中古半導体装置の購入の際の確認事項 項目 内容 補足説明 装置のシリアルナンバー 製品情報 製造年月日 いつまで使っていたか 仕様情報 保管情報 立ち下げ、装置固定の作業情報 保管場所 空調があった or なかった 保管状態 木箱に梱包されていたorいなかった 誰が行ったか OEM or not OEM どのように行ったか ガスが処理されているか ケミカルとガスの洗浄・パージが行われているか ケミカルの情報(何のガスなのか、等) 安全情報/デコンタミネーション 洗浄証明書の有無 封止されているか? 有害物質の有無 その他 ソフトウェアのバックアップ ・ハードディスクがあるか否か 欠品の有無 SEMI S12-0298「装置の汚染除去に対す るガイドライン」に順ずる
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