半導体露光装置用光源の主要メーカーであるギガフォトン株式会社は、半導体露光装置に光源として用いられるエキシマレーザーの開
発、製造、販売を行っています。ギガフォトンではレーザー稼働にかかる様々なコスト（環境負荷、消耗部品、ダウンタイムコスト）低減を目指
すためのロードマップ、“EcoPhoton™プログラム”を2003年に策定し、以降それに基づき、高性能でありながら環境への負荷低減を実現する
製品の開発、提供を続けています。
現在の主要機種ArFエキシマレーザーGT60Aシリーズでは、光の増
幅を効果的に行いながら環境負荷低減を可能にする「インジェクション
ロックシステム」という技術を採用しています。
また最新型モデル「GT64A4」には、消費電力を15％削減する技術
「eGRYCOS」やネオンガスを最大50％削減する技術「eTGM」を標準搭
載し、トータルで35％もの年間ユーティリティコスト削減を実現していま
す。（同社従来機種比較）
GT64A
■消費電力
■ネオンガス消費量