半導体露光装置用光源の主要メーカーであるギガフォトン株式会社は、半導体露光装置に光源として用いられるエキシマレーザーの開 発、製造、販売を行っています。ギガフォトンではレーザー稼働にかかる様々なコスト（環境負荷、消耗部品、ダウンタイムコスト）低減を目指 すためのロードマップ、“EcoPhoton™プログラム”を2003年に策定し、以降それに基づき、高性能でありながら環境への負荷低減を実現する 製品の開発、提供を続けています。 現在の主要機種ArFエキシマレーザーGT60Aシリーズでは、光の増 幅を効果的に行いながら環境負荷低減を可能にする「インジェクション ロックシステム」という技術を採用しています。 また最新型モデル「GT64A4」には、消費電力を15％削減する技術 「eGRYCOS」やネオンガスを最大50％削減する技術「eTGM」を標準搭 載し、トータルで35％もの年間ユーティリティコスト削減を実現していま す。（同社従来機種比較） GT64A ■消費電力 ■ネオンガス消費量
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