き(M8)のオス形 4 端子 能です。その物理的なインタフェースはデータライ 円形コネクタを備えています。当該コネクタは、IEC ン(SDA)とクロックライン(SCL)という 2 本のバスラ 61076-2-101 (Ed. 1)/ IEC 60947-5-2 に準拠しており、 インで構成され、これらのラインはそれぞれシステ 当社の各種 SCC1 センサーケーブルが接続可能です。 ムのバス電圧にプルアップ抵抗を介して接続する必 要があります。 表 3：電気的コネクタのピン配列 当該ラインは、電圧レベルが 3.3 ～5.0V でクロック ピン番号 ピン名 周波数が 100 kHz であれば使用可能です。この I²C 1 SDA(データ) 通信の詳細仕様については当社の I²C 通信に関する 2 GND 個別アプリケーションノートをご参照ください。 3 VDD 4 SCL(クロック) 3.3 RS485-バスを介したデジタルデータ通信 液体流量センサー用の当社 SCC1-RS485 センサー ケーブルを使用すれば、要求の厳しい産業用におけ る自動化推進用途への対応手段として、RS485 通信 機能が利用可能になります。また、本センサーの I²C インタフェースにおいて利用可能な標準的コマンド に加え、ケーブルに組み込まれたマイクロコント ローラには、吐出量積算、吐出自動検出、ヒーター 自動制御および非同期読取用データバッファーなど の機能があり、より複合的な流量管理を可能としま す。 詳しくは当該センサーケーブルのデータシートをご 参照ください。以下の当社ウエブから入手可能です。 www.sensirion.com/liquidflow-download www.sensirion.com Version 3―2014 年 10 月 3/7 4 配管仕様 表 4: 配管仕様 パラメータ 接液部材質： • 内部センサーチューブ(キャピラリ)の部材 • 接続用チューブの部材 接続用チューブの仕様 圧力損失(IPA で 120 ml/min、23℃の場合) 内部容積合計 仕様 / 定格 石英 PFA PFA チューブ、外径 6.35 mm(1/4 インチ)、内径 4.35 mm < 2mbar 5 ml 本センサー内部の PFA から石英までの接液部は、接 着剤やガスケットシール材を追加しなくても信頼性 の高いシール状態を確保できるように堅牢性を考慮 した設計が施されています。この堅牢な一体化設計 のため、内部の部品を破壊することなく分解するこ とはできませんので、本センサーを分解したり PFA チューブの交換を試みたりすることは絶対にしない でください。 チューブを必要な長さに切って短くすることは可能 です。次の基本的なガイドラインを考慮してくださ い。 重要な注記：チューブを切る前に、常に(選択した フィッティング部材の種類に応じた)十分な長さが 残っていることを確認してください。PFA チューブ を切って短くし過ぎると、本センサーの交換が必要 になります! 基本的ガイドライン： ▪ PFA チューブは交換することができません。 ▪ 外径 6.35 mm（1/4 インチ） 、内径 4.35 mm の PFA チューブ用のチューブアダプターを使用してく ださい。 ▪ ▪ ▪ ▪ 最適な精度を得るため、インレット部分のチュー ブは元の長さのままにし、真っ直ぐにしておくこ とを推奨します。これは、流量の大きい低粘度の 液体の場合には最も重要になります。詳しくは表 5 をご参照ください。 アウトレット側では、順方向の流れに対する本セ ンサーの精度に影響しない限り、チューブは必要 に応じて切ったり曲げたりすることができます (PFA チューブの取扱いに関する通常の要求事項 には従ってください） 。 チューブの曲げと取付方向は本センサーの繰返 し精度には影響を及ぼしません。同一の測定条件 を維持し、本センサーの優れた繰返し精度のもた らす利点を生かすため、本センサーの位置と方向、 およびその接続用チューブは据付後に固定して おいてください。 PFA チューブを切る場合は必ずお使いのシステ ムに本センサーを接続するために必要かつ十分 な長さを残しておかなければなりません。 表 5：粘度と流量に応じた真っ直ぐなインレットチューブの推奨最小長さ 流量（μl/s） 1000 1500 6 cm 9 cm 1.0（水、23°C の時） a a 2 3 cm 4 cm 動粘度（mm /s） 2.5（IPA、23°C の時） a a 5.0 2 cm 2 cm 2000 12 cm 5 cm a 3 cm a 重要! この表は流体のみ考慮した場合に推奨される最小の長さの一覧です。選択した流体用コネクターの種類によってはチューブをこ れより長くする必要があります。 