中古半導体装置の購入の際の確認事項
項目
内容
補足説明
装置のシリアルナンバー
製品情報
製造年月日
いつまで使っていたか
仕様情報
保管情報
立ち下げ、装置固定の作業情報
保管場所
空調があった or なかった
保管状態
木箱に梱包されていたorいなかった
誰が行ったか
OEM or not OEM
どのように行ったか
ガスが処理されているか
ケミカルとガスの洗浄・パージが行われているか
ケミカルの情報（何のガスなのか、等）
安全情報／デコンタミネーション
洗浄証明書の有無
封止されているか?
有害物質の有無
その他
ソフトウェアのバックアップ
・ハードディスクがあるか否か
欠品の有無
SEMI S12-0298「装置の汚染除去に対す
るガイドライン」に順ずる

困難な時期こそ恐怖心を追放する方法 ‣予測・・何がい

（土） U－12 油面SC招待大会（油面小学校）

4月30日、5月1日