www.sensirion.com Version 3―2014 年 10 月 4/7 5 機械的仕様 5.1 寸法 表 6：機械的寸法 パラメータ センサー本体部寸法 センサー全長 センサー総重量 センサー内チューブ(キャピラリー)の内径 PFA チューブ内径 仕様 59×35×23.2 mm 360±10 mm ~45 g 4.5 mm 4.35 mm PFA 取付穴 深さ 12 mm EJOT デルタ PT 22xN WN5451 用設計 石英 寸法単位はすべて mm 5.2 材質 表 7：接液部材質 部品 接続用チューブ ¼インチ キャピラリー 表 8：非接液部材質 部品 ハウジング ネジおよび電気的コネクター ケーブル www.sensirion.com 材質 PFA 石英 燃焼性 UL-94 V-0 不燃性 材質 PPS ステンレス鋼 銅 ETFE 燃焼性 UL-94 V-0 不燃性 不燃性 UL-94 V-0 Version 3―2014 年 10 月 5/7 5.3 ラベル 本センサーには、そのハウジングの両側に二枚のラ ベルが貼付してあります。いずれのラベルも耐溶剤 性があり、次の情報が記載されています。 ▪ 当社製品名 ▪ 校正情報：校正フィールド(CF)、液体の種類(H2O または IPA)、フルスケールの流量 ▪ シリアル番号(S/N)と当該番号を符号化した二次元 バーコード ▪ 矢印で示した流れの順方向 図 2：SLQ-QT500 センサーの各ラベル 6 流路の清潔度 6.1 粒子 各 SLQ-QT500 センサーの流路は、梱包前の最終的 な生産ステップとして超純水でフラッシングが施さ れます。次いで ISO 5 のクリーンルーム条件下で PE フォイルによってシールされます。このフラッシン グプロセスの粒子カウント制限値は水 1 ml 当たりの 検出粒子が一個未満であり、粒子の検出限界値は粒 径で 100 nm です。 本センサーの一般的な用途での清掃とクリーンな取 扱に関する説明書が必要な場合は当社までご連絡く ださい。 7 発注に関するご案内 本センサーは OEM 用途向けに大きな数量規模でご 購入可能です(何らかの追加部品がない場合)。最適性 能を引出すために、本センサーと各種 SCC1 ケーブ ルを組み合わせてご使用されることを推奨いたしま す。 実験室での測定用途および本センサーの技術評価の 場合には、本センサーのフローメーターキットをご 注文いただくことが可能です。 当該キットの同梱物は以下のとおりです。 ▪ ▪ ▪ ▪ 本センサー 測定データの表示および出力用の PC ソフトウエア SCC1-USB センサーケーブル(PC 接続用) SCC1-アナログ センサーケーブル(アナログ出力 電圧：0-10V) 表 9：品番情報 製品 液体流量センサー SLQ-QT500 液体フローメーターキット SLQ-QT500 品番 1-100963-01 1-101004-01 各種 SCC1 センサーケーブルの品番一覧 SCC1-RS485 センサーケーブル(ピッグテールエンド)、 2m長 SCC1-RS485 センサーケーブル(ピッグテールエンド) 、5m長 SCC1-アナログ センサーケーブル(ピッグテールエンド) 、 2m長 SCC1-USB センサーケーブル、 2m長 1-100804-01 1-101122-01 1-101072-01 1-101007-01 www.sensirion.com Version 3―2014 年 10 月 6/7 重要な通知 警告、人身障害 本製品は、安全装置または緊急停止装置として使用してはならず、 また製品の故障が（死亡も含む）負傷につながるおそれのあるそ の他の用途に使用しないでください。本製品は、その意図する用 途、または認められた用途以外には使用しないでください。本製 品の設置、取扱、使用、または整備を行う前に、データシートと 各アプリケーションノートを参照してください。以上の指示事項 に従わないと、死亡または重大な負傷を招くおそれがあります。 買手が SENSIRION の製品を、意図しない用途、または認められ ていない何らかの用途のために購入または使用する場合、買手は、 SENSIRION にその製品の設計または製造に関する過失があった との主張がなされた場合であっても、その意図しない用途、また は認められていない用途に伴って起きた負傷または死亡について の請求に基づき直接または間接的に生じる一切の請求、費用、損 害賠償、経費、および相応な弁護士費用から SENSIRION および その役員、従業員、子会社、関連会社、販売店を守り、免責し、 被害を被らないようにするものとします。 を設けることなく含まれる一切の保証は明示的に除外され、否認 されます。 SENSIRION は本製品の欠陥のうち、データシートに定める操作 条件下で、かつ商品の正しい使用条件下で生じた欠陥に対しての み責任を負います。SENSIRION は、技術的仕様に従わずに商品 を操作または保管した期間については、明示的であるか暗示的で あるかを問わず、あらゆる保証を明示的に否認します。 SENSIRION は、同社製品を応用/使用した製品や回路が引き起こ す問題（結果的、具初的に起こる問題を含め、これに限定されま せん）に対しては、免責とさせていただきます。すべての操作パ ラメータ（推奨するパラメータを含み、かつこれに限定されませ ん）はお客様のアプリケーションに合わせてお客様の技術専門家 が実証してください。推奨するパラメータは応用製品ごとに変わ る可能性があり、また現に変わるものです。 SENSIRION は、別途の通知なしに以下の権利を留保します。（i） 製品仕様および/または本書に記載する情報を変更する権利、およ び（ii）本製品の信頼性、機能、設計を改善する権利。 著作権© 2001-2013, SENSIRION ® CMOSens は Sensirion の登録商標です。 ESD 対策 本部品はその固有の設計により、静電気の放電（ESD）に対する 感度が高くなっています。ESD が誘発する損傷および/または劣化 を防ぐために、本部品の取扱に際しては慣習および法令に基づく ESD 対策を取ってください。 詳しくはアプリケーションノート「ESD、ラッチアップ、EMC」 をご覧ください。 版権所有 CE、RoHS、REACH および WEEE ステートメント SLQ-QT500 は以下の指令および法規の要求事項に適合していま す。 保証 SENSIRION は、本製品の元の購入者に対して、引渡日から 12 ヶ 所（1 年）の期間、本製品が SENSIRION の公表する製品仕様書 に定める品質、材質、および仕上がりのものであることを保証し ます。この期間内に欠陥のあることが証明された場合には、 SENSIRION は 以 下 の 各 条 件 が 満 た さ れ る こ と を 前 提 に 、 SENSIRION の裁量により、買手に対して無償で本製品の修理お よび/または交換を行うものとします。 ● 欠陥が発生してから 14 日以内にその欠陥について書面にて SENSIRION に通知してください。 ● それらの欠陥は、SENSIRION の設計、材質、または仕上がり の不具合から生じたものであることを SENSIRION が合理的 に納得できるものでなければなりません。 ● 欠陥のある製品は買手の費用負担により SENSIRION の工場 に返却してください。 ● 修理または交換後の製品の保証期間は当初の保障期間の未経過 期間に限定されるものとします。 本保証は装置の意図する正しい用途のために SENSIRION が推奨 する仕様の範囲内で設置および使用されていないものについては 適用されません。本保障に明記された保証を除き、SENSIRION は明示的であるか暗示的であるかを問わず、製品に関するいかな る保証も行いません。市場性または特定の目的への適合性が制限 ▪ 本装置は EN 50081-2 規格（一連の排出試験） 、EN 50082-2 規 格（一連のイミュニティ試験）および SCC1-RS485 または SCC1-アナログセンサーケーブルと併用した場合の ESD 保護の 規格に適合しています。 ▪ 化学物質の登録、評価、認可および制限に関する EU 指令 1907/2006/EC（REACH） ▪ 電気電子機器廃棄物（WEEE）に関する EU 指令 2002/96/EC、 OJ13.02.2003、特にその第 6 (1) 条および付録 II ▪ 電子電気機器における特定有害物質の使用制限に関する EU 指 令 2002/65/EC（RoHS）、OJ01.01.2011 本文書について 本文書は以下の当社技術文書の英文版を和訳したものです。 記載 内容に疑義が生じた場合は、当該英文版を正とします。 文書名：SLQ-QT500 Liquid Flow Meter High Purity Flow Meter (Version 3) 当社の本社および日本現地法人 SENSIRION AG Laubisruetistr. 50 CH-8712 Staefa ZH Switzerland Tel: +41 44 306 40 00 Fax: +41 44 306 40 30 [email protected] www.sensirion.com センシリオン株式会社 Tel：:03-3444-4940 [email protected] www.sensirion.co.jp To find your local representative, please visit www.sensirion.com/contact www.sensirion.com Version 3―2014 年 10 月 7/7
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